Главная
Каталог
Вакуумная техника
Приборы измерения и контроля вакуума
Вакуумметры
Цифровые вакуумметры
Ионизационные вакуумметры
Ионизационный вакуумметр Байярда-Альперта с горячим катодом INFICON BAG302 DN 16 CF-R

Ионизационный вакуумметр Байярда-Альперта с горячим катодом INFICON BAG302 DN 16 CF-R

product-card

Производитель INFICON
Серия BAG
Страна Швейцария
Минимальная температура окружающей среды, °С -40
Внутренний объем, см³ 16.4
Фланцевое соединение DN16 CF-R
Электрическое подключение D-Sub, 9-pin, папа для аналогового входа, D-Sub, 9-pin, мама для RS485
Нить накаливания Две иридиевые нити (Ir), покрытые оксидом иттрия (Yt2O2)
Материалы, контактирующие с вакуумом Ni

В корзину

Описание

Характеристики

Ионизационный вакуумметр Байярда-Альперта с горячим катодом INFICON BAG302 DN 16 CF-R — модель линейки BAG. Серия используется на участках диапазона, где теплопроводностные методы уже недостаточно чувствительны.

Принцип измерения

Нагретый катод испускает электроны. Двигаясь внутри измерительной системы, электроны сталкиваются с молекулами остаточного газа и ионизируют их. Образовавшийся ионный ток зависит от количества молекул, а следовательно, от давления. Геометрия Байярда-Альперта уменьшает влияние фонового рентгеновского тока и позволяет измерять очень низкие давления.

Назначение

Датчики применяются для подтверждения достижения глубокого вакуума, контроля стабильности высоковакуумного процесса и наблюдения за состоянием камеры. Показания могут использоваться оператором или автоматикой для разрешения технологического цикла, управления насосами и защиты оборудования.

Преимущества серии

высокая чувствительность при крайне низком давлении;
пригодность для высокого и сверхвысокого вакуума;
проверенный ионизационный принцип Байярда-Альперта;
точный контроль остаточного давления;
возможность использования в длительных технологических и исследовательских процессах;
применение в системах с повышенными требованиями к чистоте и стабильности вакуума.

Области применения

Серия предназначена для научных и аналитических установок, полупроводникового оборудования, высоковакуумных технологических систем и других процессов, где необходимо надежно контролировать минимальные давления.

Производитель: INFICON

Серия: BAG

Страна: Швейцария

Минимальная температура окружающей среды, °С: -40

Внутренний объем, см³: 16.4

Фланцевое соединение: DN16 CF-R

Электрическое подключение: D-Sub, 9-pin, папа для аналогового входа, D-Sub, 9-pin, мама для RS485

Нить накаливания: Две иридиевые нити (Ir), покрытые оксидом иттрия (Yt2O2)

Материалы, контактирующие с вакуумом: Ni

Диапазон измерений: 1.3х10^-7 — 6.7 Па

Повторяемость: % от показаний ±5

Дегазация: p<5.00х10^-5 Торр (программируется в диапазоне 2 ... 10 мин)

Масса, г: 270

Ориентация при монтаже: Любая

Рабочая температура (окр. среды), °C: 0 — +40

Макс. температура прогрева, °C: 200

Зависимость напряжение – давление, В на декаду: 1

Цифровые функции: Дегазация, включение/выключение нити накаливания и контроль эмиссии

Цифровой интерфейс: RS485

Выходной аналоговый сигнал, В: 0 — +9 (логарифмическая функция)

Внутренний объем, дюйм³: 1

Точность измерения (N2): 1 × 10^(-8) — 5 × 10^(-2) Торр % от показаний ±15

Реле уставки: 1 А при 30 В (постоянного тока) резистивного или В (переменного тока) неиндуктивного напряжения

Контроль эмиссии: Вручную

Состояние нити накаливания: Дисплей/цифровой выход

Мин. напряжение питания (постоянный ток), В: 20

Макс. напряжение питания (постоянный ток), В: 28

Максимальная температура окружающей среды, °C: 70

Производитель INFICON
Серия BAG
Страна Швейцария
Минимальная температура окружающей среды, °С -40
Внутренний объем, см³ 16.4
Фланцевое соединение DN16 CF-R
Электрическое подключение D-Sub, 9-pin, папа для аналогового входа, D-Sub, 9-pin, мама для RS485
Нить накаливания Две иридиевые нити (Ir), покрытые оксидом иттрия (Yt2O2)
Материалы, контактирующие с вакуумом Ni