Вакуумный насос EBARA ESR201W-LT

product-card

Тип Многоступенчатые типа Рутс
Уровень вакуума Высокий
Тип смазки Безмасляный (сухой)
Скорость откачки, м³/ч 1200
Предельное остаточное давление, мбар (абс.) 0.0013
Мощность, кВт 1.9
Количество ступеней Многоступенчатый
Входной патрубок DN100
Выходной патрубок DN40

В корзину

Описание

Характеристики

Графики и чертежи

Проекты

Отзывы клиентов

Вакуумный насос EBARA ESR201W-LT — сухой безмасляный насос серии ESR для вакуумных процессов, в том числе связанных с химически активными газами. Модификация LT является отдельным исполнением модели со своей электрической и фланцевой конфигурацией. Производительность модели составляет 1200 м³/ч.

В зоне откачки масло не используется, поэтому насос подходит для процессов, где важно исключить контакт перекачиваемой среды с масляной смазкой. Для серии предусмотрены коррозионностойкие исполнения, а рабочие узлы рассчитаны на эксплуатацию в составе промышленных вакуумных систем. Азотная продувка входит в эксплуатационную схему оборудования и учитывается при интеграции насоса в технологическую установку.

Конструкция и эксплуатация

В основе ESR лежит роторная конструкция EBARA. Функция idling используется в режимах, ориентированных на снижение энергопотребления. Компоновка насоса рассчитана на длительную работу в составе технологического оборудования, а водяное охлаждение поддерживает требуемый тепловой режим. При выборе исполнения для химически активной среды учитывают совместимость материалов насоса с составом перекачиваемого газа и условиями процесса.

Применение

ESR201W-LT применяют в полупроводниковых и общепромышленных вакуумных установках. К типовым задачам серии относятся PVD-процессы, травление, CVD, распыление и работа в составе load-lock систем. Модификация LT используется в проектах, где требуется именно её электрическая и фланцевая конфигурация.

Тип: Многоступенчатые типа Рутс

Уровень вакуума: Высокий

Тип смазки: Безмасляный (сухой)

Скорость откачки, м³/ч: 1200

Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.0013

Мощность, кВт: 1.9

Количество ступеней: Многоступенчатый

Входной патрубок: DN100

Выходной патрубок: DN40

Охлаждение: Водяное

Масса, кг: 360

Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 910×480×956

Серия: ESR

Минимальная температура окружающей среды, °С: 5

Расход рабочей жидкости, л/мин: 3.5

Максимальная температура окружающей среды, °C: 40

Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов

Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.

diapazon_rabochih_davleniy_tipov_vakuumnyh_nasosov

Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.

Установили имитаторы космического пространства ERSTVAK для Аэрокосмического университета

11.05.18

1 мин.

1168

Поставили химически стойкий безмаслянный насос NVS 120 в ФГУП ЦНИИХМ

14.05.18

2 мин.

1270

Заменили европейскую установку для печатного станка: индивидуальное решение

28.05.26

1 мин.

218

Мирослав Володько

Работают квалифицированные менеджеры. Когда общаешься, сразу видно, что соображают в теме насосного оборудования. Я обращался по поводу форвакуумных насосов. В частности, интересовали мембранные вакуумные насосы. Менеджер провел хорошую презентацию по каждой модели, что помогло найти именно те, что подходили под наши мощности и задачи. Однако есть и одно замечание: привезли на пару дней позже оговренного срока. Не скажу, что это как-то сказалось на работе, но некоторые планы пришлось сдвигать.

Алексей Круч

Для нужд предприятия искали мощный вакуумный насос. Нашли в компании Эрствак. Доставили в срок. Работает исправно, с нагрузкой сравляется. И радует, что у поставщика есть возможность покупать расходники, либо самим сдать в ремонт, случись чего.

Дмитрий П.

Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.

Александр Измайлов

Консультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично

Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: