Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-250

Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-250 сочетает безмасляную криогенную откачку с автоматизированным управлением. Газовая нагрузка удерживается на охлаждённых поверхностях за счёт криоконденсации и адсорбции, поэтому насос подходит для высоковакуумных процессов, где загрязнение рабочей камеры маслом недопустимо. Встроенная электроника позволяет включать насос в автоматизированные технологические комплексы без отдельного внешнего контроллера основных рабочих циклов.

Криогенные поверхности работают при температурах порядка 10–20 K. Остаточное давление достигает 10⁻⁷ Па. Встроенный контроллер управляет автоматическими рабочими циклами и регенерацией, контролирует вакуум внутри крионасоса и поддерживает дистанционный мониторинг и управление через интерфейс последовательной связи. Встроенный частотный преобразователь криокулера компенсирует изменение тепловой нагрузки на низкотемпературной ступени.

Управление и регенерация

По мере накопления газа доступная ёмкость криоповерхностей уменьшается, поэтому насос периодически регенерируют. EV-ICTP поддерживает полную и быструю частичную регенерацию: накопленные компоненты удаляются, после чего насос снова охлаждается и возвращается в рабочий режим. Несколько насосов серии могут работать от одного компрессора, что упрощает построение многокамерных и многопозиционных вакуумных систем.

Технические характеристики

• скорость откачки по водороду — 3600 л/с;
• скорость откачки по аргону — 2000 л/с;
• скорость откачки по водяному пару — 6500 л/с;
• ёмкость по аргону — 2000 SL;
• ёмкость по водороду — 16 SL;
• полная регенерация — 115 минут;
• быстрая регенерация — 50 минут.

Применение

EV-ICTP-250 предназначен для PVD-систем, полупроводникового производства, автоматизированных вакуумных камер и научного оборудования. При подборе учитывают требуемую скорость по рабочим газам, газовую ёмкость и продолжительность технологического цикла между регенерациями. Возможность удалённого мониторинга удобна при эксплуатации насоса в составе комплексной установки.