Главная
Каталог
Вакуумная техника
Вакуумные насосы
Турбомолекулярные насосы
Турбомолекулярный вакуумный насос CBVAC JFB-63/81 (CF 63)

Турбомолекулярный вакуумный насос CBVAC JFB-63/81 (CF 63)

product-card

Тип Турбомолекулярные
Уровень вакуума Сверхвысокий
Тип смазки Безмасляный
Скорость откачки, м³/ч 1.8
Предельное остаточное давление, мбар (абс.) 8 × 10⁻⁹
Мощность, кВт 0.1
Частота вращения, об/мин 75000
Входной патрубок СF63
Выходной патрубок KF16

В корзину

Описание

Характеристики

Графики и чертежи

Проекты

Отзывы клиентов

Турбомолекулярный вакуумный насос CBVAC JFB-63/81 (CF 63) — компактное исполнение серии JFB с высоковакуумным входным фланцем CF 63. Насос используется как высоковакуумная ступень после предварительной откачки камеры и требует форвакуумного насоса, который поддерживает допустимое давление на выходе турбомолекулярной части.

В рабочем режиме высокоскоростной ротор передаёт импульс молекулам остаточного газа и направляет их через последовательность лопаточных ступеней к форвакуумному выходу. За счёт этого давление в камере снижается после того, как механическая форвакуумная ступень создала необходимые начальные условия для запуска турбомолекулярного насоса. Роторный узел JFB-63/81 выполнен на керамических подшипниках.

Исполнение CF 63 и интеграция

Фланец CF 63 предназначен для жёсткого высоковакуумного соединения с камерой или магистралью соответствующего типоразмера. При построении насосной системы учитывают работу JFB-6381 вместе с форвакуумной ступенью, проводимость трубопроводов и размещение элементов управления. Такая схема позволяет использовать турбомолекулярный насос в составе компактных приборных и исследовательских вакуумных установок.

Применение

Серия JFB применяется в научном оборудовании, электронной и полупроводниковой технике, установках вакуумного нанесения покрытий и других высоковакуумных процессах. Исполнение CF 63 выбирают для систем, где конструкция высоковакуумного тракта предусматривает фланцевое соединение этого типа и требуется совместная работа турбомолекулярной и форвакуумной ступеней.

Технические характеристики

Скорость откачки по гелию, л/с	55
Коэффициент сжатия азота	10⁸
Коэффициент сжатия по гелию	10⁶
Номинальная скорость вращения ротора, об/мин ± 500	75000
Время выхода насоса на номинальную скорость вращения ротора насоса, мин	2

Тип: Турбомолекулярные

Уровень вакуума: Сверхвысокий

Тип смазки: Безмасляный

Скорость откачки, м³/ч: 1.8

Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 8 × 10⁻⁹

Мощность, кВт: 0.1

Частота вращения, об/мин: 75000

Входной патрубок: СF63

Выходной патрубок: KF16

Количество ступеней: Многоступенчатый

Охлаждение: Воздушноеводяное

Уровень шума, дБ: 50

Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 140×163,6×127

Масса, кг: 4

Минимальная температура окружающей среды, °С: 0

Расход рабочей жидкости, л/мин: 1

Время выхода на режим, мин: 2.5

Температура охлаждающей воды: +15 — +25

Напряжение, В: 220

Максимальная температура окружающей среды, °C: 35

Максимальное форвакуумное давление, мбар (абс.): 0.02

Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов

Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.

diapazon_rabochih_davleniy_tipov_vakuumnyh_nasosov

Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.

Разработали испытательный стенд для электровакуумных излучателей для объектов «Росатома»

10.06.25

1 мин.

937

Реализовали новый проект по вакуумным печам для высоковакуумного отжига и пайки

23.10.19

1 мин.

1339

Произвели модернизацию вакуумной камеры

27.10.19

1 мин.

1470

Юрий Бычков

С компанией ЭРСТВАК сотрудничаем около двух лет. Начиналось всё с турбомолекулярного насоса для нашей лаборатории в МГУ. Компетентные сотрудники быстро предложили различные варианты, а коммерческое предложение оказалось интереснее, чем у прочих поставщиков. С тех пор регулярно вакуумное оборудование, которое всегда приходит в срок, а часто есть в наличии на складе. Работой компании довольны.

1serga2

Был необходим вакуумный откачной пост для откачки камеры на базе форвакуумного насоса + ТМН. Хотелось бы выразить благодарность конструкторскому отделу за качественное проектирование установки, сервисным инженерам, менеджеру Александру за ведение этого непростого проекта. Оборудование уже введено в эксплуатацию и исправно работает. Однозначно могу рекомендовать Эрствак, как надежного поставщика

Дмитрий П.

Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.

Александр Измайлов

Консультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично

Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: