Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT1300MU-CAB

EBARA EMT1300MU-CAB — турбомолекулярный вакуумный насос серии EMT с пятикоординатным магнитным подвесом ротора. Исполнение EMT1300MU-CAB оснащено высоковакуумным фланцем CF200 и воздушным охлаждением. Эти параметры определяют требования к механической компоновке и отводу тепла в составе вакуумной установки.

В турбомолекулярной ступени быстро вращающийся ротор передаёт молекулам газа импульс в направлении выхода. Магнитный подвес удерживает ротор без механического контакта в подшипниковом узле, поэтому в зоне подвеса нет обычных контактных подшипников. Насос работает совместно с форвакуумной ступенью, которая поддерживает требуемые условия на выходе. Конструкция EMT допускает установку в различных пространственных положениях, что удобно при интеграции в вакуумные камеры и технологические модули.

Исполнение MU использует контроллер TC010MA; в комплект управления входит внешний блок ETC010MA (-30) и выходной кабель длиной 5 м. Для этой модификации максимальное форвакуумное давление составляет 500 Па, рекомендуемая производительность форвакуумного насоса — не менее 250 л/мин, а время разгона и остановки составляет порядка 4–5 минут. Допустимый поток азота достигает 3000 sccm. Управление и форвакуумную ступень согласуют с режимом конкретной вакуумной системы.

Применение

Насосы EMT применяют в оборудовании для плазменного травления, физического и химического осаждения из паровой фазы, нанесения тонких плёнок и ионного распыления. Серия также используется в масс-спектрометрии, шлюзовых и транспортировочных камерах, SEM/TEM-микроскопии, литографии, XPS и других высоковакуумных системах микроэлектроники и нанотехнологий. Исполнение выбирают по требуемой скорости откачки, типу фланца, охлаждению и условиям технологического процесса.

Технические характеристики EBARA EMT1300MU-CAB

• скорость откачки по N₂ — 1300 л/с;
• предельное остаточное давление — 1 × 10⁻¹⁰ мбар;
• высоковакуумный фланец — CF200;
• охлаждение — воздушное;
• выход форвакуумной линии — KF40;
• контроллер — TC010MA + ETC010MA (-30);
• масса — 42 кг;
• габариты — 264 × 340 × 410 мм.

При подборе насоса учитывают состав газа, рабочее давление, тепловую нагрузку и допустимые условия форвакуумной ступени. Для процессов с реакционноспособными или загрязняющими газами отдельно подбирают конфигурацию продувки, материалы вакуумной линии и защиту технологической системы.