Сухой вакуумный насос EBARA ESA 70WD

Сухой вакуумный насос EBARA ESA 70WD — сухой многоступенчатый вакуумный насос серии ESA, предназначенный для откачки легких газов и вакуумирования технологических камер. Модель обеспечивает скорость откачки 420 м³/ч при предельном остаточном давлении 2,7 × 10⁻³ мбар (абс.) и мощности 7,4 кВт. Такое сочетание параметров ориентировано на процессы, где важны сравнительно глубокий вакуум и контролируемая производительность.

Преимущества и особенности

В серии ESA откачиваемый газ последовательно перемещается через несколько ступеней сухого насосного механизма. В рабочей камере не используется масло или жидкость для герметизации, поэтому в процессе откачки нет прямого контакта технологического газа с рабочей жидкостью. Управление вращением роторов позволяет адаптировать работу агрегата к текущему газовому потоку.

• Безмасляная рабочая камера подходит для процессов, в которых необходимо снизить риск загрязнения вакуумного объема углеводородами.
• Многоступенчатая схема обеспечивает последовательное сжатие газа и достижение низкого остаточного давления.
• Серия ESA оптимизирована для откачки водорода и других легких газов, а также для быстрого вакуумирования технологических камер.
• Интеллектуальное управление частотой вращения позволяет гибко реагировать на изменение газовой нагрузки.
• Водяное охлаждение отводит тепло от насосного блока и поддерживает рабочий температурный режим.
• Для серии доступны коррозионно-стойкие варианты и специальные выхлопные конфигурации для отдельных технологических сред.

Применение

EBARA ESA 70WD используется в чистых вакуумных процессах, системах откачки легких газов и технологических камерах, где требуется низкое остаточное давление. Насосы ESA используются, в частности, в процессах MOCVD, оборудовании для производства дисплеев и фотоэлектрических устройств, а также в загрузочных вакуумных камерах. Модель сочетает скорость откачки 420 м³/ч с остаточным давлением порядка 10⁻³ мбар, что делает ее пригодной для установок с умеренным газовым потоком и повышенными требованиями к глубине вакуума.