- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Криогенные насосы
- Криогенный насос ERSTVAK CryoVac EV-CTP-320W
Криогенный насос ERSTVAK CryoVac EV-CTP-320W
Криогенный насос ERSTVAK CryoVac EV-CTP-320W входит в линейку безмасляных криогенных насосов для высокого вакуума. Газовая нагрузка принимается охлаждёнными криоповерхностями за счёт криоконденсации и сорбции. В самом вакуумном объёме нет рабочего масла и вращающихся механических элементов.
Криокулер EV-CTP работает при температуре около 10 K, а остаточное давление линейки достигает 10−7 Па. Рабочая ёмкость насоса определяется количеством газа, которое могут удержать охлаждённые поверхности, поэтому в регламенте эксплуатации предусматривается регенерация с удалением накопленных компонентов.
Принцип работы и эксплуатация
Во время регенерации криопанели нагревают, высвободившийся газ удаляют, а затем насос повторно охлаждают. Для оценки продолжительности рабочего периода необходимо учитывать состав газовой смеси и индивидуальные ёмкости по газам. Во время штатной работы форвакуумный насос не требуется.
Технические характеристики
- скорость откачки по водороду — 6000 л/с;
- скорость откачки по аргону — 3300 л/с;
- скорость откачки по водяному пару — 11000 л/с;
- ёмкость по аргону — 3100 SL;
- ёмкость по водороду — 20 SL;
- максимальная пропускная способность по аргону — 1500 Па·л/с.
Применение
Модель используют в производственных и исследовательских установках с требованиями к чистому высокому вакууму.
- вакуумное напыление и рост плёнок.
- микроэлектроника и дисплеи.
- высоковакуумные испытательные камеры.
- вакуумные печи.
- научно-исследовательское оборудование.
Числовые значения скорости, ёмкости и пропускной способности относятся к EV-CTP-320W. Их следует использовать совместно с фактическим составом газовой нагрузки и заданной длительностью технологического цикла.
- Тип
- Криогенные
- Уровень вакуума
- Сверхвысокий
- Тип смазки
- Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч
- 14400
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.)
- 1 × 10⁻⁹
- Входной патрубок
- ISO-K320
- Охлаждение
- Водяное
- Масса, кг
- 40
- Минимальная температура окружающей среды, °С
- 5
- Расход рабочей жидкости, л/мин
- 6.5
- Время охлаждения, мин
- 120
- Температура охлаждающей воды
- +8 — +35
- Максимальная температура окружающей среды, °C
- 40
Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов
Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.
Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.
Мирослав ВолодькоРаботают квалифицированные менеджеры. Когда общаешься, сразу видно, что соображают в теме насосного оборудования. Я обращался по поводу форвакуумных насосов. В частности, интересовали мембранные вакуумные насосы. Менеджер провел хорошую презентацию по каждой модели, что помогло найти именно те, что подходили под наши мощности и задачи. Однако есть и одно замечание: привезли на пару дней позже оговренного срока. Не скажу, что это как-то сказалось на работе, но некоторые планы пришлось сдвигать.
Алексей КручДля нужд предприятия искали мощный вакуумный насос. Нашли в компании Эрствак. Доставили в срок. Работает исправно, с нагрузкой сравляется. И радует, что у поставщика есть возможность покупать расходники, либо самим сдать в ремонт, случись чего.
Дмитрий П.Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.
Александр ИзмайловКонсультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично
Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: