Криогенный насос ERSTVAK CryoVac EV-CTP-200

Криогенный насос ERSTVAK CryoVac EV-CTP-200 предназначен для чистой безмасляной откачки высоковакуумных технологических камер. В серии газ удаляется не механическим сжатием, а улавливанием на криогенно охлаждённых поверхностях: конденсируемые компоненты осаждаются, а часть лёгких газов удерживается сорбционным слоем.

Криокулер серии работает при температуре порядка 10 K. Остаточное давление линейки достигает 10−7 Па. По мере накопления газа доступная ёмкость криопанелей уменьшается, поэтому насос периодически выводят из рабочего режима, нагревают и регенерируют, удаляя накопленные газы перед повторным охлаждением.

Принцип работы и эксплуатация

Криогенная откачка особенно эффективна для водяного пара и других газов, которые хорошо удерживаются на охлаждённых поверхностях. При этом скорость и доступная ёмкость различаются для разных газов, поэтому при подборе насоса важно учитывать не только требуемое давление, но и состав газовой нагрузки. Во время штатной работы форвакуумный насос не требуется.

Технические характеристики

• скорость откачки по водороду — 2700 л/с;
• скорость откачки по аргону — 1400 л/с;
• скорость откачки по водяному пару — 4000 л/с;
• ёмкость по аргону — 1000 SL;
• ёмкость по водороду — 17 SL;
• максимальная пропускная способность по аргону — 1200 Па·л/с.

Применение

Серия ориентирована на процессы, где требуется чистый высокий вакуум и значительная скорость откачки без масла в рабочем объёме. Для модели EV-CTP-200 типичными направлениями применения являются:

• производство полупроводников и интегральных схем.
• нанесение PVD-покрытий и рост тонких плёнок.
• вакуумные камеры и исследовательские стенды.
• моделирование космических условий.
• процессы, чувствительные к углеводородному загрязнению.

При выборе конкретного исполнения необходимо сопоставлять рабочую характеристику с газовым составом процесса и планируемой продолжительностью цикла до регенерации. Скорости откачки, газовые ёмкости и максимальная пропускная способность относятся к EV-CTP-200.