- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Винтовые вакуумные насосы
- Сухие винтовые вакуумные насосы
- Винтовой вакуумный насос EBARA ESA 80W-D
Винтовой вакуумный насос EBARA ESA 80W-D
Винтовой вакуумный насос EBARA ESA 80W-D — сухой безмасляный насос серии ESA с производительностью 504 м³/ч. Предельное остаточное давление модели составляет 0,13 Па, что соответствует 1,3×10−3 мбар. Безмасляная рабочая камера позволяет применять насос в чистых технологических процессах и системах, чувствительных к загрязнению.
Модель входит в группу компактных моделей серии ESA, рассчитанную на откачку лёгких газов и быстрое вакуумирование крупных камер. Для этой группы EBARA предусматривает варианты повышенной коррозионной стойкости. Регулирование скорости вращения роторов помогает адаптировать насос к изменяющейся газовой нагрузке, а диагностические функции поддерживают контроль предупреждений и аварийных состояний.
Технические характеристики
- скорость откачки — 504 м³/ч;
- предельное остаточное давление — 0,13 Па / 1,3×10−3 мбар;
- мощность — 7,4 кВт;
- поток продувки азотом N₂ — 54–57 Па·м³/с;
- габаритные размеры — 1094 × 400 × 820 мм;
- масса — 400 кг.
Эксплуатационные особенности
ESA 80W-D имеет водяное охлаждение и сухую безмасляную камеру сжатия. Продувка азотом используется в предусмотренных технологических режимах, а оптимизация потребления энергии и вспомогательных сред снижает эксплуатационную нагрузку при непрерывной работе. Конкретные условия по газу и охлаждению должны соответствовать фирменной спецификации.
Применение
Насос используют в MO-CVD, полупроводниковом оборудовании, чистых загрузочных камерах и других установках, где требуется сочетание производительности около 500 м³/ч и глубокой сухой откачки. ESA 80W-D также подходит для процессов с водородом и другими лёгкими газами.
- Тип
- Винтовые
- Уровень вакуума
- Средний
- Тип смазки
- Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч
- 504
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.)
- 0.074
- Мощность, кВт
- 7.4
- Входной патрубок
- DN50
- Выходной патрубок
- DN40
- Количество ступеней
- Многоступенчатый
- Охлаждение
- Водяное
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм
- 1094×400×820
- Масса, кг
- 400
Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов
Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.
Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.
Мирослав ВолодькоРаботают квалифицированные менеджеры. Когда общаешься, сразу видно, что соображают в теме насосного оборудования. Я обращался по поводу форвакуумных насосов. В частности, интересовали мембранные вакуумные насосы. Менеджер провел хорошую презентацию по каждой модели, что помогло найти именно те, что подходили под наши мощности и задачи. Однако есть и одно замечание: привезли на пару дней позже оговренного срока. Не скажу, что это как-то сказалось на работе, но некоторые планы пришлось сдвигать.
Алексей КручДля нужд предприятия искали мощный вакуумный насос. Нашли в компании Эрствак. Доставили в срок. Работает исправно, с нагрузкой сравляется. И радует, что у поставщика есть возможность покупать расходники, либо самим сдать в ремонт, случись чего.
Дмитрий П.Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.
Александр ИзмайловКонсультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично
Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: