- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Бустерные вакуумные насосы Рутса
- Вакуумный насос EBARA EV-A 03-2
Вакуумный насос EBARA EV-A 03-2
EBARA EV-A 03-2 — компактный многоступенчатый сухой вакуумный насос серии EV-A с воздушным охлаждением. Модель рассчитана на безмасляную откачку и не требует подключения контура охлаждающей воды. Скорость откачки составляет 15 м³/ч, что позволяет использовать насос как компактную форвакуумную ступень в лабораторных и технологических установках.
Рабочая ступень выполнена по многоступенчатой схеме с бесконтактным движением роторов. В газовом тракте не используется масло, поэтому насос подходит для установок, где важно исключить загрязнение вакуумируемого объёма масляными парами. Серия EV-A сохраняет высокую скорость откачки при давлениях, близких к атмосферному, что важно при циклической откачке камер и загрузочных шлюзов.
Конструкция и эксплуатация
Воздушное охлаждение упрощает интеграцию EV-A 03-2 в лабораторные стенды и компактные технологические установки: для отвода тепла не требуется водяная магистраль. Бесконтактная рабочая схема уменьшает образование частиц износа в газовом тракте. Для серии предусмотрены газобалластный клапан, пульт управления и глушитель, которые подбирают в зависимости от конфигурации установки.
Применение
EV-A 03-2 применяют в аналитическом оборудовании и электронной микроскопии, PVD-процессах, загрузочных шлюзах и транспортных камерах, а также в системах, где требуется сухая форвакуумная откачка без масляного загрязнения. Воздушное охлаждение и компактное исполнение позволяют использовать насос в установках, где не предусмотрен отдельный контур охлаждающей воды.
- Тип
- Бустерные типа Рутс
- Уровень вакуума
- Средний
- Тип смазки
- Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч
- 15
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.)
- 0.1
- Мощность, кВт
- 0.35
- Входной патрубок
- KF25
- Выходной патрубок
- KF25
- Количество ступеней
- Многоступенчатый
- Охлаждение
- Воздушное
- Уровень шума, дБ
- 59
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм
- 385×210×250
- Масса, кг
- 23
- Минимальная температура окружающей среды, °С
- 5
- Напряжение, В
- 380
- Максимальная температура окружающей среды, °C
- 40
Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов
Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.
Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.
Игорь ОрловБрaли через erstvak бустерный насос Рутса в пару к уже установленному вакуумному насосу. Задача была увеличить скорость откачки, но не развалить существующую схему по управлению и защите. Сначала скинули им параметры нашей установки, потом oтдельно обсуждали, что останется старое, а что лучше заменить сразу. В итоге поменяли еще часть арматуры и датчики, иначе смыслa было бы меньше. Запуск прошел спокойно, oткачка стала заметно быстрее, по аварийным остановам пока тишина.
Алексей КручДля нужд предприятия искали мощный вакуумный насос. Нашли в компании Эрствак. Доставили в срок. Работает исправно, с нагрузкой сравляется. И радует, что у поставщика есть возможность покупать расходники, либо самим сдать в ремонт, случись чего.
Дмитрий П.Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.
Александр ИзмайловКонсультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично
Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: