- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Приборы измерения и контроля вакуума
- Вакуумметры
- Цифровые вакуумметры
- Ионизационные вакуумметры
- Ионизационный комбинированный вакуумметр Байярда-Альперта с горячим катодом INFICON BAG552 25 ISO-KF
Ионизационный комбинированный вакуумметр Байярда-Альперта с горячим катодом INFICON BAG552 25 ISO-KF
Ионизационный комбинированный вакуумметр Байярда-Альперта с горячим катодом INFICON BAG552 25 ISO-KF — модель линейки BAG. Серия используется на участках диапазона, где теплопроводностные методы уже недостаточно чувствительны.
Принцип измерения
Нагретый катод испускает электроны. Двигаясь внутри измерительной системы, электроны сталкиваются с молекулами остаточного газа и ионизируют их. Образовавшийся ионный ток зависит от количества молекул, а следовательно, от давления. Геометрия Байярда-Альперта уменьшает влияние фонового рентгеновского тока и позволяет измерять очень низкие давления.
Назначение
Датчики применяются для подтверждения достижения глубокого вакуума, контроля стабильности высоковакуумного процесса и наблюдения за состоянием камеры. Показания могут использоваться оператором или автоматикой для разрешения технологического цикла, управления насосами и защиты оборудования.
Преимущества серии
- высокая чувствительность при крайне низком давлении;
- пригодность для высокого и сверхвысокого вакуума;
- проверенный ионизационный принцип Байярда-Альперта;
- точный контроль остаточного давления;
- возможность использования в длительных технологических и исследовательских процессах;
- применение в системах с повышенными требованиями к чистоте и стабильности вакуума.
Области применения
Серия предназначена для научных и аналитических установок, полупроводникового оборудования, высоковакуумных технологических систем и других процессов, где необходимо надежно контролировать минимальные давления.
- Производитель
- INFICON
- Серия
- BAG
- Страна
- Швейцария
- Степень защиты
- IP40
- Минимальная температура окружающей среды, °С
- -20
- Сила тока, А
- 0.8
- Фланцевое соединение
- 25 ISO-KF
- Принцип измерения
- Датчики Байярда-Альперта
- Дисплей
- по запросу OLED + Pad
- Материалы, контактирующие с вакуумом
- стекло
- Диапазон измерений
- 3.8х10-10 — 1.5х10-2 Торр
- Точность измерения
- 1 × 10^(-8) — 2 × 10^(-2) мбар % от показаний ±15
- Повторяемость
- 10^-8 — 10^-2 мбар % от показаний ±5%
- Рабочая температура (окр. среды), °C
- 0 — +50
- Макс. температура прогрева, °C
- 150
- Зависимость напряжение – давление, В на декаду
- Логарифмическая, 0.75 В/декада
- Максимальное давление (абс.), бар
- p < 7.2 × 10^(-6) мбар, электронная бомбардировка (не более 3 мин.) ≈ 16 мА (Pdegas ≈4 Вт)
- Выходной аналоговый сигнал, В
- 0 — 10 постоянного тока
- Реле уставки
- 2 шт
- Выходные коммуникации
- Интерфейс: EtherCAT + Аналоговый выход + RS232C
- Встроенный чип калибровочных данных (на запасном датчике)
- Да/ съемный
- Электронное подключение, аналоговое/RS232
- D-sub, 15-контактный, папа
- Мин. напряжение питания (постоянный ток), В
- 20
- Макс. напряжение питания (постоянный ток), В
- 28
- Максимальная температура окружающей среды, °C
- 70