Вакуумный насос EBARA ESR300WN

Вакуумный насос EBARA ESR300WN — сухой многоступенчатый вакуумный насос серии ESR, предназначенный для технологических процессов с повышенной производительностью откачки. Модель обеспечивает скорость откачки 1800 м³/ч при предельном остаточном давлении 2 × 10⁻³ мбар (абс.) и мощности 2,9 кВт. Сочетание высокого газового потока и низкого остаточного давления позволяет использовать насос в производительных вакуумных системах.

Преимущества и особенности

Газ последовательно проходит через несколько сухих рабочих ступеней, в которых не применяется масло или жидкость для герметизации. Специальная геометрия роторов и электронное управление рассчитаны на эффективное сжатие газа при сравнительно низком энергопотреблении. При снижении нагрузки насос может работать в экономичном режиме.

• Безмасляная рабочая камера поддерживает чистую откачку и не создает источника обратного переноса масла в технологический объем.
• Многоступенчатая схема обеспечивает работу в широком диапазоне давлений и достижение остаточного давления порядка 10⁻³ мбар.
• Функция холостого хода снижает потребление электроэнергии и вспомогательных ресурсов в периоды уменьшенной технологической нагрузки.
• Управление производительностью позволяет адаптировать работу насоса к изменению газового потока.
• Водяное охлаждение поддерживает тепловой режим насосного блока при продолжительной эксплуатации.
• Коррозионно-стойкие варианты исполнения расширяют область применения серии в процессах с химически активными газами.

Применение

EBARA ESR300WN используется в вакуумных загрузочных камерах и процессах полупроводникового производства, включая PVD, CVD, травление, озоление и другие операции, где требуется сухая откачка. Скорость 1800 м³/ч позволяет обслуживать камеры и линии с существенным газовым потоком, а соотношение установленной мощности и производительности делает модель подходящей для непрерывных производственных процессов с требованиями к энергопотреблению.