Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-320

Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-320 — производительный безмасляный насос для высоковакуумных технологических камер с повышенной газовой нагрузкой. Криоповерхности связывают газ посредством конденсации и адсорбции, а встроенная система управления координирует охлаждение, рабочий режим и восстановление ёмкости после накопления газов. Масло в рабочем вакуумном объёме не используется.

Криогенные поверхности работают при температурах порядка 10–20 K. Остаточное давление достигает 10⁻⁷ Па. Встроенный контроллер управляет автоматическими рабочими циклами и регенерацией, контролирует вакуум внутри крионасоса и поддерживает дистанционный мониторинг и управление через интерфейс последовательной связи. Встроенный частотный преобразователь криокулера компенсирует изменение тепловой нагрузки на низкотемпературной ступени.

Управление и регенерация

По мере накопления газа доступная ёмкость криоповерхностей уменьшается, поэтому насос периодически регенерируют. EV-ICTP поддерживает полную и быструю частичную регенерацию: накопленные компоненты удаляются, после чего насос снова охлаждается и возвращается в рабочий режим. Несколько насосов серии могут работать от одного компрессора, что упрощает построение многокамерных и многопозиционных вакуумных систем.

Технические характеристики

• скорость откачки по водороду — 6000 л/с;
• скорость откачки по аргону — 3300 л/с;
• скорость откачки по водяному пару — 11000 л/с;
• ёмкость по аргону — 3100 SL;
• ёмкость по водороду — 20 SL;
• полная регенерация — 150 минут;
• быстрая регенерация — 75 минут.

Применение

EV-ICTP-320 подходит для PVD и вакуумного напыления, полупроводниковых процессов, крупных автоматизированных вакуумных камер и научно-исследовательских комплексов. При выборе режима учитывают состав газовой нагрузки, скорость по каждому компоненту и ёмкость до регенерации. Высокая скорость по водяному пару делает модель удобной для камер, в которых дегазация поверхностей формирует значительную часть нагрузки.