- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Криогенные насосы
- Криогенный насос ERSTVAK CryoVac EV-CTP-250
Криогенный насос ERSTVAK CryoVac EV-CTP-250
Криогенный насос ERSTVAK CryoVac EV-CTP-250 создан для высоковакуумных процессов, в которых одновременно важны чистота газовой среды и высокая скорость удаления водяного пара и технологических газов. Охлаждённые криоповерхности конденсируют часть компонентов, а сорбционный материал удерживает газы, плохо конденсирующиеся при рабочей температуре.
Криокулер CryoVac EV-CTP работает при температуре 10 K, а остаточное давление серии достигает 10−7 Па. После заполнения доступной газовой ёмкости криопанели необходимо регенерировать: их нагревают, освобождают от накопленных компонентов и затем снова охлаждают до рабочего состояния.
Принцип работы и эксплуатация
Криогенный насос накапливает откачиваемые компоненты внутри, поэтому при проектировании важно учитывать не только мгновенную скорость, но и газовую ёмкость. Параметры заметно различаются для водорода, аргона и водяного пара. Во время штатной работы форвакуумный насос не требуется.
Технические характеристики
- скорость откачки по водороду — 3600 л/с;
- скорость откачки по аргону — 2000 л/с;
- скорость откачки по водяному пару — 6900 л/с;
- ёмкость по аргону — 2000 SL;
- ёмкость по водороду — 16 SL;
- максимальная пропускная способность по аргону — 1200 Па·л/с.
Применение
Модель применяется в чистых высоковакуумных системах технологического и исследовательского назначения.
- PVD и рост тонких плёнок.
- производство микроэлектроники.
- ионная имплантация и оптоэлектроника.
- научные вакуумные стенды.
- камеры моделирования космических условий.
При выборе EV-CTP-250 следует сопоставлять приведённые модельные характеристики с фактической газовой нагрузкой процесса и допустимой длительностью цикла до регенерации.
- Тип
- Криогенные
- Уровень вакуума
- Сверхвысокий
- Тип смазки
- Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч
- 8640
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.)
- 1 × 10⁻⁹
- Входной патрубок
- ISO-K250
- Охлаждение
- Водяное
- Масса, кг
- 30
- Минимальная температура окружающей среды, °С
- 5
- Расход рабочей жидкости, л/мин
- 6.5
- Время охлаждения, мин
- 110
- Температура охлаждающей воды
- +8 — +35
- Максимальная температура окружающей среды, °C
- 40
Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов
Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.
Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.
Мирослав ВолодькоРаботают квалифицированные менеджеры. Когда общаешься, сразу видно, что соображают в теме насосного оборудования. Я обращался по поводу форвакуумных насосов. В частности, интересовали мембранные вакуумные насосы. Менеджер провел хорошую презентацию по каждой модели, что помогло найти именно те, что подходили под наши мощности и задачи. Однако есть и одно замечание: привезли на пару дней позже оговренного срока. Не скажу, что это как-то сказалось на работе, но некоторые планы пришлось сдвигать.
Алексей КручДля нужд предприятия искали мощный вакуумный насос. Нашли в компании Эрствак. Доставили в срок. Работает исправно, с нагрузкой сравляется. И радует, что у поставщика есть возможность покупать расходники, либо самим сдать в ремонт, случись чего.
Дмитрий П.Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.
Александр ИзмайловКонсультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично
Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: