- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Винтовые вакуумные насосы
- Сухие винтовые вакуумные насосы
- Вакуумный насос EBARA ESR200WN
Вакуумный насос EBARA ESR200WN
Вакуумный насос EBARA ESR200WN — сухой безмасляный насос серии ESR для производительных вакуумных процессов, в том числе для работы с коррозионно-активными газовыми средами. Максимальная скорость откачки модели составляет 1200 м³/ч. Масло в рабочей камере не используется, что снижает риск загрязнения вакуумной системы масляной смазкой.
Конструкция и эксплуатация
Серия ESR использует фирменную роторную конструкцию EBARA и функцию idling. Линейка ориентирована на низкое энергопотребление, компактную компоновку и снижение текущих эксплуатационных затрат. Для процессов с агрессивными газами доступны исполнения с повышенной коррозионной стойкостью. Водяное охлаждение поддерживает тепловой режим оборудования, а азотная продувка применяется в предусмотренных процессных конфигурациях.
При выборе исполнения для химически активной среды учитывают совместимость материалов насоса с составом перекачиваемого газа и условиями технологического процесса. ESR200WN рассчитан на интеграцию в производственные вакуумные установки с коррозионной процессной нагрузкой.
Применение
ESR200WN используют в PVD, травлении, озолении, распылении, CVD, ионной имплантации, SEM и загрузочных камерах. Модель применяется в полупроводниковых и общепромышленных вакуумных системах.
- Тип
- Винтовые
- Уровень вакуума
- Высокий
- Тип смазки
- Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч
- 1200
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.)
- 1,3 × 10⁻³
- Мощность, кВт
- 1.1
- Входной патрубок
- DN100
- Выходной патрубок
- DN40
- Количество ступеней
- Многоступенчатый
- Охлаждение
- Водяное
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм
- 910×380×705
- Масса, кг
- 250
- Минимальная температура окружающей среды, °С
- 5
- Расход рабочей жидкости, л/мин
- 2
- Максимальная температура окружающей среды, °C
- 40
Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов
Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.
Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.
Мирослав ВолодькоРаботают квалифицированные менеджеры. Когда общаешься, сразу видно, что соображают в теме насосного оборудования. Я обращался по поводу форвакуумных насосов. В частности, интересовали мембранные вакуумные насосы. Менеджер провел хорошую презентацию по каждой модели, что помогло найти именно те, что подходили под наши мощности и задачи. Однако есть и одно замечание: привезли на пару дней позже оговренного срока. Не скажу, что это как-то сказалось на работе, но некоторые планы пришлось сдвигать.
Алексей КручДля нужд предприятия искали мощный вакуумный насос. Нашли в компании Эрствак. Доставили в срок. Работает исправно, с нагрузкой сравляется. И радует, что у поставщика есть возможность покупать расходники, либо самим сдать в ремонт, случись чего.
Дмитрий П.Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.
Александр ИзмайловКонсультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично
Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: