- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Криогенные насосы
- Криогенный насос ERSTVAK CryoVac EV-CTP-720
Криогенный насос ERSTVAK CryoVac EV-CTP-720
Криогенный насос ERSTVAK CryoVac EV-CTP-720 предназначен для высокопроизводительной безмасляной откачки крупных технологических и исследовательских камер. Газ удаляется из рабочего объёма за счёт криоконденсации и криосорбции на охлаждённых поверхностях: конденсируемые компоненты осаждаются на криопанелях, а лёгкие газы удерживаются сорбционным материалом. В вакуумной части не используется масло и отсутствует механический узел, сжимающий и переносящий газ.
Криокулер работает при температуре порядка 10 K, а предельное остаточное давление линейки достигает 10−7 Па. Поскольку откачанные компоненты накапливаются внутри насоса, рабочая ёмкость постепенно уменьшается. Для её восстановления выполняют регенерацию: криоповерхности нагревают, высвободившиеся газы удаляют, затем насос снова охлаждают до рабочего состояния.
Принцип работы и эксплуатация
Скорость откачки и доступная ёмкость зависят от природы газа. Водяной пар эффективно удерживается на холодных поверхностях, а при работе с водородом важную роль играет сорбционный слой. Поэтому при подборе EV-CTP-720 учитывают не только объём камеры и требуемое давление, но и состав газовой нагрузки, ожидаемый поток каждого компонента и допустимую продолжительность цикла между регенерациями. В штатном режиме отдельный форвакуумный насос не требуется.
Технические характеристики
- скорость откачки по водороду — 39000 л/с;
- скорость откачки по аргону — 19000 л/с;
- скорость откачки по водяному пару — 57000 л/с;
- ёмкость по аргону — 8400 SL;
- ёмкость по водороду — 130 SL;
- максимальная пропускная способность по аргону — 2000 Па·л/с.
Применение
EV-CTP-720 применяют в больших установках вакуумного напыления, полупроводниковом производстве, испытательных вакуумных камерах, имитаторах космического пространства и исследовательских высоковакуумных комплексах. Высокая скорость по водяному пару, аргону и водороду делает модель подходящей для камер с существенной газовой нагрузкой, а безмасляный принцип откачки — для процессов с повышенными требованиями к чистоте вакуумной среды.
- Тип
- Криогенные
- Уровень вакуума
- Сверхвысокий
- Тип смазки
- Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч
- 75600
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.)
- 1 × 10⁻⁹
- Входной патрубок
- UVG720
- Охлаждение
- Водяное
- Масса, кг
- 210
- Минимальная температура окружающей среды, °С
- 5
- Расход рабочей жидкости, л/мин
- 6.5
- Время охлаждения, мин
- 180
- Температура охлаждающей воды
- +8 — +35
- Максимальная температура окружающей среды, °C
- 40
Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов
Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.
Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.
Мирослав ВолодькоРаботают квалифицированные менеджеры. Когда общаешься, сразу видно, что соображают в теме насосного оборудования. Я обращался по поводу форвакуумных насосов. В частности, интересовали мембранные вакуумные насосы. Менеджер провел хорошую презентацию по каждой модели, что помогло найти именно те, что подходили под наши мощности и задачи. Однако есть и одно замечание: привезли на пару дней позже оговренного срока. Не скажу, что это как-то сказалось на работе, но некоторые планы пришлось сдвигать.
Алексей КручДля нужд предприятия искали мощный вакуумный насос. Нашли в компании Эрствак. Доставили в срок. Работает исправно, с нагрузкой сравляется. И радует, что у поставщика есть возможность покупать расходники, либо самим сдать в ремонт, случись чего.
Дмитрий П.Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.
Александр ИзмайловКонсультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично
Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: