Криогенный насос ERSTVAK CryoVac EV-CTP-400

product-card

Тип Криогенные
Уровень вакуума Сверхвысокий
Тип смазки Безмасляный
Скорость откачки, м³/ч 21600
Предельное остаточное давление, мбар (абс.) 1 × 10⁻⁹
Входной патрубок ISO-K400
Охлаждение Водяное
Масса, кг 70
Минимальная температура окружающей среды, °С 5

В корзину

Описание

Характеристики

Графики и чертежи

Проекты

Отзывы клиентов

Криогенный насос ERSTVAK CryoVac EV-CTP-400 рассчитан на высоковакуумные установки с большой скоростью откачки. Принцип действия основан на связывании газов при криогенной температуре: водяной пар и другие конденсируемые компоненты осаждаются на холодных поверхностях, а лёгкие газы удерживаются сорбционным слоем.

В насосах EV-CTP используется криокулер с рабочей температурой 10 K. Остаточное давление серии достигает 10−7 Па. Откачка сопровождается накоплением газов внутри насоса, поэтому после исчерпания допустимой ёмкости выполняют регенерацию: криопанели нагревают, удаляют высвободившийся газ и снова охлаждают.

Принцип работы и эксплуатация

Криогенный способ особенно эффективен при высокой нагрузке по водяному пару, но для каждого газа скорость и доступная ёмкость различаются. Поэтому рабочий цикл EV-CTP-400 рассчитывают с учётом состава среды. Во время штатной работы форвакуумный насос не требуется.

Технические характеристики

скорость откачки по водороду — 10000 л/с;
скорость откачки по аргону — 5000 л/с;
скорость откачки по водяному пару — 16000 л/с;
ёмкость по аргону — 4300 SL;
ёмкость по водороду — 24 SL;
максимальная пропускная способность по аргону — 1500 Па·л/с.

Применение

EV-CTP-400 предназначен для чистых высоковакуумных производственных и испытательных процессов.

PVD-процессы с высокой газовой нагрузкой.
полупроводниковое производство.
покрытие оптики и стекла.
крупные исследовательские камеры.
вакуумные стенды и системы ускорителей.

Скорость откачки, газовая ёмкость и максимальная пропускная способность относятся непосредственно к EV-CTP-400 и должны сопоставляться с конкретным режимом процесса.

Тип: Криогенные

Уровень вакуума: Сверхвысокий

Тип смазки: Безмасляный

Скорость откачки, м³/ч: 21600

Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹

Входной патрубок: ISO-K400

Охлаждение: Водяное

Масса, кг: 70

Минимальная температура окружающей среды, °С: 5

Расход рабочей жидкости, л/мин: 6.5

Время охлаждения, мин: 120

Температура охлаждающей воды: +8 — +35

Максимальная температура окружающей среды, °C: 40

Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов

Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.

diapazon_rabochih_davleniy_tipov_vakuumnyh_nasosov

Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.

Установили имитаторы космического пространства ERSTVAK для Аэрокосмического университета

11.05.18

1 мин.

1109

Заменили европейскую установку для печатного станка: индивидуальное решение

28.05.26

1 мин.

165

Разработали испытательный стенд для электровакуумных излучателей для объектов «Росатома»

10.06.25

1 мин.

935

Мирослав Володько

Работают квалифицированные менеджеры. Когда общаешься, сразу видно, что соображают в теме насосного оборудования. Я обращался по поводу форвакуумных насосов. В частности, интересовали мембранные вакуумные насосы. Менеджер провел хорошую презентацию по каждой модели, что помогло найти именно те, что подходили под наши мощности и задачи. Однако есть и одно замечание: привезли на пару дней позже оговренного срока. Не скажу, что это как-то сказалось на работе, но некоторые планы пришлось сдвигать.

Алексей Круч

Для нужд предприятия искали мощный вакуумный насос. Нашли в компании Эрствак. Доставили в срок. Работает исправно, с нагрузкой сравляется. И радует, что у поставщика есть возможность покупать расходники, либо самим сдать в ремонт, случись чего.

Дмитрий П.

Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.

Александр Измайлов

Консультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично

Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: