- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Вакуумные насосы Рутса
- Многоступенчатые насосы Рутса
- Сухой вакуумный насос ERSTVAK EV-LR5000
Сухой вакуумный насос ERSTVAK EV-LR5000
Сухой вакуумный насос ERSTVAK EV-LR5000 — безмасляный насос серии EV-LR для технологических вакуумных систем, где требуется сухая откачка без масла в рабочей части. Серия разработана с учётом рутс-подобной конструкции и сочетает компактную компоновку, низкое энергопотребление и высокую скорость откачки.
EV-LR5000 входит в стандартный модельный ряд EV-LR. Модель может быть встроена в технологическую вакуумную линию вместе с камерой, вакуумной арматурой и другими элементами системы.
Конструкция и интеграция
Для серии EV-LR предусмотрено охлаждение насосного блока. При проектировании вакуумной системы учитывают тепловой режим, состав откачиваемой среды, требования к вакуумным коммуникациям и условия конкретного технологического процесса. Компактная компоновка и сниженное энергопотребление относятся к особенностям серии.
Для серии EV-LR также доступны отдельные исполнения с индексом P. В таких модификациях предусмотрены контроль температуры и очистка азотом (N₂).
Применение
Серия EV-LR применяется в загрузочных и шлюзовых камерах полупроводниковых и фотоэлектрических систем, в электронно-лучевой литографии, процессах физического осаждения из паровой фазы PVD, а также при расщеплении и озолении. В этих задачах оборудование обеспечивает сухую вакуумную откачку и может использоваться как часть комплексной вакуумной системы.
- Тип
- Многоступенчатые типа Рутс
- Уровень вакуума
- Средний
- Тип смазки
- Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч
- 4500
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.)
- 0.008
- Мощность, кВт
- 30
- Входной патрубок
- ISO-K160
- Выходной патрубок
- KF50
- Уровень шума, дБ(А)
- 80
- Количество ступеней
- 2
- Охлаждение
- Водяное
- Масса, кг
- 900
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм
- 1310×620×1002
- Напряжение, В
- 380
- Серия
- EV-LR
- Расход рабочей жидкости, л/мин
- 6
Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов
Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.
Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.
Игорь ОрловБрaли через erstvak бустерный насос Рутса в пару к уже установленному вакуумному насосу. Задача была увеличить скорость откачки, но не развалить существующую схему по управлению и защите. Сначала скинули им параметры нашей установки, потом oтдельно обсуждали, что останется старое, а что лучше заменить сразу. В итоге поменяли еще часть арматуры и датчики, иначе смыслa было бы меньше. Запуск прошел спокойно, oткачка стала заметно быстрее, по аварийным остановам пока тишина.
Алексей КручДля нужд предприятия искали мощный вакуумный насос. Нашли в компании Эрствак. Доставили в срок. Работает исправно, с нагрузкой сравляется. И радует, что у поставщика есть возможность покупать расходники, либо самим сдать в ремонт, случись чего.
Дмитрий П.Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.
Александр ИзмайловКонсультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично
Еще больше отзывов о нас читайте на площадках:
Товары из этой же серии
- Тип: Многоступенчатые типа Рутс
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 110
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.03
- Мощность, кВт: 2.2
- Тип: Многоступенчатые типа Рутс
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 500
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.01
- Мощность, кВт: 15
- Тип: Многоступенчатые типа Рутс
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 2300
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.007
- Мощность, кВт: 26
- Тип: Многоступенчатые типа Рутс
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 3380
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.007
- Мощность, кВт: 26
- Тип: Многоступенчатые типа Рутс
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 3500
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.005
- Мощность, кВт: 26
Информация о бренде
ERSTVAK — ведущий российский производитель и поставщик высокотехнологичного промышленного оборудования. Эксперт в области вакуумного, термического, компрессорного и испытательного оборудования. Мы — лидеры по поставкам оборудования на рынке вакуумной, аналитической и термической техники в России.
Мы заключили более 100 договоров на сумму свыше 9 млн рублей в год каждый и ежегодно заключаем более 15 000 сделок. Наша миссия — развивать российскую промышленность и экономику, обеспечивая надёжным и современным оборудованием.
Помимо этого, наша конструкторская группа инженеров АСУ ТП имеет более 10 лет опыта решения неординарных задач. Группа оснащена необходимыми системами САПР, что позволяет реализовывать проекты любой сложности. Группой создано 1 050 + уникальных проектов. А под своим брендом мы создаём серийное оборудование ЭРСТВАК с уникальными техническими параметрами.
Не забудьте купить
- Производитель: King Lai
- Страна: Китай
- Серия: VP-QZ
- Производитель: Thyracont
- Страна: Германия
- Серия: VSM
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 198
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.01
- Мощность, кВт: 0.4
- Тип: Водокольцевые
- Уровень вакуума: Низкий
- Скорость откачки, м³/ч: 800
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 33
- Мощность, кВт: 30
- Частота вращения, об/мин: 975
- Производительность, м³/ч: 2.2
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 2
- Уровень шума, дБ(А): 44
- Масса, кг: 19
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 360 × 310 × 445
- Производитель: WELCH
- Тип: Спиральные
- Производительность, м³/ч: 58.2
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Мощность электродвигателя, кВт: 11
- Уровень шума, дБ(А): 66
- Количество ступеней: 1
- Тип: Водокольцевые
- Уровень вакуума: Низкий
- Скорость откачки, м³/ч: 400
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 33
- Мощность, кВт: 11
- Частота вращения, об/мин: 1460
- Производитель: King Lai
- Страна: Китай
- Серия: QC
- Максимальная температура, °C: 950
- Производитель: ERSTVAK
- Страна: Российская Федерация
- Серия: VD
- Краткое название: Вакуумная печь ERSTVAK VD-5513
- Тип: Пластинчато-роторные
- Уровень вакуума: Высокий
- Тип смазки: Маслозаполненный
- Скорость откачки, м³/ч: 16.8
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.0002
- Мощность, кВт: 0.7
Вы смотрели
- Производитель: Kurt J. Lesker
- Страна: США
- Серия: CFT-V
- Производитель: INFICON
- Страна: Швейцария
- Серия: BAG
- Производитель: King Lai
- Страна: Китай
- Серия: 4RC
- Длина, мм: 140
