Широкодиапазонный вакуумный датчик с холодным катодом ERSTVAK MTM9D-CF40

Широкодиапазонный вакуумный датчик с холодным катодом ERSTVAK MTM9D-CF40 — модель линейки MTM9D. В одном корпусе объединены датчик Пирани и инверсно-магнетронный ионизационный датчик Пеннинга с холодным катодом.

Принцип работы

На начальной и средней стадии откачки давление измеряется датчиком Пирани. При достижении необходимого вакуума встроенный микроконтроллер автоматически включает холодный катод. В магнитном поле возникает устойчивый разряд, параметры которого зависят от количества молекул остаточного газа и используются для определения высокого вакуума.

Автоматическое управление

Датчик Пирани управляет включением и выключением холодного катода. Расширенный диапазон теплопроводностного сенсора позволяет запускать ионизационную часть при более низком давлении, что снижает нагрузку и увеличивает ресурс холодного катода. Алгоритм обеспечивает надежное зажигание разряда при переключении.

Конструкция датчика Пирани

Прочная спиральная нить закрыта металлическим экраном, защищающим ее от паров масла и растворителей. Оптимизированная температурная компенсация повышает стабильность и повторяемость измерений.

Особенности холодного катода

Инверсно-магнетронный сенсор не использует постоянно нагретую нить. Он устойчив к прорывам атмосферы и подходит для продолжительного контроля высокого вакуума. Для двух измерительных принципов предусмотрены отдельные поправочные коэффициенты по типу газа.

Измерение, управление и интерфейсы

• диапазон – от 1000 до 5×10⁻⁹ мбар;
• цифровая регулировка нулевого и атмосферного давления;
• два независимых реле с настраиваемыми порогами и гистерезисом;
• цифровой интерфейс RS-485;
• вспомогательный аналоговый выход 1,5-8,5 В;
• скорость обмена от 9,6 до 115 кбод;
• передача цифрового сигнала на расстояние до 500 м;
• подключение к программируемому логическому контроллеру;
• выбор единиц измерения: мбар, торр и гектопаскаль.

Индикация и конструкция

Большой жидкокристаллический дисплей с подсветкой показывает давление и состояние прибора. Светодиоды отображают режим работы и точки переключения. Корпус из нержавеющей стали защищает электронику от электромагнитных помех. Базовый класс защиты – IP40, опционально IP54. Для подключения предусмотрены фланцы KF25 и CF40.

Материалы вакуумной части

С вакуумной средой контактируют нержавеющая сталь, никель, вольфрам, молибден, стекло и керамика. Подбор материалов рассчитан на работу в широком диапазоне давления.

Области применения

Серия используется в масс-спектрометрии, приборостроении, аналитическом оборудовании, напылительных установках, вакуумных печах и системах оперативного контроля высоковакуумных и сверхвысоковакуумных насосов.

Средства измерений серии внесены в Государственный реестр средств измерений Российской Федерации.