Вакуумный насос EBARA ESR300WN

product-card

Тип Многоступенчатые типа Рутс
Уровень вакуума Высокий
Тип смазки Безмасляный (сухой)
Скорость откачки, м³/ч 1800
Предельное остаточное давление, мбар (абс.) 0.002
Мощность, кВт 2.9
Входной патрубок NW100
Выходной патрубок NW100
Количество ступеней Многоступенчатый

В корзину

Описание

Характеристики

Графики и чертежи

Проекты

Отзывы клиентов

Вакуумный насос EBARA ESR300WN — сухой многоступенчатый вакуумный насос серии ESR, предназначенный для технологических процессов с повышенной производительностью откачки. Модель обеспечивает скорость откачки 1800 м³/ч при предельном остаточном давлении 2 × 10⁻³ мбар (абс.) и мощности 2,9 кВт. Сочетание высокого газового потока и низкого остаточного давления позволяет использовать насос в производительных вакуумных системах.

Преимущества и особенности

Газ последовательно проходит через несколько сухих рабочих ступеней, в которых не применяется масло или жидкость для герметизации. Специальная геометрия роторов и электронное управление рассчитаны на эффективное сжатие газа при сравнительно низком энергопотреблении. При снижении нагрузки насос может работать в экономичном режиме.

Безмасляная рабочая камера поддерживает чистую откачку и не создает источника обратного переноса масла в технологический объем.
Многоступенчатая схема обеспечивает работу в широком диапазоне давлений и достижение остаточного давления порядка 10⁻³ мбар.
Функция холостого хода снижает потребление электроэнергии и вспомогательных ресурсов в периоды уменьшенной технологической нагрузки.
Управление производительностью позволяет адаптировать работу насоса к изменению газового потока.
Водяное охлаждение поддерживает тепловой режим насосного блока при продолжительной эксплуатации.
Коррозионно-стойкие варианты исполнения расширяют область применения серии в процессах с химически активными газами.

Применение

EBARA ESR300WN используется в вакуумных загрузочных камерах и процессах полупроводникового производства, включая PVD, CVD, травление, озоление и другие операции, где требуется сухая откачка. Скорость 1800 м³/ч позволяет обслуживать камеры и линии с существенным газовым потоком, а соотношение установленной мощности и производительности делает модель подходящей для непрерывных производственных процессов с требованиями к энергопотреблению.

Тип: Многоступенчатые типа Рутс

Уровень вакуума: Высокий

Тип смазки: Безмасляный (сухой)

Скорость откачки, м³/ч: 1800

Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.002

Мощность, кВт: 2.9

Входной патрубок: NW100

Выходной патрубок: NW100

Количество ступеней: Многоступенчатый

Охлаждение: Водяное

Масса, кг: 390

Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 945×490×925

Серия: ESR

Минимальная температура окружающей среды, °С: 5

Расход рабочей жидкости, л/мин: 3.5

Максимальная температура окружающей среды, °C: 40

Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов

Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.

diapazon_rabochih_davleniy_tipov_vakuumnyh_nasosov

Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.

Установили имитаторы космического пространства ERSTVAK для Аэрокосмического университета

11.05.18

1 мин.

1215

Поставили химически стойкий безмаслянный насос NVS 120 в ФГУП ЦНИИХМ

14.05.18

2 мин.

1301

Заменили европейскую установку для печатного станка: индивидуальное решение

28.05.26

1 мин.

281

Мирослав Володько

Работают квалифицированные менеджеры. Когда общаешься, сразу видно, что соображают в теме насосного оборудования. Я обращался по поводу форвакуумных насосов. В частности, интересовали мембранные вакуумные насосы. Менеджер провел хорошую презентацию по каждой модели, что помогло найти именно те, что подходили под наши мощности и задачи. Однако есть и одно замечание: привезли на пару дней позже оговренного срока. Не скажу, что это как-то сказалось на работе, но некоторые планы пришлось сдвигать.

Алексей Круч

Для нужд предприятия искали мощный вакуумный насос. Нашли в компании Эрствак. Доставили в срок. Работает исправно, с нагрузкой сравляется. И радует, что у поставщика есть возможность покупать расходники, либо самим сдать в ремонт, случись чего.

Дмитрий П.

Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.

Александр Измайлов

Консультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично

Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: