Главная
Каталог
Вакуумная техника
Вакуумные насосы
Турбомолекулярные насосы
Турбомолекулярный вакуумный насос CBVAC JFB-63/81 (ISO-K 63)

Турбомолекулярный вакуумный насос CBVAC JFB-63/81 (ISO-K 63)

product-card

Тип Турбомолекулярные
Уровень вакуума Сверхвысокий
Тип смазки Безмасляный (сухой)
Скорость откачки, м³/ч 1.8
Предельное остаточное давление, мбар (абс.) 8.0E-8
Мощность, кВт 0.1
Частота вращения, об/мин 75000
Входной патрубок ISO-K63
Выходной патрубок KF16

В корзину

Описание

Характеристики

Графики и чертежи

Проекты

Отзывы клиентов

Турбомолекулярный вакуумный насос CBVAC JFB-63/81 (ISO-K 63) — компактное исполнение серии JFB с входным фланцем ISO-K 63. Модель работает как высоковакуумная ступень после предварительной откачки камеры и требует форвакуумного насоса, который поддерживает необходимое давление на выходе турбомолекулярной части.

Высокоскоростной ротор последовательно передаёт импульс молекулам газа и перемещает их через лопаточные ступени в сторону форвакуумного выхода. Турбомолекулярный механизм начинает эффективную работу после создания предварительного разрежения, поэтому JFB-6381 и форвакуумный насос рассматривают как элементы одной вакуумной системы. Роторный узел JFB-63/81 выполнен на керамических подшипниках.

Исполнение ISO-K 63 и интеграция

Вход ISO-K 63 обеспечивает разъёмное соединение с камерой или высоковакуумной магистралью соответствующего типоразмера. При проектировании установки учитывают проводимость тракта, параметры форвакуумной ступени и расположение элементов управления. Компактное исполнение удобно для приборных систем, в которых высоковакуумный насос встраивается непосредственно рядом с вакуумируемым объёмом.

Применение

Насосы JFB используются в лабораторных и исследовательских установках, электронной и полупроводниковой технике, системах вакуумного нанесения покрытий и других процессах, требующих высокого вакуума. Версия ISO-K 63 предназначена для систем с соответствующим входным присоединением и сохраняет общую для серии схему совместной работы с форвакуумным насосом.

Технические характеристики

Скорость откачки по гелию, л/с	55
Коэффициент сжатия азота	10⁸
Коэффициент сжатия по гелию	10⁶
Номинальная скорость вращения ротора, об/мин ± 500	75000
Время выхода насоса на номинальную скорость вращения ротора насоса, мин	2

Тип: Турбомолекулярные

Уровень вакуума: Сверхвысокий

Тип смазки: Безмасляный (сухой)

Скорость откачки, м³/ч: 1.8

Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 8.0E-8

Мощность, кВт: 0.1

Частота вращения, об/мин: 75000

Входной патрубок: ISO-K63

Выходной патрубок: KF16

Количество ступеней: Многоступенчатый

Охлаждение: Воздушное/Водяное

Масса, кг: 4

Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 140×179,4×127

Напряжение, В: 220

Серия: JFB

Уровень шума, дБ: 50

Минимальная температура окружающей среды, °С: 0

Расход рабочей жидкости, л/мин: 1

Время выхода на режим, мин: 2.5

Температура охлаждающей воды: +15 — +25

Максимальная температура окружающей среды, °C: 35

Максимальное форвакуумное давление, мбар (абс.): 0.02

Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов

Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.

diapazon_rabochih_davleniy_tipov_vakuumnyh_nasosov

Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.

Разработали испытательный стенд для электровакуумных излучателей для объектов «Росатома»

10.06.25

1 мин.

1113

Реализовали новый проект по вакуумным печам для высоковакуумного отжига и пайки

23.10.19

1 мин.

1439

Произвели модернизацию вакуумной камеры

27.10.19

1 мин.

1550

Юрий Бычков

С компанией ЭРСТВАК сотрудничаем около двух лет. Начиналось всё с турбомолекулярного насоса для нашей лаборатории в МГУ. Компетентные сотрудники быстро предложили различные варианты, а коммерческое предложение оказалось интереснее, чем у прочих поставщиков. С тех пор регулярно вакуумное оборудование, которое всегда приходит в срок, а часто есть в наличии на складе. Работой компании довольны.

1serga2

Был необходим вакуумный откачной пост для откачки камеры на базе форвакуумного насоса + ТМН. Хотелось бы выразить благодарность конструкторскому отделу за качественное проектирование установки, сервисным инженерам, менеджеру Александру за ведение этого непростого проекта. Оборудование уже введено в эксплуатацию и исправно работает. Однозначно могу рекомендовать Эрствак, как надежного поставщика

Дмитрий П.

Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.

Александр Измайлов

Консультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично

Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: