Широкодиапазонный вакуумный датчик с горячим катодом ERSTVAK MTH10D-CF40

Широкодиапазонный вакуумный датчик с горячим катодом ERSTVAK MTH10D-CF40 — модель линейки MTH10D. Серия объединяет датчик Пирани и ионизационный датчик Байярда-Альперта с горячим катодом, обеспечивая контроль от атмосферного давления до сверхвысокого вакуума.

Принцип работы

На верхнем участке диапазона давление измеряется датчиком Пирани. Встроенный микроконтроллер анализирует его показания и автоматически включает горячий катод только после достижения безопасного давления. В высоковакуумной области электроны, испускаемые нагретой нитью, ионизируют молекулы остаточного газа, а измеренный ионный ток преобразуется в значение давления.

Автоматическое управление сенсорами

Расширенный диапазон датчика Пирани позволяет дольше использовать теплопроводностный принцип и включать горячий катод при более низком давлении. Это уменьшает нагрузку на ионизационный сенсор и увеличивает срок его службы. Переключение выполняется автоматически встроенным высокопроизводительным микроконтроллером.

Конструкция датчика Пирани

Прочная спиральная нить защищена металлическим экраном от паров масла и растворителей. Такая защита повышает стабильность и надежность измерения в реальных вакуумных системах.

Конструкция горячего катода

Ионизационный датчик имеет защиту от перегрева и две нити накаливания с иттриевым покрытием. Дублирование повышает эксплуатационную надежность. Предусмотрен резистивный прогрев анода для дегазации. Датчик устойчив к прорывам атмосферы.

Измерительные и электрические характеристики

• диапазон – от 1000 до 5×10⁻¹⁰ мбар;
• время отклика – менее 200 мс;
• автоматическое переключение тока эмиссии;
• отдельные газовые поправочные коэффициенты для Пирани и горячего катода;
• напряжение питания 20-30 В постоянного тока;
• аналоговый выход 0-10 В;
• вспомогательный аналоговый выход 1,5-8,5 В;
• цифровой интерфейс RS-485;
• скорость обмена от 9,6 до 115 кбод;
• передача сигнала на расстояние до 500 м.

Управление и индикация

Два независимых реле с настраиваемыми порогами позволяют управлять внешними устройствами. Светодиоды показывают состояние датчика и срабатывание порогов. Встроенный жидкокристаллический дисплей с подсветкой отображает давление и параметры работы. Нулевое и атмосферное давление настраиваются кнопкой или через интерфейс.

Конструкция и монтаж

Корпус защищает электронику от электромагнитных помех. Предусмотрены фланцы KF40 и CF40 из нержавеющей стали. Базовый класс защиты – IP40, опционально IP54. При отключенной электронике фланец допускает прогрев до 180 °C.

Области применения

Серия используется в приборостроении, аналитическом оборудовании, установках вакуумного напыления, вакуумных печах, системах оперативного контроля высоковакуумных и сверхвысоковакуумных насосов, а также в установках имитации космического пространства.

Средства измерений серии внесены в Государственный реестр средств измерений Российской Федерации.