- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Бустерные вакуумные насосы Рутса
- Сухой вакуумный насос ERSTVAK EV-LR120
Сухой вакуумный насос ERSTVAK EV-LR120
Сухие вакуумные насосы ERSTVAK обладают рядом уникальных характеристик, которые делают их идеальными для использования в сложных промышленных процессах. Они широко применяются в химической промышленности для дистилляции и сублимации, в фармацевтике для лиофилизации и удаления растворителей, в полупроводниковой промышленности для создания чистых производственных условий, а также в научных исследованиях, различных аналитических установках, масс-спектрометрах, анализаторах поверхности и в других «чистых» вакуумных применениях.Серия сухих винтовых насосов EV-LR разработаны с учетом конструкции «Рутс», что обеспечивает низкое энергопотребление, компактные габариты и высокую скорость откачки.
Применения
- загрузочные и шлюзовые камеры в полупроводниковых и фотоэлектрических системах;
- электронно-лучевая литография;
- нанесение покрытия осаждением паров (PVD);
- расщепление/озоление.
- Тип
- Винтовые
- Уровень вакуума
- Средний
- Тип смазки
- Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч
- 110
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.)
- 0.03
- Мощность, кВт
- 2.2
- Входной патрубок
- ISO-K63
- Выходной патрубок
- KF25
- Количество ступеней
- 2
- Охлаждение
- Водяное
- Масса, кг
- 60
- Производитель
- ERSTVAK
- Серия
- EV-LR
- Страна
- Российская Федерация
- Длина, мм
- 444
- Высота, мм
- 285
- Ширина, мм
- 239
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм
- 444×239×285
- Расход рабочей жидкости, л/мин
- 1.5
- Уровень шума, дБа
- 60
- Напряжение, В
- 380