Криогенный насос ERSTVAK CryoVac EV-CTP-720

Криогенный насос ERSTVAK CryoVac EV-CTP-720 предназначен для высокопроизводительной безмасляной откачки крупных технологических и исследовательских камер. Газ удаляется из рабочего объёма за счёт криоконденсации и криосорбции на охлаждённых поверхностях: конденсируемые компоненты осаждаются на криопанелях, а лёгкие газы удерживаются сорбционным материалом. В вакуумной части не используется масло и отсутствует механический узел, сжимающий и переносящий газ.

Криокулер работает при температуре порядка 10 K, а предельное остаточное давление линейки достигает 10⁻⁷ Па. Поскольку откачанные компоненты накапливаются внутри насоса, рабочая ёмкость постепенно уменьшается. Для её восстановления выполняют регенерацию: криоповерхности нагревают, высвободившиеся газы удаляют, затем насос снова охлаждают до рабочего состояния.

Принцип работы и эксплуатация

Скорость откачки и доступная ёмкость зависят от природы газа. Водяной пар эффективно удерживается на холодных поверхностях, а при работе с водородом важную роль играет сорбционный слой. Поэтому при подборе EV-CTP-720 учитывают не только объём камеры и требуемое давление, но и состав газовой нагрузки, ожидаемый поток каждого компонента и допустимую продолжительность цикла между регенерациями. В штатном режиме отдельный форвакуумный насос не требуется.

Технические характеристики

• скорость откачки по водороду — 39000 л/с;
• скорость откачки по аргону — 19000 л/с;
• скорость откачки по водяному пару — 57000 л/с;
• ёмкость по аргону — 8400 SL;
• ёмкость по водороду — 130 SL;
• максимальная пропускная способность по аргону — 2000 Па·л/с.

Применение

EV-CTP-720 применяют в больших установках вакуумного напыления, полупроводниковом производстве, испытательных вакуумных камерах, имитаторах космического пространства и исследовательских высоковакуумных комплексах. Высокая скорость по водяному пару, аргону и водороду делает модель подходящей для камер с существенной газовой нагрузкой, а безмасляный принцип откачки — для процессов с повышенными требованиями к чистоте вакуумной среды.