- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Криогенные насосы
- Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-250W (для систем ионной имплантации)
Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-250W (для систем ионной имплантации)
Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-250W для систем ионной имплантации — специализированное исполнение с повышенной скоростью откачки водорода. Криогенная технология удерживает остаточные газы на охлаждённых поверхностях без масла в вакуумной части, что важно для чистых полупроводниковых процессов и установок с заметной нагрузкой по лёгким газам.
Криогенные поверхности работают при температурах порядка 10–20 K. Остаточное давление достигает 10−7 Па. Встроенный контроллер управляет автоматическими рабочими циклами и регенерацией, контролирует вакуум внутри крионасоса и поддерживает дистанционный мониторинг и управление через интерфейс последовательной связи. Встроенный частотный преобразователь криокулера компенсирует изменение тепловой нагрузки на низкотемпературной ступени.
Управление и регенерация
По мере накопления газа доступная ёмкость криоповерхностей уменьшается, поэтому насос периодически регенерируют. EV-ICTP поддерживает полную и быструю частичную регенерацию: накопленные компоненты удаляются, после чего насос снова охлаждается и возвращается в рабочий режим. Несколько насосов серии могут работать от одного компрессора, что упрощает построение многокамерных и многопозиционных вакуумных систем. Циклическая регенерация восстанавливает сорбционную ёмкость, особенно важную при продолжительной работе с водородной нагрузкой.
Технические характеристики
- скорость откачки по водороду — 7000 л/с;
- скорость откачки по аргону — 1800 л/с;
- скорость откачки по водяному пару — 6500 л/с;
- ёмкость по водороду — 24 SL;
- максимальная пропускная способность по аргону — 1000 Па·л/с;
- полная регенерация — 115 минут;
- быстрая регенерация — 50 минут.
Применение
Исполнение предназначено прежде всего для систем ионной имплантации, полупроводниковых производственных линий и других высоковакуумных процессов с повышенной водородной нагрузкой. При проектировании режима учитывают скорость откачки лёгких газов, доступную сорбционную ёмкость и планируемую длительность технологической серии до регенерации.
- Тип
- Криогенные
- Уровень вакуума
- Сверхвысокий
- Тип смазки
- Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч
- 7920
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.)
- 1.0E-9
- Входной патрубок
- ISO-K250
- Охлаждение
- Водяное
- Масса, кг
- 32
- Серия
- CryoVac EV-ICTP
- Минимальная температура окружающей среды, °С
- 5
- Расход рабочей жидкости, л/мин
- 6.5
- Температура охлаждающей воды
- +8 — +35
- Максимальная температура окружающей среды, °C
- 40
Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов
Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.
Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.
Мирослав ВолодькоРаботают квалифицированные менеджеры. Когда общаешься, сразу видно, что соображают в теме насосного оборудования. Я обращался по поводу форвакуумных насосов. В частности, интересовали мембранные вакуумные насосы. Менеджер провел хорошую презентацию по каждой модели, что помогло найти именно те, что подходили под наши мощности и задачи. Однако есть и одно замечание: привезли на пару дней позже оговренного срока. Не скажу, что это как-то сказалось на работе, но некоторые планы пришлось сдвигать.
Алексей КручДля нужд предприятия искали мощный вакуумный насос. Нашли в компании Эрствак. Доставили в срок. Работает исправно, с нагрузкой сравляется. И радует, что у поставщика есть возможность покупать расходники, либо самим сдать в ремонт, случись чего.
Дмитрий П.Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.
Александр ИзмайловКонсультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично
Еще больше отзывов о нас читайте на площадках:
Товары из этой же серии
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 5400
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1.0E-9
- Охлаждение: Водяное
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 5400
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1.0E-9
- Охлаждение: Водяное
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 8640
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1.0E-9
- Охлаждение: Водяное
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 8640
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1.0E-9
- Охлаждение: Водяное
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 14400
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1.0E-9
- Охлаждение: Водяное
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 14400
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1.0E-9
- Охлаждение: Водяное
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 12960
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1.0E-9
- Охлаждение: Водяное
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 21600
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1.0E-9
- Охлаждение: Водяное
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 36000
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1.0E-9
- Охлаждение: Водяное
Информация о бренде
ERSTVAK — ведущий российский производитель и поставщик высокотехнологичного промышленного оборудования. Эксперт в области вакуумного, термического, компрессорного и испытательного оборудования. Мы — лидеры по поставкам оборудования на рынке вакуумной, аналитической и термической техники в России.
Мы заключили более 100 договоров на сумму свыше 9 млн рублей в год каждый и ежегодно заключаем более 15 000 сделок. Наша миссия — развивать российскую промышленность и экономику, обеспечивая надёжным и современным оборудованием.
Помимо этого, наша конструкторская группа инженеров АСУ ТП имеет более 10 лет опыта решения неординарных задач. Группа оснащена необходимыми системами САПР, что позволяет реализовывать проекты любой сложности. Группой создано 1 050 + уникальных проектов. А под своим брендом мы создаём серийное оборудование ЭРСТВАК с уникальными техническими параметрами.
Не забудьте купить
- Производитель: CAERI
- Страна: Китай
- Серия: BTF
- Производитель: ERSTVAK
- Страна: Российская Федерация
- Диаметр выходного вала, мм: 50
- Максимальный крутящий момент, Н·м: 568,89 (5801 кг·см)
- Тип вакуума: Сверхвысокий вакуум
- Производитель: ERSTVAK
- Страна: Российская Федерация
- Серия: EDS
- Максимальная температура, °C: 95
- Корзина для очистки: Есть
- Внутренние габариты (ШхГхВ), мм: 1000 × 900 × 600
- Масса, кг: 530
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1610 × 1970 × 1280
- Напряжение, В: 380
- Производитель: Kurt J. Lesker
- Страна: США
- Серия: VPRE
- Мощность, кВт: 0.55
- Масса, кг: 91
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 750 × 370 × 312
- Производитель: ERSTVAK
- Страна: Российская Федерация
- Серия: LAGUNA EW
- Производитель: King Lai
- Страна: Китай
- Серия: ET
- Масса, кг: 3400
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1200 × 1200 × 1500
- Производитель: CME
- Страна: Китай
- Серия: KRD13
- Тип конструкции: Моноблочная
- Тип: Турбо
- Производительность, м³/ч: 894
- Избыточное давление, мбар: 150
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 5.5
- Масса, кг: 6
- Производитель: ERSTVAK
- Страна: Российская Федерация
- Серия: FC
- Тип присоединения: G
- Размер присоединения: G 4"
Вы смотрели
- Тип: Адсорбционные
- Масса, кг: 1186
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1506 × 1423 × 1625
- Производитель: ERSTVAK
- Страна: Российская Федерация
- Серия: SAHARA CM
- Тип: Пластинчато-роторные
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Маслозаполненный
- Скорость откачки, м³/ч: 10.2
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.2
- Мощность, кВт: 0.37
- Тип: Пластинчато-роторные
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Маслозаполненный
- Скорость откачки, м³/ч: 20.4
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.2
- Мощность, кВт: 0.75
- Тип: Пластинчато-роторные
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Маслозаполненный
- Скорость откачки, м³/ч: 13.56
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.2
- Мощность, кВт: 0.55
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 12960
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1.0E-9
- Охлаждение: Водяное
- Тип: Ручная
- Производитель: SEMISHARE
- Страна: Китай
- Серия: C
- Длина, мм: 1400
- Ширина, мм: 920
- Тип: Пластинчато-роторные
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Маслозаполненный
- Скорость откачки, м³/ч: 20.4
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.002
- Мощность, кВт: 1
- Холодопроизводительность, кВт: 1430
- Потребляемая мощность, кВт: 274.2
- Охлаждение: Водяное
- Хладагент: R407C
- Температура хладоносителя на входе в испаритель, °С: 7
- Температура хладоносителя на выходе из испарителя, °С: 12
- Масса, кг: 58
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 440 × 650 × 455
- Производитель: ERSTVAK
- Страна: Российская Федерация
- Серия: EVCLIM-ATC
- Уровень шума, дБ: 52
- Тип: Колонный
- Производитель: ERSTVAK
- Страна: Российская Федерация
- Серия: VSR520
