Сухой вакуумный насос EBARA ESA 300W

Сухой вакуумный насос EBARA ESA 300W — сухой многоступенчатый вакуумный насос серии ESA, предназначенный для быстрой откачки крупных вакуумных камер и работы с легкими газами. Модель обеспечивает скорость откачки 1680 м³/ч при предельном остаточном давлении 5,3 × 10⁻³ мбар (абс.) и мощности 6,6 кВт. Вход DN100 и выход DN40 позволяют подключать насос к высокопроизводительной вакуумной системе с раздельными диаметрами всасывающей и нагнетательной линий.

Преимущества и особенности

В серии ESA газ последовательно проходит через несколько ступеней сухого насосного механизма. Рабочие элементы вращаются без использования масла или другой жидкости для герметизации рабочей камеры, поэтому технологический газ не контактирует с рабочей жидкостью. Управление частотой вращения позволяет согласовывать работу ступеней с газовой нагрузкой и режимом откачки.

• Безмасляная рабочая камера снижает риск обратного переноса масла в вакуумную систему и подходит для процессов, чувствительных к загрязнению.
• Многоступенчатая схема обеспечивает откачку от атмосферного давления до низкого остаточного давления в одном агрегате.
• Серия ESA рассчитана на ускоренную откачку камер большого объема и эффективную работу с водородом и другими легкими газами.
• Интеллектуальное управление частотой вращения роторов позволяет изменять производительность в соответствии с текущей газовой нагрузкой.
• Водяное охлаждение отводит тепло от насосного блока при продолжительной работе и высокой производительности.
• Для серии доступны исполнения с повышенной коррозионной стойкостью и альтернативной конфигурацией выхлопа для процессов с органическими растворителями.

Применение

EBARA ESA 300W используется для быстрой откачки крупнообъемных камер, загрузочных шлюзов и чистых вакуумных процессов, а также в установках, где требуется откачка легких газов. Серия ESA используется в производстве дисплеев, фотоэлектрических устройств и в других технологических линиях с крупными вакуумными объемами. Высокая скорость откачки модели в сочетании с безмасляной схемой позволяет сокращать время выхода камеры на рабочее давление без внесения рабочей жидкости в откачиваемый объем.