Главная
Каталог
Вакуумная техника
Вакуумные насосы
Турбомолекулярные насосы
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT390M-CWB

Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT390M-CWB

product-card

Тип Турбомолекулярные
Уровень вакуума Сверхвысокий
Тип смазки Безмасляный (сухой)
Скорость откачки, м³/ч 9.612
Предельное остаточное давление, мбар (абс.) 1.0E-9
Входной патрубок CF100
Выходной патрубок CF100
Количество ступеней Многоступенчатый
Охлаждение Водяное

В корзину

Описание

Характеристики

Графики и чертежи

Материалы

Проекты

Отзывы клиентов

EBARA EMT390M-CWB — турбомолекулярный вакуумный насос серии EMT с пятикоординатным магнитным подвесом ротора. Исполнение EMT390M-CWB оснащено высоковакуумным фланцем CF100 и водяным охлаждением. Эти параметры определяют требования к механической компоновке и отводу тепла в составе вакуумной установки.

В турбомолекулярной ступени быстро вращающийся ротор передаёт молекулам газа импульс в направлении выхода. Магнитный подвес удерживает ротор без механического контакта в подшипниковом узле, поэтому в зоне подвеса нет обычных контактных подшипников. Насос работает совместно с форвакуумной ступенью, которая поддерживает требуемые условия на выходе. Конструкция EMT допускает установку в различных пространственных положениях, что удобно при интеграции в вакуумные камеры и технологические модули.

Для M-исполнения применяется внешний контроллер ETC011M. Для типоразмера EMT390M время выхода на рабочую скорость составляет менее 3 минут, а допустимый поток азота достигает 2000 sccm. При проектировании системы форвакуумный насос подбирают по требуемому давлению на выходе, газовой нагрузке и проводимости соединительных линий; турбомолекулярная ступень работает только при согласованной форвакуумной поддержке.

Применение

Насосы EMT применяют в оборудовании для плазменного травления, физического и химического осаждения из паровой фазы, нанесения тонких плёнок и ионного распыления. Серия также используется в масс-спектрометрии, шлюзовых и транспортировочных камерах, SEM/TEM-микроскопии, литографии, XPS и других высоковакуумных системах микроэлектроники и нанотехнологий. Исполнение выбирают по требуемой скорости откачки, типу фланца, охлаждению и условиям технологического процесса.

Технические характеристики EBARA EMT390M-CWB

скорость откачки по N₂ — 340 л/с;
предельное остаточное давление — 1 × 10⁻⁹ мбар;
высоковакуумный фланец — CF100;
охлаждение — водяное;
контроллер — ETC011M;
масса — 19 кг;
габариты — 186 × 288 × 294 мм.

При подборе насоса учитывают состав газа, рабочее давление, тепловую нагрузку и допустимые условия форвакуумной ступени. Для процессов с реакционноспособными или загрязняющими газами отдельно подбирают конфигурацию продувки, материалы вакуумной линии и защиту технологической системы.

Тип: Турбомолекулярные

Уровень вакуума: Сверхвысокий

Тип смазки: Безмасляный (сухой)

Скорость откачки, м³/ч: 9.612

Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1.0E-9

Входной патрубок: CF100

Выходной патрубок: CF100

Количество ступеней: Многоступенчатый

Охлаждение: Водяное

Масса, кг: 19

Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 186×288×294

Серия: EMT

Минимальная температура окружающей среды, °С: 5

Время выхода на режим, мин: 3

Максимальная температура окружающей среды, °C: 45

Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов

Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.

diapazon_rabochih_davleniy_tipov_vakuumnyh_nasosov

Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.

Путеводитель по вакууму: pdf /

Произвели модернизацию вакуумной камеры

27.10.19

1 мин.

1550

Разработали испытательный стенд для электровакуумных излучателей для объектов «Росатома»

10.06.25

1 мин.

1113

Реализовали новый проект по вакуумным печам для высоковакуумного отжига и пайки

23.10.19

1 мин.

1439

Юрий Бычков

С компанией ЭРСТВАК сотрудничаем около двух лет. Начиналось всё с турбомолекулярного насоса для нашей лаборатории в МГУ. Компетентные сотрудники быстро предложили различные варианты, а коммерческое предложение оказалось интереснее, чем у прочих поставщиков. С тех пор регулярно вакуумное оборудование, которое всегда приходит в срок, а часто есть в наличии на складе. Работой компании довольны.

1serga2

Был необходим вакуумный откачной пост для откачки камеры на базе форвакуумного насоса + ТМН. Хотелось бы выразить благодарность конструкторскому отделу за качественное проектирование установки, сервисным инженерам, менеджеру Александру за ведение этого непростого проекта. Оборудование уже введено в эксплуатацию и исправно работает. Однозначно могу рекомендовать Эрствак, как надежного поставщика

Дмитрий П.

Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.

Александр Измайлов

Консультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично

Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: