Сухой вакуумный насос EBARA ESA 25D

product-card

Тип Многоступенчатые типа Рутс
Уровень вакуума Средний
Тип смазки Безмасляный (сухой)
Скорость откачки, м³/ч 180
Предельное остаточное давление, мбар (абс.) 0.04
Мощность, кВт 3.7
Количество ступеней Многоступенчатый
Охлаждение Водяное
Масса, кг 240

В корзину

Описание

Характеристики

Графики и чертежи

Проекты

Отзывы клиентов

Сухой вакуумный насос EBARA ESA 25D — компактная сухая безмасляная модель серии ESA для чистых вакуумных процессов и откачки лёгких газов. При частоте сети 50 Гц скорость откачки составляет 150 м³/ч, а предельное остаточное давление — 5,3 Па; при 60 Гц — 180 м³/ч и 4,0 Па соответственно. Масло в рабочей камере не используется, поэтому насос подходит для процессов, где важно ограничить загрязнение технологического объёма.

ESA 25D относится к младшей группе моделей серии, предназначенной в том числе для MO-CVD, крупных load-lock камер и других чистых применений. Для этой группы моделей доступны компактная компоновка и варианты с повышенной коррозионной стойкостью. Водоохлаждаемая конструкция рассчитана на длительную работу в составе технологического оборудования.

Конструкция и эксплуатация

Сухой принцип работы исключает масло из зоны откачки и уменьшает риск загрязнения процесса. Продувка азотом используется в предусмотренных технологией режимах, а система управления серии поддерживает контроль рабочих параметров и диагностических сообщений. Серия ESA рассчитана на снижение потребления энергии и вспомогательных сред при эксплуатации технологического оборудования.

Применение

ESA 25D подходит для MO-CVD, полупроводникового оборудования, чистых загрузочных камер и других систем с умеренным газовым потоком. При подборе насоса рабочую точку системы сопоставляют с характеристиками именно этого типоразмера.

Тип: Многоступенчатые типа Рутс

Уровень вакуума: Средний

Тип смазки: Безмасляный (сухой)

Скорость откачки, м³/ч: 180

Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.04

Мощность, кВт: 3.7

Количество ступеней: Многоступенчатый

Охлаждение: Водяное

Масса, кг: 240

Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1074×394×520

Серия: ESA

Минимальная температура окружающей среды, °С: 1

Максимальная температура окружающей среды, °C: 45

Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов

Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.

diapazon_rabochih_davleniy_tipov_vakuumnyh_nasosov

Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.

Произвели модернизацию вакуумной камеры

27.10.19

1 мин.

1550

Установили имитаторы космического пространства ERSTVAK для Аэрокосмического университета

11.05.18

1 мин.

1215

Поставили химически стойкий безмаслянный насос NVS 120 в ФГУП ЦНИИХМ

14.05.18

2 мин.

1302

Мирослав Володько

Работают квалифицированные менеджеры. Когда общаешься, сразу видно, что соображают в теме насосного оборудования. Я обращался по поводу форвакуумных насосов. В частности, интересовали мембранные вакуумные насосы. Менеджер провел хорошую презентацию по каждой модели, что помогло найти именно те, что подходили под наши мощности и задачи. Однако есть и одно замечание: привезли на пару дней позже оговренного срока. Не скажу, что это как-то сказалось на работе, но некоторые планы пришлось сдвигать.

Алексей Круч

Для нужд предприятия искали мощный вакуумный насос. Нашли в компании Эрствак. Доставили в срок. Работает исправно, с нагрузкой сравляется. И радует, что у поставщика есть возможность покупать расходники, либо самим сдать в ремонт, случись чего.

Дмитрий П.

Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.

Александр Измайлов

Консультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично

Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: