Сухой вакуумный насос EBARA ESA 500W

Сухой вакуумный насос EBARA ESA 500W — сухой многоступенчатый вакуумный насос серии ESA для быстрой откачки крупных камер и технологических систем с большим газовым потоком. Модель обеспечивает скорость откачки 2820 м³/ч при предельном остаточном давлении 0,01 мбар (абс.) и мощности 5,1 кВт. Всасывающий патрубок DN160 рассчитан на высокий входной поток, а нагнетательный патрубок имеет размер DN50.

Преимущества и особенности

Газ проходит через несколько последовательно работающих ступеней сухого насосного механизма. В рабочей камере не используется масло или жидкость для уплотнения, что исключает их непосредственный контакт с откачиваемой средой. Электронное управление скоростью вращения согласует работу насосных ступеней с режимом вакуумной системы.

• Безмасляная схема обеспечивает чистую технологическую откачку без источника масляного загрязнения со стороны рабочей камеры.
• Многоступенчатая конструкция позволяет сочетать высокую производительность с достижением низкого остаточного давления.
• Серия ESA разработана для быстрого снижения давления в камерах большого объема и для работы с легкими газами.
• Интеллектуальное управление вращением роторов помогает поддерживать требуемую производительность при изменении газовой нагрузки.
• Водяное охлаждение стабилизирует тепловой режим насосного блока в продолжительных циклах откачки.
• Предусмотрены варианты исполнения с повышенной стойкостью к коррозионным средам и конфигурации выхлопа для процессов с органическими растворителями.

Применение

EBARA ESA 500W используется в крупнообъемных загрузочных камерах и других системах, где критично время откачки, а также в чистых вакуумных процессах и при работе с легкими газами. Серия ESA используется в оборудовании для производства дисплеев и фотоэлектрических устройств. Скорость откачки 2820 м³/ч делает эту модель одной из наиболее производительных в рассматриваемой группе ESA и позволяет обрабатывать значительный газовый поток при сухой откачке.