- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Бустерные вакуумные насосы Рутса
- Сухой вакуумный насос ERSTVAK EV-LR2000
Сухой вакуумный насос ERSTVAK EV-LR2000
Сухие вакуумные насосы ERSTVAK обладают рядом уникальных характеристик, которые делают их идеальными для использования в сложных промышленных процессах. Они широко применяются в химической промышленности для дистилляции и сублимации, в фармацевтике для лиофилизации и удаления растворителей, в полупроводниковой промышленности для создания чистых производственных условий, а также в научных исследованиях, различных аналитических установках, масс-спектрометрах, анализаторах поверхности и в других «чистых» вакуумных применениях.Серия сухих винтовых насосов EV-LR разработаны с учетом конструкции «Рутс», что обеспечивает низкое энергопотребление, компактные габариты и высокую скорость откачки.
Применения
- загрузочные и шлюзовые камеры в полупроводниковых и фотоэлектрических системах;
- электронно-лучевая литография;
- нанесение покрытия осаждением паров (PVD);
- расщепление/озоление.
- Тип
- Винтовые
- Уровень вакуума
- Средний
- Тип смазки
- Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч
- 2300
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.)
- 7 × 10⁻³
- Мощность, кВт
- 26
- Входной патрубок
- ISO-K160
- Выходной патрубок
- KF50
- Количество ступеней
- 2
- Охлаждение
- Водяное
- Масса, кг
- 750
- Производитель
- ERSTVAK
- Серия
- EV-LR
- Страна
- Российская Федерация
- Длина, мм
- 1310
- Высота, мм
- 1002
- Ширина, мм
- 620
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм
- 1310×620×1002
- Расход рабочей жидкости, л/мин
- 6
- Уровень шума, дБа
- 70
- Напряжение, В
- 380