Сухой вакуумный насос ERSTVAK EV-LR120

product-card

Тип Винтовые
Уровень вакуума Средний
Тип смазки Безмасляный
Скорость откачки, м³/ч 110
Предельное остаточное давление, мбар (абс.) 0.03
Мощность, кВт 2.2
Входной патрубок ISO-K63
Выходной патрубок KF25
Количество ступеней 2

В корзину

Описание

Характеристики

Графики и чертежи

Материалы

Проекты

Отзывы клиентов

Сухой вакуумный насос ERSTVAK EV-LR120 — безмасляный насос серии EV-LR для технологических систем, где важны чистота газового тракта, компактная компоновка и стабильная форвакуумная откачка. Серия разработана на основе рутс-подобной схемы и ориентирована на работу без масла в рабочей части, что снижает риск загрязнения вакуумного объёма углеводородами.

Конструкция EV-LR предусматривает водяное охлаждение, лабиринтную систему уплотнения и опору вала с двух сторон. Такое исполнение помогает отделить рабочую часть от смазочных полостей, уменьшить вибрационную нагрузку и поддерживать стабильное положение вращающихся узлов при продолжительной эксплуатации.

Конструкция и эксплуатация

В серии применяются керамические подшипники и многоступенчатое уплотнение, а азотная продувка может использоваться для поддержания чистоты внутренних полостей и требуемого режима процесса. Охлаждение отводит тепло от насосного блока и двигателя, что важно при длительной работе в составе автоматизированной установки.

EV-LR120 подходит для интеграции в вакуумные линии, где сухой насос должен работать совместно с технологической камерой, системой охлаждения и другими элементами оборудования. При подборе конфигурации учитывают состав откачиваемой среды, режим процесса и требования к чистоте.

Применение

Серия EV-LR используется в загрузочных и шлюзовых камерах полупроводниковых и фотоэлектрических систем, электронно-лучевой литографии, процессах физического осаждения из паровой фазы PVD, а также при расщеплении и озолении. EV-LR120 подходит для установок, где требуется сухая компактная форвакуумная откачка без применения масла в рабочей части насоса.

Тип: Винтовые

Уровень вакуума: Средний

Тип смазки: Безмасляный

Скорость откачки, м³/ч: 110

Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.03

Мощность, кВт: 2.2

Входной патрубок: ISO-K63

Выходной патрубок: KF25

Количество ступеней: 2

Охлаждение: Водяное

Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 444×239×285

Масса, кг: 60

Расход рабочей жидкости, л/мин: 1.5

Уровень шума, дБа: 60

Напряжение, В: 380

Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов

Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.

diapazon_rabochih_davleniy_tipov_vakuumnyh_nasosov

График скорости откачки

График показывает зависимость скорости откачки оборудования серии EV-LR от давления. По кривым можно сопоставить характеристики серии в показанном диапазоне давления.

grafik_skorosti_otkachki_ev_lr120_ev_lr500_ev_lr500p

Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.

Сухие вакуумные насосы ERSTVAK: pdf /

Путеводитель по вакууму: pdf /

Установили имитаторы космического пространства ERSTVAK для Аэрокосмического университета

11.05.18

1 мин.

1113

Поставили химически стойкий безмаслянный насос NVS 120 в ФГУП ЦНИИХМ

14.05.18

2 мин.

1221

Заменили европейскую установку для печатного станка: индивидуальное решение

28.05.26

1 мин.

166

Игорь Орлов

Брaли через erstvak бустерный насос Рутса в пару к уже установленному вакуумному насосу. Задача была увеличить скорость откачки, но не развалить существующую схему по управлению и защите. Сначала скинули им параметры нашей установки, потом oтдельно обсуждали, что останется старое, а что лучше заменить сразу. В итоге поменяли еще часть арматуры и датчики, иначе смыслa было бы меньше. Запуск прошел спокойно, oткачка стала заметно быстрее, по аварийным остановам пока тишина.

Алексей Круч

Для нужд предприятия искали мощный вакуумный насос. Нашли в компании Эрствак. Доставили в срок. Работает исправно, с нагрузкой сравляется. И радует, что у поставщика есть возможность покупать расходники, либо самим сдать в ремонт, случись чего.

Дмитрий П.

Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.

Александр Измайлов

Консультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично

Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: