Сухой вакуумный насос ERSTVAK EV-LR3000

product-card

Тип Винтовые
Уровень вакуума Средний
Тип смазки Безмасляный
Скорость откачки, м³/ч 3380
Предельное остаточное давление, мбар (абс.) 7 × 10⁻³
Мощность, кВт 26
Входной патрубок ISO-K160
Выходной патрубок KF50
Количество ступеней 2

В корзину

Описание

Характеристики

Отзывы клиентов

Сухой вакуумный насос ERSTVAK EV-LR3000 — безмасляный насос серии EV-LR для технологических вакуумных систем, где требуется сухая откачка без масла в рабочей части. Серия разработана с учётом рутс-подобной конструкции и сочетает компактную компоновку, низкое энергопотребление и высокую скорость откачки.

EV-LR3000 входит в стандартный модельный ряд EV-LR. Модель может быть встроена в технологическую вакуумную линию вместе с камерой, вакуумной арматурой и другими элементами системы.

Конструкция и интеграция

Для серии EV-LR предусмотрено охлаждение насосного блока. При проектировании вакуумной системы учитывают тепловой режим, состав откачиваемой среды, требования к вакуумным коммуникациям и условия конкретного технологического процесса. Компактная компоновка и сниженное энергопотребление относятся к особенностям серии.

Для серии EV-LR также доступны отдельные исполнения с индексом P. В таких модификациях предусмотрены контроль температуры и очистка азотом (N₂).

Применение

Серия EV-LR применяется в загрузочных и шлюзовых камерах полупроводниковых и фотоэлектрических систем, в электронно-лучевой литографии, процессах физического осаждения из паровой фазы PVD, а также при расщеплении и озолении. В этих задачах оборудование обеспечивает сухую вакуумную откачку и может использоваться как часть комплексной вакуумной системы.

Тип: Винтовые

Уровень вакуума: Средний

Тип смазки: Безмасляный

Скорость откачки, м³/ч: 3380

Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 7 × 10⁻³

Мощность, кВт: 26

Входной патрубок: ISO-K160

Выходной патрубок: KF50

Количество ступеней: 2

Охлаждение: Водяное

Масса, кг: 820

Производитель: ERSTVAK

Серия: EV-LR

Страна: Российская Федерация

Длина, мм: 1310

Высота, мм: 1002

Ширина, мм: 620

Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1310×620×1002

Расход рабочей жидкости, л/мин: 6

Уровень шума, дБа: 70

Напряжение, В: 380

Игорь Орлов

Брaли через erstvak бустерный насос Рутса в пару к уже установленному вакуумному насосу. Задача была увеличить скорость откачки, но не развалить существующую схему по управлению и защите. Сначала скинули им параметры нашей установки, потом oтдельно обсуждали, что останется старое, а что лучше заменить сразу. В итоге поменяли еще часть арматуры и датчики, иначе смыслa было бы меньше. Запуск прошел спокойно, oткачка стала заметно быстрее, по аварийным остановам пока тишина.

Алексей Круч

Для нужд предприятия искали мощный вакуумный насос. Нашли в компании Эрствак. Доставили в срок. Работает исправно, с нагрузкой сравляется. И радует, что у поставщика есть возможность покупать расходники, либо самим сдать в ремонт, случись чего.

Дмитрий П.

Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.

Александр Измайлов

Консультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично

Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: