Сухой вакуумный насос EBARA ESA 80W-D

product-card

Тип Многоступенчатые типа Рутс
Уровень вакуума Средний
Тип смазки Безмасляный (сухой)
Скорость откачки, м³/ч 504
Предельное остаточное давление, мбар (абс.) 0.0013
Мощность, кВт 7.4
Входной патрубок DN50
Выходной патрубок DN40
Количество ступеней Многоступенчатый

В корзину

Описание

Характеристики

Графики и чертежи

Проекты

Отзывы клиентов

Сухой вакуумный насос EBARA ESA 80W-D — сухой безмасляный насос серии ESA с производительностью 504 м³/ч. Предельное остаточное давление модели составляет 0,13 Па, что соответствует 1,3×10⁻³ мбар. Безмасляная рабочая камера позволяет применять насос в чистых технологических процессах и системах, чувствительных к загрязнению.

Модель входит в группу компактных моделей серии ESA, рассчитанную на откачку лёгких газов и быстрое вакуумирование крупных камер. Для этой группы EBARA предусматривает варианты повышенной коррозионной стойкости. Регулирование скорости вращения роторов помогает адаптировать насос к изменяющейся газовой нагрузке, а диагностические функции поддерживают контроль предупреждений и аварийных состояний.

Технические характеристики

скорость откачки — 504 м³/ч;
предельное остаточное давление — 0,13 Па / 1,3×10⁻³ мбар;
мощность — 7,4 кВт;
поток продувки азотом N₂ — 54–57 Па·м³/с;
габаритные размеры — 1094 × 400 × 820 мм;
масса — 400 кг.

Эксплуатационные особенности

ESA 80W-D имеет водяное охлаждение и сухую безмасляную камеру сжатия. Продувка азотом используется в предусмотренных технологических режимах, а оптимизация потребления энергии и вспомогательных сред снижает эксплуатационную нагрузку при непрерывной работе. Конкретные условия по газу и охлаждению должны соответствовать фирменной спецификации.

Применение

Насос используют в MO-CVD, полупроводниковом оборудовании, чистых загрузочных камерах и других установках, где требуется сочетание производительности около 500 м³/ч и глубокой сухой откачки. ESA 80W-D также подходит для процессов с водородом и другими лёгкими газами.

Тип: Многоступенчатые типа Рутс

Уровень вакуума: Средний

Тип смазки: Безмасляный (сухой)

Скорость откачки, м³/ч: 504

Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.0013

Мощность, кВт: 7.4

Входной патрубок: DN50

Выходной патрубок: DN40

Количество ступеней: Многоступенчатый

Охлаждение: Водяное

Масса, кг: 400

Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1094×400×820

Серия: ESA

Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов

Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.

diapazon_rabochih_davleniy_tipov_vakuumnyh_nasosov

Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.

Произвели модернизацию вакуумной камеры

27.10.19

1 мин.

1550

Установили имитаторы космического пространства ERSTVAK для Аэрокосмического университета

11.05.18

1 мин.

1216

Поставили химически стойкий безмаслянный насос NVS 120 в ФГУП ЦНИИХМ

14.05.18

2 мин.

1302

Мирослав Володько

Работают квалифицированные менеджеры. Когда общаешься, сразу видно, что соображают в теме насосного оборудования. Я обращался по поводу форвакуумных насосов. В частности, интересовали мембранные вакуумные насосы. Менеджер провел хорошую презентацию по каждой модели, что помогло найти именно те, что подходили под наши мощности и задачи. Однако есть и одно замечание: привезли на пару дней позже оговренного срока. Не скажу, что это как-то сказалось на работе, но некоторые планы пришлось сдвигать.

Алексей Круч

Для нужд предприятия искали мощный вакуумный насос. Нашли в компании Эрствак. Доставили в срок. Работает исправно, с нагрузкой сравляется. И радует, что у поставщика есть возможность покупать расходники, либо самим сдать в ремонт, случись чего.

Дмитрий П.

Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.

Александр Измайлов

Консультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично

Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: