Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-320W (для систем ионной имплантации)

Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-320W для систем ионной имплантации — специализированный безмасляный крионасос с увеличенной скоростью откачки водорода. Он рассчитан на высоковакуумные процессы, в которых значительную часть остаточной газовой нагрузки составляют лёгкие газы, а загрязнение рабочей камеры углеводородами нежелательно.

Криогенные поверхности работают при температурах порядка 10–20 K. Остаточное давление достигает 10⁻⁷ Па. Встроенный контроллер управляет автоматическими рабочими циклами и регенерацией, контролирует вакуум внутри крионасоса и поддерживает дистанционный мониторинг и управление через интерфейс последовательной связи. Встроенный частотный преобразователь криокулера компенсирует изменение тепловой нагрузки на низкотемпературной ступени.

Управление и регенерация

По мере накопления газа доступная ёмкость криоповерхностей уменьшается, поэтому насос периодически регенерируют. EV-ICTP поддерживает полную и быструю частичную регенерацию: накопленные компоненты удаляются, после чего насос снова охлаждается и возвращается в рабочий режим. Несколько насосов серии могут работать от одного компрессора, что упрощает построение многокамерных и многопозиционных вакуумных систем. Быстрая частичная регенерация позволяет восстанавливать рабочее состояние между технологическими циклами, а полный цикл используется для более глубокого удаления накопленной газовой нагрузки.

Технические характеристики

• скорость откачки по водороду — 13000 л/с;
• скорость откачки по аргону — 3000 л/с;
• скорость откачки по водяному пару — 11000 л/с;
• ёмкость по водороду — 40 SL;
• максимальная пропускная способность по аргону — 1500 Па·л/с;
• полная регенерация — 150 минут;
• быстрая регенерация — 75 минут.

Применение

Модель предназначена прежде всего для ионной имплантации, полупроводниковых производственных линий и других чистых высоковакуумных процессов с высокой водородной нагрузкой. Скорость по водороду 13000 л/с и ёмкость 40 SL позволяют использовать исполнение в системах, где лёгкие газы заметно влияют на длительность рабочего цикла.