- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Турбомолекулярные насосы
- Турбомолекулярный вакуумный насос CBVAC JFB-160/701 (ISO-K 160)
Турбомолекулярный вакуумный насос CBVAC JFB-160/701 (ISO-K 160)
CBVAC JFB-160/701 (ISO-K 160) — турбомолекулярный вакуумный насос серии JFB с входным фланцем ISO-K 160. Он предназначен для высоковакуумной ступени системы и работает после форвакуумного насоса, который предварительно снижает давление в камере до диапазона, допустимого для разгона и нормальной работы турбомолекулярного ротора.
Принцип работы основан на передаче импульса молекулам газа быстро вращающимися лопатками ротора. Молекулы последовательно перемещаются в сторону форвакуумного выхода, благодаря чему давление в рабочем объёме продолжает снижаться после предварительной откачки. Такая схема используется там, где механического насоса недостаточно для достижения требуемого высокого вакуума.
Исполнение ISO-K 160 удобно для интеграции в вакуумные магистрали соответствующего диаметра. При проектировании системы необходимо согласовать производительность форвакуумной ступени, проводимость трубопроводов, режим охлаждения и допустимое входное давление турбомолекулярного насоса. Это позволяет использовать характеристики насоса без перегрузки ротора и с устойчивым переходом от предварительной к высоковакуумной откачке.
Особенности
- турбомолекулярный принцип откачки для области высокого и сверхвысокого вакуума;
- входной фланец ISO-K 160;
- работа в составе двухступенчатой вакуумной системы с форвакуумным насосом;
- эффективное удаление остаточных газов после предварительной откачки;
- возможность применения в технологических и исследовательских установках.
Применение
Серия JFB используется в научном приборостроении, вакуумных исследовательских стендах, полупроводниковых процессах, электронной промышленности, установках нанесения покрытий и вакуумной металлургии. Модель JFB-160/701 с фланцем ISO-K 160 подходит для систем, где требуется высоковакуумная откачка камеры с крупным входным присоединением.
Эксплуатация
Перед запуском турбомолекулярной ступени камера должна быть предварительно откачана форвакуумным насосом. В рабочем режиме требуется обеспечить предусмотренное для модели охлаждение и контролировать условия на входе и выходе насоса. Подбор форвакуумной ступени и арматуры выполняют как единую вакуумную систему с учётом требуемого давления и газовой нагрузки.
- Тип
- Турбомолекулярные
- Уровень вакуума
- Сверхвысокий
- Тип смазки
- Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч
- 14.4
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.)
- 5 × 10⁻⁸
- Мощность, кВт
- 1
- Частота вращения, об/мин
- 36000
- Входной патрубок
- ISO-K160
- Выходной патрубок
- KF25
- Количество ступеней
- Многоступенчатый
- Охлаждение
- Воздушноеводяное
- Уровень шума, дБ
- 60
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм
- 270×359,8×270
- Масса, кг
- 20
- Минимальная температура окружающей среды, °С
- 0
- Расход рабочей жидкости, л/мин
- 1.5
- Температура охлаждающей воды
- +15 — +30
- Напряжение, В
- 220
- Максимальная температура окружающей среды, °C
- 35
- Максимальное форвакуумное давление, мбар (абс.)
- 0.02
Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов
Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.
Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.
Юрий БычковС компанией ЭРСТВАК сотрудничаем около двух лет. Начиналось всё с турбомолекулярного насоса для нашей лаборатории в МГУ. Компетентные сотрудники быстро предложили различные варианты, а коммерческое предложение оказалось интереснее, чем у прочих поставщиков. С тех пор регулярно вакуумное оборудование, которое всегда приходит в срок, а часто есть в наличии на складе. Работой компании довольны.
1serga2Был необходим вакуумный откачной пост для откачки камеры на базе форвакуумного насоса + ТМН. Хотелось бы выразить благодарность конструкторскому отделу за качественное проектирование установки, сервисным инженерам, менеджеру Александру за ведение этого непростого проекта. Оборудование уже введено в эксплуатацию и исправно работает. Однозначно могу рекомендовать Эрствак, как надежного поставщика
Дмитрий П.Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.
Александр ИзмайловКонсультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично
Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: