Главная
Каталог
Вакуумная техника
Вакуумные насосы
Турбомолекулярные насосы
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT420M-BAB

Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT420M-BAB

product-card

Тип Турбомолекулярные
Уровень вакуума Сверхвысокий
Тип смазки Безмасляный
Скорость откачки, м³/ч 9.612
Предельное остаточное давление, мбар (абс.) 1 × 10⁻⁹
Входной патрубок ISO-F160
Выходной патрубок ISO-F160
Количество ступеней Многоступенчатый
Охлаждение Воздушное

В корзину

Описание

Характеристики

Насосы серии EMT являются абсолютно безмасляными. Эти насосы рассчитаны на работу в тяжелых условиях, например, при производстве полупроводников и изделий микроэлектроники, так и для целей получения сверхвысокого вакуума. Насосы данной серии оборудованы подшипником с пяти-координатным магнитным подвесом, что делает их срок службы практически неограниченным.

Помимо уже перечисленных преимуществ, насос обладает хорошей массо-габаритной характеристикой, имеет возможность свободной установки в любом положении в пространстве, а также низкую стоимость владения, сводя затраты на его обслуживание в процессе эксплуатации к минимуму.

Особенности и преимущества

полностью магнитный подвес — срок службы подшипникового узла практически неограничен;
установка в любом положении в пространстве;
высокий откачиваемый поток;
компактность;
система контроля вращения ротора;
низкий уровень вибрации;
водяное или воздушное охлаждение;
защитный экран в комплекте поставки;
продувка газом для уменьшения вероятности загрязнения насоса;
система электронного торможения ротора;
коммуникационная связь через последовательные порты RS-232, RS-485 и др.;
передовые системы защиты от случайного прорыва атмосферы и прекращения подачи электропитания.

Применение

установки удаления верхнего слоя с поверхности детали (травление);
плазмохимическое и физическое осаждение из паровой фазы;
масс-спектрометрия шлюзовые камеры и транспортировочные камеры;
установки нанесения тонких пленок;
установки для ионного распыления;
sem/tem электронная микроскопия;
микроэлектромеханические системы;
литография;
xps и нанотехнологии.

Опционально: система температурного контроля, работа со сверхнизким уровнем вибрации, радиационно-стойкое исполнение, создание сверхвысокого вакуума, коррозионностойкое исполнение.