Широкодиапазонные вакуумметры (комбинированные)

ЭРСТВАК предлагает широкодиапазонные вакуумметры для контроля давления в широком диапазоне — от атмосферного до сверхвысокого вакуума. Мы сгруппировали серии по принципу измерения — это поможет вам сориентироваться в нашем каталоге.

MPG, MTM9D, VSR, VSR53 — широкодиапазонные вакуумметры, объединяющие датчик Пирани и инверсно-магнетронный датчик с холодным катодом. Охватывают диапазон от атмосферного давления до высокого вакуума, подходят для напылительных установок, аналитического оборудования и масс-спектрометрии. Доступны аналоговые и цифровые исполнения.

MTH10D, VSH — вакуумметры на базе датчика Пирани и датчика с горячим катодом. Перекрывают диапазон от форвакуума до сверхвысокого вакуума, применяются в высоковакуумных и сверхвысоковакуумных системах: вакуумных печах, напылительных установках, установках имитации космоса.

PCG — вакуумметры, объединяющие газонезависимый емкостный принцип и датчик Пирани. Обеспечивают устойчивое и универсальное измерение в широком диапазоне давлений для промышленного контроля вакуума.

VCP6, VSP6 — датчики Пирани в исполнениях Analogline и Smartline. VCP6 предназначен для химически агрессивных сред, VSP6 — для типовых промышленных задач. Оба поддерживают широкий выбор интерфейсов: 0–10 В, 4–20 мА, RS485, EtherCAT, Profinet.

VCL, VSL — комбинированные датчики Пьезо/Пирани, специально адаптированные для нагрузочных шлюзов и переходных камер. Рассчитаны на быстрые циклы загрузки/разгрузки. VCL оснащен платинородиевой нитью для работы в агрессивных средах.

VCR — датчики Пьезо/Пирани в исполнении PtRh для универсального контроля вакуума в широком диапазоне давлений. Поддерживают промышленные интерфейсы RS485, EtherCAT и Profinet.

SKY — семейство высокоточных мембранно-емкостных вакуумметров с керамическим коррозионностойким сенсором и температурной компенсацией. Предназначены для полупроводниковых, плазменных, химических и тонкопленочных процессов, где критична долговременная стабильность измерений.

VD8 — компактные цифровые вакуумметры с функцией регистрации данных Предназначены для мобильного локального измерения и регистрации вакуума при наладке, диагностике и сервисных работах.