- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Вакуумные насосы Рутса
- Многоступенчатые насосы Рутса
Многоступенчатые насосы Рутса
На этой странице вы можете выбрать многоступенчатые насосы Рутса — а мы оперативно поможем подобрать подходящую модель и найдем индивидуальное решение для вашей задачи.
- Основы вакуумной техники
- Спиральные насосы вакуумные: принцип работы, спиральные форвакуумные насосы
- Системы вакуумного прессования с вакуумными мешками для шпонирования и других применений
- Заменили европейскую установку для печатного станка: индивидуальное решение
- Разработали испытательный стенд для электровакуумных излучателей для объектов «Росатома»
- Установили имитаторы космического пространства ERSTVAK для Аэрокосмического университета
ЭРСТВАК предлагает оборудование для повышения скорости откачки в многоступенчатых вакуумных системах. Краткое описание серий поможет вам сориентироваться в нашем каталоге.
ESR – сухие безмасляные насосы для технологических процессов, включая коррозионно-активные среды. Серия сочетает высокую производительность с водяным охлаждением и азотной продувкой, которые учитываются при интеграции в установку.
EV-A – компактные многоступенчатые сухие насосы с воздушным охлаждением. Безмасляный тракт и высокая скорость откачки вблизи атмосферного давления удобны для циклической откачки камер и загрузочных шлюзов.
ESA – сухие безмасляные насосы высокой производительности для быстрой откачки крупных объёмов и работы с лёгкими газами. Частотное управление помогает согласовать производительность с процессом; доступны коррозионностойкие исполнения.
EV-LR – сухие насосы с рутс-подобной схемой для чистой форвакуумной откачки. Водяное охлаждение, лабиринтные уплотнения и двухсторонняя опора вала рассчитаны на стабильную длительную работу.
EV-MR – сухие насосы на интегрированной рутс-схеме, разработанные для полупроводниковых процессов травления. Регулирование подачи азота и температуры сочетается с коррозионной стойкостью и безмасляной рабочей частью.
Фильтры
ЭРСТВАК предлагает оборудование для повышения скорости откачки в многоступенчатых вакуумных системах. Краткое описание серий поможет вам сориентироваться в нашем каталоге.
ESR – сухие безмасляные насосы для технологических процессов, включая коррозионно-активные среды. Серия сочетает высокую производительность с водяным охлаждением и азотной продувкой, которые учитываются при интеграции в установку.
EV-A – компактные многоступенчатые сухие насосы с воздушным охлаждением. Безмасляный тракт и высокая скорость откачки вблизи атмосферного давления удобны для циклической откачки камер и загрузочных шлюзов.
ESA – сухие безмасляные насосы высокой производительности для быстрой откачки крупных объёмов и работы с лёгкими газами. Частотное управление помогает согласовать производительность с процессом; доступны коррозионностойкие исполнения.
EV-LR – сухие насосы с рутс-подобной схемой для чистой форвакуумной откачки. Водяное охлаждение, лабиринтные уплотнения и двухсторонняя опора вала рассчитаны на стабильную длительную работу.
EV-MR – сухие насосы на интегрированной рутс-схеме, разработанные для полупроводниковых процессов травления. Регулирование подачи азота и температуры сочетается с коррозионной стойкостью и безмасляной рабочей частью.
- Тип: Многоступенчатые типа Рутс
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 180
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.04
- Мощность, кВт: 3.7
- Тип: Многоступенчатые типа Рутс
- Уровень вакуума: Высокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 420
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.0027
- Мощность, кВт: 7.4
- Тип: Многоступенчатые типа Рутс
- Уровень вакуума: Высокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 1200
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.0053
- Мощность, кВт: 3.2
- Тип: Многоступенчатые типа Рутс
- Уровень вакуума: Высокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 1800
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.0053
- Мощность, кВт: 6.6
- Тип: Многоступенчатые типа Рутс
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 3000
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.01
- Мощность, кВт: 5.1
- Тип: Многоступенчатые типа Рутс
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 4800
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.074
- Мощность, кВт: 7.4
- Тип: Многоступенчатые типа Рутс
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 504
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.074
- Мощность, кВт: 7.4
- Тип: Многоступенчатые типа Рутс
- Уровень вакуума: Высокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 600
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.0013
- Мощность, кВт: 7.4
- Тип: Многоступенчатые типа Рутс
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 120
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.02
- Мощность, кВт: 0.7
- Тип: Многоступенчатые типа Рутс
- Уровень вакуума: Высокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 180
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.0067
- Мощность, кВт: 1.7
- Тип: Многоступенчатые типа Рутс
- Уровень вакуума: Высокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 510
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.002
- Мощность, кВт: 1
- Тип: Многоступенчатые типа Рутс
- Уровень вакуума: Высокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 1200
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.0013
- Мощность, кВт: 1.1
- Тип: Многоступенчатые типа Рутс
- Уровень вакуума: Высокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 600
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.002
- Мощность, кВт: 1
- Тип: Многоступенчатые типа Рутс
- Уровень вакуума: Высокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 1800
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.002
- Мощность, кВт: 2.9
- Тип: Многоступенчатые типа Рутс
- Уровень вакуума: Высокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 2800
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.002
- Мощность, кВт: 3.1
- Тип: Многоступенчатые типа Рутс
- Уровень вакуума: Высокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 1200
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.0013
- Мощность, кВт: 1.9
- Тип: Многоступенчатые типа Рутс
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 15
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.1
- Мощность, кВт: 0.35
- Тип: Многоступенчатые типа Рутс
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 36
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.1
- Мощность, кВт: 0.55
- Тип: Многоступенчатые типа Рутс
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 36
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.1
- Мощность, кВт: 0.55
- Тип: Многоступенчатые типа Рутс
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 15
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.1
- Мощность, кВт: 0.35
- Тип: Многоступенчатые типа Рутс
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 60
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.02
- Мощность, кВт: 1.1
- Тип: Многоступенчатые типа Рутс
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 60
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.02
- Мощность, кВт: 1.1
- Тип: Многоступенчатые типа Рутс
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 210
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.005
- Мощность, кВт: 1.9
- Тип: Многоступенчатые типа Рутс
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 610
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.005
- Мощность, кВт: 3.8
Многоступенчатые насосы Рутса — конструкция позволяет эффективно работать в широком диапазоне давлений, в том числе при повышенном давлении на входе. В каталоге ERSTVAK представлены многоступенчатые насосы Рутса EBARA серии EV-A для задач, где требуются высокая скорость откачки, чистый безмасляный вакуум и компактное исполнение. Купить многоступенчатые насосы Рутса можно с доставкой по всей России.
Навигация по статье
Преимущества многоступенчатых насосов Рутса
- Чистая безмасляная откачка — рабочий объем не контактирует с маслом, поэтому вакуум не загрязняется парами смазочных материалов;
- Высокая производительность при больших газовых потоках — конструкция рассчитана на эффективное удаление значительных объемов газа, в том числе при работе вблизи атмосферного давления;
- Эффективная откачка водяного пара — насосы способны работать с парогазовыми потоками и откачивать до 500 г водяного пара в час;
- Компактное исполнение и низкий уровень шума — конструкция подходит для установки в лабораторном и аналитическом оборудовании;
- Воздушная система охлаждения — отвод тепла осуществляется без использования отдельного контура жидкостного охлаждения;
- Газобалластный механизм — насос может оснащаться газобалластным клапаном для работы с газами и парами;
- Дополнительное снижение шума — для оборудования доступны специальные глушители, позволяющие уменьшить уровень шума при эксплуатации.
Области применения многоступенчатых насосов Рутса
Многоступенчатые насосы Рутса применяются в технологических и исследовательских установках, где требуется высокая скорость откачки больших потоков газа и чистая безмасляная откачка.
- Электронная микроскопия — создание и поддержание вакуумных условий в аналитическом оборудовании;
- Загрузочные шлюзы и транспортные камеры — быстрая откачка больших объемов газа при подготовке камер к технологическому процессу;
- PVD-процессы — создание вакуумных условий при физическом осаждении тонких пленок;
- Жидкостная хромато-масс-спектрометрия — обеспечение вакуумных условий для аналитических установок;
- Масс-спектрометрия с индуктивно-связанной плазмой — применение в составе аналитического оборудования;
- Системы кислородной плазмы — безмасляная откачка в плазменных установках;
- Аналитические приборы — получение требуемого вакуума без загрязнения рабочей среды маслом;
- Криостатное оборудование — создание вакуумных условий в системах с большими объемами;
- Физическое осаждение тонких пленок — откачка газа при проведении вакуумных технологических процессов.
Многоступенчатые насосы Рутса EBARA серии EV-A
EBARA EV-A — серия сухих многоступенчатых насосов Рутса с воздушным охлаждением, предназначенных для откачки больших потоков газа. Конструкция позволяет получать высокую скорость откачки и эффективно работать при повышенном давлении.
Насосы серии EV-A обеспечивают безмасляную откачку и могут оснащаться газобалластным клапаном и дополнительными глушителями шума. Компактное исполнение позволяет использовать оборудование в лабораторных и аналитических установках, а воздушное охлаждение упрощает эксплуатацию.
Серия EV-A применяется в электронной микроскопии, загрузочных шлюзах и транспортных камерах, PVD-процессах, масс-спектрометрии, системах кислородной плазмы, аналитических приборах и криостатном оборудовании.