Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-250W (для систем ионной имплантации)

Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-250W для систем ионной имплантации — специализированное исполнение с повышенной скоростью откачки водорода. Криогенная технология удерживает остаточные газы на охлаждённых поверхностях без масла в вакуумной части, что важно для чистых полупроводниковых процессов и установок с заметной нагрузкой по лёгким газам.

Криогенные поверхности работают при температурах порядка 10–20 K. Остаточное давление достигает 10⁻⁷ Па. Встроенный контроллер управляет автоматическими рабочими циклами и регенерацией, контролирует вакуум внутри крионасоса и поддерживает дистанционный мониторинг и управление через интерфейс последовательной связи. Встроенный частотный преобразователь криокулера компенсирует изменение тепловой нагрузки на низкотемпературной ступени.

Управление и регенерация

По мере накопления газа доступная ёмкость криоповерхностей уменьшается, поэтому насос периодически регенерируют. EV-ICTP поддерживает полную и быструю частичную регенерацию: накопленные компоненты удаляются, после чего насос снова охлаждается и возвращается в рабочий режим. Несколько насосов серии могут работать от одного компрессора, что упрощает построение многокамерных и многопозиционных вакуумных систем. Циклическая регенерация восстанавливает сорбционную ёмкость, особенно важную при продолжительной работе с водородной нагрузкой.

Технические характеристики

• скорость откачки по водороду — 7000 л/с;
• скорость откачки по аргону — 1800 л/с;
• скорость откачки по водяному пару — 6500 л/с;
• ёмкость по водороду — 24 SL;
• максимальная пропускная способность по аргону — 1000 Па·л/с;
• полная регенерация — 115 минут;
• быстрая регенерация — 50 минут.

Применение

Исполнение предназначено прежде всего для систем ионной имплантации, полупроводниковых производственных линий и других высоковакуумных процессов с повышенной водородной нагрузкой. При проектировании режима учитывают скорость откачки лёгких газов, доступную сорбционную ёмкость и планируемую длительность технологической серии до регенерации.