- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Приборы измерения и контроля вакуума
- Вакуумметры
- Цифровые вакуумметры
- Датчики Пирани
- Инверсно-магнетронный вакуумметр Пирани INFICON MPG400 DN 40 CF-F
Инверсно-магнетронный вакуумметр Пирани INFICON MPG400 DN 40 CF-F
Инверсно-магнетронный вакуумметр Пирани INFICON MPG400 DN 40 CF-F — модель линейки MPG. В одном корпусе объединены теплопроводностный датчик Пирани и инверсно-магнетронный ионизационный датчик с холодным катодом.
Принцип работы
На начальной стадии откачки, когда давление еще сравнительно высокое, измерение выполняет датчик Пирани. Его сигнал основан на зависимости теплопроводности газа от давления. По мере углубления вакуума включается инверсно-магнетронный датчик, способный измерять значительно более низкое давление.
Автоматическое сочетание двух принципов обеспечивает непрерывную кривую измерения без необходимости устанавливать на камеру отдельный форвакуумный и высоковакуумный прибор.
Преимущества серии
- широкий диапазон измерения одним датчиком;
- контроль стадий предварительной и высоковакуумной откачки;
- автоматический переход между измерительными элементами;
- компактное размещение в одном корпусе;
- уменьшение количества вакуумных портов и кабельных соединений;
- удобство интеграции в систему управления;
- возможность использовать показания для безопасного управления насосами и клапанами.
Практическое применение
Вакуумметр позволяет наблюдать весь цикл откачки: контролировать работу форвакуумного насоса, определять момент безопасного запуска высоковакуумной ступени, отслеживать достижение рабочего давления и фиксировать ухудшение вакуума.
Серия применяется в вакуумных камерах, аналитическом оборудовании, установках нанесения покрытий, исследовательских системах и другом оборудовании, где требуется измерять давление в нескольких вакуумных диапазонах одним прибором.
- Фланец
- DN40 CF-F
- Производитель
- INFICON
- Серия
- MPG
- Страна
- Швейцария
- Степень защиты
- IP40
- Минимальная температура окружающей среды, °С
- -40
- Внутренний объем, см³
- 20
- Электрическое подключение
- Разъем FCC 68 для приборов, 8 контактов, мама
- Материалы, контактирующие с вакуумом
- W
- Точность измерения
- 1 × 10^(-8) — 100 мбар % от показаний ≈±30
- Диапазон измерений (воздух, N2), мбар (Торр)
- 5х10^(-9) — 1000 (3.8x10^(-9) — 760)
- Повторяемость измерений
- 1х10^(-8) — 100 мбар % от показаний ≈±5%
- Ориентация при монтаже
- Любая
- Допустимое давление (абс.), бар
- ≤10 (ограничивается инертным газом)
- Рабочая температура (окр. среды), °C
- +5 — +55
- Макс. температура прогрева, °C
- 150
- Температура катода (Пирани), °C
- 120
- Блок питания с кабелем максимальной длины, В
- +16 — +30 постоянного тока
- Пульсация, V (p-p)
- ≤1
- Энергопотребление, Вт
- ≤2
- Необходимый предохранитель, AT
- ≤1
- Диапазон измерений выходного сигнала, В
- +1.82 — +8.6
- Зависимость напряжение – давление, В на декаду
- Логарифмическая функция, 0.6
- Сигнал ошибки, В
- <0.5 (нет подачи энергии), >9.5 (датчик Пирани, разрушение катода)
- Выходное полное сопротивление, Ом
- 2x10
- Полное сопротивление нагрузки, кОм
- 10, защита от короткого замыкания
- Макс. время отклика p>10^-6 мбар, мс
- 10
- Время отклика p=10^-8 мбар, мс
- 1000
- Идентификация датчика, кОм
- 85, по отношению к общему источнику питания
- Состояние только Пирани, В
- 0 (низкое)
- Состояние Пирани/холодный катод, В
- 15 — 30 (высокое)
- Светодиодный индикатор
- Зеленый - подается высокое напряжение
- Кабель датчика
- 8 контактов, экранирование
- Максимальная длина кабеля (8 × 0.14 м²), м
- 50
- Рабочая сила тока, мкА
- ≤500
- Масса c фланцем DN 25 ISO-KF, г
- 700
- Масса c фланцем DN 40 CF-F, г
- 980
- Масса c фланцем DN 40 ISO-KF, г
- 750
- Максимальное напряжение выходного сигнала, В
- 10.5
- Мин. напряжение питания датчика (пост. ток), В
- 15
- Макс. напряжение питания датчика (пост. ток), В
- 30
- Максимальная температура окружающей среды, °C
- 65