Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT390M-BAС

EBARA EMT390M-BAS — турбомолекулярный вакуумный насос серии EMT с пятикоординатным магнитным подвесом ротора. Исполнение EMT390M-BAS оснащено высоковакуумным фланцем ISO-F100 и воздушным охлаждением. Эти параметры определяют требования к механической компоновке и отводу тепла в составе вакуумной установки.

В турбомолекулярной ступени быстро вращающийся ротор передаёт молекулам газа импульс в направлении выхода. Магнитный подвес удерживает ротор без механического контакта в подшипниковом узле, поэтому в зоне подвеса нет обычных контактных подшипников. Насос работает совместно с форвакуумной ступенью, которая поддерживает требуемые условия на выходе. Конструкция EMT допускает установку в различных пространственных положениях, что удобно при интеграции в вакуумные камеры и технологические модули.

Для M-исполнения применяется внешний контроллер ETC011M. Для типоразмера EMT390M время выхода на рабочую скорость составляет менее 3 минут, а допустимый поток азота достигает 2000 sccm. При проектировании системы форвакуумный насос подбирают по требуемому давлению на выходе, газовой нагрузке и проводимости соединительных линий; турбомолекулярная ступень работает только при согласованной форвакуумной поддержке.

Применение

Насосы EMT применяют в оборудовании для плазменного травления, физического и химического осаждения из паровой фазы, нанесения тонких плёнок и ионного распыления. Серия также используется в масс-спектрометрии, шлюзовых и транспортировочных камерах, SEM/TEM-микроскопии, литографии, XPS и других высоковакуумных системах микроэлектроники и нанотехнологий. Исполнение выбирают по требуемой скорости откачки, типу фланца, охлаждению и условиям технологического процесса.

Технические характеристики EBARA EMT390M-BAS

• скорость откачки по N₂ — 340 л/с;
• предельное остаточное давление — 1 × 10⁻⁹ мбар;
• высоковакуумный фланец — ISO-F100;
• охлаждение — воздушное;
• контроллер — ETC011M;
• масса — 19 кг;
• габариты — 186 × 288 × 294 мм.

При подборе насоса учитывают состав газа, рабочее давление, тепловую нагрузку и допустимые условия форвакуумной ступени. Для процессов с реакционноспособными или загрязняющими газами отдельно подбирают конфигурацию продувки, материалы вакуумной линии и защиту технологической системы.