Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-200W

Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-200W — безмасляный высоковакуумный насос с интегрированной системой управления. Откачиваемые газы связываются на холодных поверхностях посредством криоконденсации и адсорбции, а автоматика координирует охлаждение, рабочий режим и восстановление газовой ёмкости после насыщения. В рабочем вакуумном объёме не используется масло, что снижает риск углеводородного загрязнения процесса.

Криогенные поверхности работают при температурах порядка 10–20 K. Остаточное давление достигает 10⁻⁷ Па. Встроенный контроллер управляет автоматическими рабочими циклами и регенерацией, контролирует вакуум внутри крионасоса и поддерживает дистанционный мониторинг и управление через интерфейс последовательной связи. Встроенный частотный преобразователь криокулера компенсирует изменение тепловой нагрузки на низкотемпературной ступени.

Управление и регенерация

По мере накопления газа доступная ёмкость криоповерхностей уменьшается, поэтому насос периодически регенерируют. EV-ICTP поддерживает полную и быструю частичную регенерацию: накопленные компоненты удаляются, после чего насос снова охлаждается и возвращается в рабочий режим. Несколько насосов серии могут работать от одного компрессора, что упрощает построение многокамерных и многопозиционных вакуумных систем.

Технические характеристики

• скорость откачки по водороду — 2200 л/с;
• скорость откачки по аргону — 1200 л/с;
• скорость откачки по водяному пару — 4000 л/с;
• ёмкость по аргону — 1000 SL;
• ёмкость по водороду — 12 SL;
• полная регенерация — 90 минут;
• быстрая регенерация — 35 минут.

Применение

EV-ICTP-200W применяют в вакуумном нанесении покрытий, микроэлектронике, автоматизированных технологических и исследовательских камерах и других чистых высоковакуумных процессах. Продолжительность рабочего периода определяется не только скоростью откачки, но и составом газовой смеси и ёмкостью по конкретным компонентам, поэтому режим регенерации выбирают с учётом фактической нагрузки.