Ионизационный комбинированный вакуумметр Байярда-Альперта с горячим катодом INFICON BAG552 25 ISO-KF

product-card
Ионизационный комбинированный вакуумметр Байярда-Альперта с горячим катодом INFICON BAG552 25 ISO-KF
Ионизационный комбинированный вакуумметр Байярда-Альперта с горячим катодом INFICON BAG552 25 ISO-KF
Описание
Характеристики

Ионизационный комбинированный вакуумметр Байярда-Альперта с горячим катодом INFICON BAG552 25 ISO-KF — модель линейки BAG. Серия используется на участках диапазона, где теплопроводностные методы уже недостаточно чувствительны.

Принцип измерения

Нагретый катод испускает электроны. Двигаясь внутри измерительной системы, электроны сталкиваются с молекулами остаточного газа и ионизируют их. Образовавшийся ионный ток зависит от количества молекул, а следовательно, от давления. Геометрия Байярда-Альперта уменьшает влияние фонового рентгеновского тока и позволяет измерять очень низкие давления.

Назначение

Датчики применяются для подтверждения достижения глубокого вакуума, контроля стабильности высоковакуумного процесса и наблюдения за состоянием камеры. Показания могут использоваться оператором или автоматикой для разрешения технологического цикла, управления насосами и защиты оборудования.

Преимущества серии

  • высокая чувствительность при крайне низком давлении;
  • пригодность для высокого и сверхвысокого вакуума;
  • проверенный ионизационный принцип Байярда-Альперта;
  • точный контроль остаточного давления;
  • возможность использования в длительных технологических и исследовательских процессах;
  • применение в системах с повышенными требованиями к чистоте и стабильности вакуума.

Области применения

Серия предназначена для научных и аналитических установок, полупроводникового оборудования, высоковакуумных технологических систем и других процессов, где необходимо надежно контролировать минимальные давления.

Производитель
INFICON
Серия
BAG
Страна
Швейцария
Степень защиты
IP40
Минимальная температура окружающей среды, °С
-20
Сила тока, А
0.8
Фланцевое соединение
25 ISO-KF
Принцип измерения
Датчики Байярда-Альперта
Дисплей
по запросу OLED + Pad
Материалы, контактирующие с вакуумом
стекло
Диапазон измерений
3.8х10-10 — 1.5х10-2 Торр
Точность измерения
1 × 10^(-8) — 2 × 10^(-2) мбар % от показаний ±15
Повторяемость
10^-8 — 10^-2 мбар % от показаний ±5%
Рабочая температура (окр. среды), °C
0 — +50
Макс. температура прогрева, °C
150
Зависимость напряжение – давление, В на декаду
Логарифмическая, 0.75 В/декада
Максимальное давление (абс.), бар
p < 7.2 × 10^(-6) мбар, электронная бомбардировка (не более 3 мин.) ≈ 16 мА (Pdegas ≈4 Вт)
Выходной аналоговый сигнал, В
0 — 10 постоянного тока
Реле уставки
2 шт
Выходные коммуникации
Интерфейс: EtherCAT + Аналоговый выход + RS232C
Встроенный чип калибровочных данных (на запасном датчике)
Да/ съемный
Электронное подключение, аналоговое/RS232
D-sub, 15-контактный, папа
Мин. напряжение питания (постоянный ток), В
20
Макс. напряжение питания (постоянный ток), В
28
Максимальная температура окружающей среды, °C
70

Товары из этой же серии

Широкодиапазонный вакуумный датчик с холодным катодом ERSTVAK MTM9D-KF25
Широкодиапазонный вакуумный датчик с холодным катодом ERSTVAK MTM9D-KF25
  • Масса, кг: 0.555
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: MTM9D
  • Страна: Германия
В корзину
1
Широкодиапазонный вакуумный датчик с горячим катодом ERSTVAK MTH10D-KF40
Широкодиапазонный вакуумный датчик с горячим катодом ERSTVAK MTH10D-KF40
  • Масса, кг: 0.555
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: MTH10D
  • Страна: Германия
В корзину
1
Широкодиапазонный вакуумный датчик с холодным катодом ERSTVAK MTM9D-CF40
Широкодиапазонный вакуумный датчик с холодным катодом ERSTVAK MTM9D-CF40
  • Масса, кг: 0.555
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: MTM9D
  • Страна: Германия
В корзину
1
Широкодиапазонный вакуумный датчик с холодным катодом с поверкой ERSTVAK MTM9D-KF25
Широкодиапазонный вакуумный датчик с холодным катодом с поверкой ERSTVAK MTM9D-KF25
  • Масса, кг: 0.555
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: MTM9D
  • Страна: Германия
В корзину
1
Широкодиапазонный вакуумный датчик с горячим катодом ERSTVAK MTH10D-CF40
Широкодиапазонный вакуумный датчик с горячим катодом ERSTVAK MTH10D-CF40
  • Масса, кг: 0.555
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: MTH10D
  • Страна: Германия
В корзину
1
Мембранно-емкостной вакуумметр Пирани INFICON PCG550
Мембранно-емкостной вакуумметр Пирани INFICON PCG550
  • Производитель: INFICON
  • Серия: PCG
  • Страна: Швейцария
В корзину
1
Мембранно-емкостной вакуумметр Пирани INFICON PCG554
Мембранно-емкостной вакуумметр Пирани INFICON PCG554
  • Производитель: INFICON
  • Серия: PCG
  • Страна: Швейцария
В корзину
1
Мембранно-емкостной вакуумметр Пирани INFICON PCG552
Мембранно-емкостной вакуумметр Пирани INFICON PCG552
  • Производитель: INFICON
  • Серия: PCG
  • Страна: Швейцария
В корзину
1
Мембранно-емкостный вакуумметр INFICON SKY CDG025D 0.25 Торр
Мембранно-емкостный вакуумметр INFICON SKY CDG025D 0.25 Торр
  • Производитель: INFICON
  • Серия: SKY
  • Страна: Швейцария
В корзину
1
Ионизационный вакуумметр Байярда-Альперта с горячим катодом INFICON BAG302 DN 40 ISO-KF
Ионизационный вакуумметр Байярда-Альперта с горячим катодом INFICON BAG302 DN 40 ISO-KF
  • Производитель: INFICON
  • Серия: BAG
  • Страна: Швейцария
В корзину
1

Не забудьте купить

Барабанная шаровая мельница ERSTVAK JBM3-4
Барабанная шаровая мельница ERSTVAK JBM3-4
  • Мощность, кВт: 0.55
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: JBM
  • Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Вакуумный фильтр Solberg LRS-237-201HC
Вакуумный фильтр Solberg LRS-237-201HC
  • Производитель: SOLBERG
  • Серия: LRS
  • Страна: США
В корзину
1
Одноступенчатый криокулер CH-104
Одноступенчатый криокулер CH-104
  • Количество ступеней: 1
  • Масса, кг: 7.9
  • Производитель: SHI
  • Серия: 77K
  • Страна: Япония
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 362 × 133 x 133
В корзину
1
Угольник ввертной поворотный ER-Lok – LP (MT-PP)
Угольник ввертной поворотный ER-Lok – LP (MT-PP)
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: LP
  • Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Мембранный вакуумный насос ERSTVAK ERVAC-MD-1.2
Мембранный вакуумный насос ERSTVAK ERVAC-MD-1.2
  • Тип: Мембранные
  • Уровень вакуума: Средний
  • Тип смазки: Безмасляный
  • Скорость откачки, м³/ч: 1.2
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 8
  • Мощность, кВт: 0.12
В корзину
1
Моноблочный центробежный насос ERSTVAK LAGUNA MS 65-50-200/7.5T
Моноблочный центробежный насос ERSTVAK LAGUNA MS 65-50-200/7.5T
  • Мощность, кВт: 7.5
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: LAGUNA MS
  • Страна: Российская Федерация
  • Обороты, об/мин: 2900
В корзину
1
Винтовой компрессор ERSTVAK AURORA DS 350-8
Винтовой компрессор ERSTVAK AURORA DS 350-8
  • Тип: Винтовые
  • Производительность, м³/ч: 3162
  • Тип смазки: Маслозаполненный
  • Мощность электродвигателя, кВт: 250
  • Уровень шума, дБ(А): 87
  • Количество ступеней: 2
В корзину
1
Электродвигатель MS160M1-2 B35 11-3000
Электродвигатель MS160M1-2 B35 11-3000
  • Мощность, кВт: 11
  • Масса, кг: 86
  • Серия: MS
  • Страна: Китай
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 617х350x406
  • Высота оси ротора, мм: 160
В корзину
1
Фланцевый тройник-переходник King Lai DN-RT-25x16
Фланцевый тройник-переходник King Lai DN-RT-25x16
  • Производитель: King Lai
  • Серия: RT
  • Длина, мм: 100
  • Страна: Китай
В корзину
1
Тройник-переходник King Lai CF-RT-800X450
Тройник-переходник King Lai CF-RT-800X450
  • Производитель: King Lai
  • Серия: RT
  • Длина, мм: 85.9
  • Страна: Китай
В корзину
1

Вы смотрели

Вакуумное смотровое окно на KF-фланцах из фторида магния Kurt J. Lesker QF40-150-VPUM
Вакуумное смотровое окно на KF-фланцах из фторида магния Kurt J. Lesker QF40-150-VPUM
  • Производитель: Kurt J. Lesker
  • Серия: QF
  • Страна: США
В корзину
1
Автоматическая линия для нанесения клейкой ленты на биполярные пластины SUZHOU SECOND NEW ENERGY TECHNOLOGY SEC-H500-TPL
Автоматическая линия для нанесения клейкой ленты на биполярные пластины SUZHOU SECOND NEW ENERGY TECHNOLOGY SEC-H500-TPL
  • Масса, кг: 4000
  • Производитель: Suzhou Second New Energy Technology
  • Серия: SEC
  • Страна: Китай
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 9000 × 4600 × 2000
В корзину
1
Безмасляный пластинчато-роторный вакуумный насос DVP SB.25 3 ф
Безмасляный пластинчато-роторный вакуумный насос DVP SB.25 3 ф
  • Тип: Пластинчато-роторные
  • Уровень вакуума: Низкий
  • Тип смазки: Безмасляный
  • Скорость откачки, м³/ч: 25
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 120
  • Мощность, кВт: 0.75
В корзину
1
Вакуумное смотровое окно на KF-фланцах из фторида магния Kurt J. Lesker QF50-200-VPUM
Вакуумное смотровое окно на KF-фланцах из фторида магния Kurt J. Lesker QF50-200-VPUM
  • Производитель: Kurt J. Lesker
  • Серия: QF
  • Страна: США
В корзину
1
Маслосмазываемый пластинчато-роторный вакуумный насос DVP LC.25 1 ф
Маслосмазываемый пластинчато-роторный вакуумный насос DVP LC.25 1 ф
  • Тип: Пластинчато-роторные
  • Уровень вакуума: Средний
  • Тип смазки: Маслосмазываемый
  • Скорость откачки, м³/ч: 25
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.5
  • Мощность, кВт: 0.75
В корзину
1
Вакуумное смотровое окно на CF-фланцах из селенида цинка Kurt J. Lesker VPZL-450UZ
Вакуумное смотровое окно на CF-фланцах из селенида цинка Kurt J. Lesker VPZL-450UZ
  • Производитель: Kurt J. Lesker
  • Серия: VPZL
  • Страна: США
В корзину
1
Безмасляный пластинчато-роторный вакуумный насос DVP SB.40 1 ф
Безмасляный пластинчато-роторный вакуумный насос DVP SB.40 1 ф
  • Тип: Пластинчато-роторные
  • Уровень вакуума: Низкий
  • Тип смазки: Безмасляный
  • Скорость откачки, м³/ч: 40
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 120
  • Мощность, кВт: 1.5
В корзину
1
Вакуумное смотровое окно из KF-фланцевого стекла Kodial Kurt J. Lesker QF50-200-VP
Вакуумное смотровое окно из KF-фланцевого стекла Kodial Kurt J. Lesker QF50-200-VP
  • Производитель: Kurt J. Lesker
  • Серия: QF
  • Страна: США
В корзину
1
Стенд откачки обезгаживания твердотельных модулей с возможностью напуска инертных газов ERSTVAK КИ А330.88
Стенд откачки обезгаживания твердотельных модулей с возможностью напуска инертных газов ERSTVAK КИ А330.88
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: КИ
  • Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Безмасляный пластинчато-роторный вакуумный насос DVP SB.12 1 ф
Безмасляный пластинчато-роторный вакуумный насос DVP SB.12 1 ф
  • Тип: Пластинчато-роторные
  • Уровень вакуума: Низкий
  • Тип смазки: Безмасляный
  • Скорость откачки, м³/ч: 12
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 120
  • Мощность, кВт: 0.37
В корзину
1

Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?

Получите бесплатную консультацию нашего инженера уже сегодня!