- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Криогенные насосы
- Криогенный насос ERSTVAK CryoVac EV-CTP-250W
Криогенный насос ERSTVAK CryoVac EV-CTP-250W
Криогенный насос ERSTVAK CryoVac EV-CTP-250W представляет собой безмасляный высоковакуумный насос криогенного типа. Он связывает откачиваемые газы на охлаждённых внутренних поверхностях посредством конденсации и сорбции, поэтому в вакуумной части не требуется рабочее масло и отсутствует высокоскоростной ротор.
Рабочая температура криокулера серии составляет около 10 K. Остаточное давление линейки достигает 10−7 Па. В отличие от насосов непрерывного газового переноса, криогенный насос накапливает откачанные компоненты внутри, поэтому его эксплуатационный цикл включает обязательную периодическую регенерацию.
Принцип работы и эксплуатация
После насыщения криоповерхностей насос нагревают, накопленные газы удаляют, затем оборудование снова охлаждают до рабочего состояния. Продолжительность цикла зависит от состава и интенсивности газовой нагрузки. Во время штатной работы форвакуумный насос не требуется.
Технические характеристики
- скорость откачки по водороду — 3600 л/с;
- скорость откачки по аргону — 2000 л/с;
- скорость откачки по водяному пару — 6900 л/с;
- ёмкость по аргону — 2000 SL;
- ёмкость по водороду — 16 SL;
- максимальная пропускная способность по аргону — 1200 Па·л/с.
Применение
EV-CTP-250W предназначен для технологических камер, где нужен высокий вакуум без масляного загрязнения.
- вакуумное напыление.
- полупроводниковые процессы.
- производство дисплеев и солнечных панелей.
- исследовательские камеры.
- системы анализа материалов.
Скорости откачки, газовые ёмкости и максимальная пропускная способность относятся к EV-CTP-250W. При подборе дополнительно учитывают реальный состав газа и требуемый интервал между регенерациями.
- Тип
- Криогенные
- Уровень вакуума
- Сверхвысокий
- Тип смазки
- Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч
- 8640
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.)
- 1 × 10⁻⁹
- Входной патрубок
- ISO-K250
- Охлаждение
- Водяное
- Масса, кг
- 28
- Минимальная температура окружающей среды, °С
- 5
- Расход рабочей жидкости, л/мин
- 6.5
- Время охлаждения, мин
- 110
- Температура охлаждающей воды
- +8 — +35
- Максимальная температура окружающей среды, °C
- 40
Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов
Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.
Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.
Мирослав ВолодькоРаботают квалифицированные менеджеры. Когда общаешься, сразу видно, что соображают в теме насосного оборудования. Я обращался по поводу форвакуумных насосов. В частности, интересовали мембранные вакуумные насосы. Менеджер провел хорошую презентацию по каждой модели, что помогло найти именно те, что подходили под наши мощности и задачи. Однако есть и одно замечание: привезли на пару дней позже оговренного срока. Не скажу, что это как-то сказалось на работе, но некоторые планы пришлось сдвигать.
Алексей КручДля нужд предприятия искали мощный вакуумный насос. Нашли в компании Эрствак. Доставили в срок. Работает исправно, с нагрузкой сравляется. И радует, что у поставщика есть возможность покупать расходники, либо самим сдать в ремонт, случись чего.
Дмитрий П.Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.
Александр ИзмайловКонсультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично
Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: