- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Приборы измерения и контроля вакуума
- Вакуумметры
- Цифровые вакуумметры
- Ионизационные вакуумметры
Ионизационные вакуумметры
На этой странице вы можете выбрать ионизационные вакуумметры — а мы оперативно поможем подобрать подходящую модель и найдем индивидуальное решение для вашей задачи.
ЭРСТВАК предлагает ионизационные вакуумметры для точного измерения давления в диапазоне от атмосферного до сверхвысокого вакуума. Краткое описание серий поможет вам сориентироваться в нашем каталоге.
BAG – вакуумметры Байярда–Альперта с горячим катодом для высокого и сверхвысокого вакуума. Обеспечивают высокую чувствительность и точность измерений в научных, аналитических, полупроводниковых и других высоковакуумных системах.
MPG – комбинированные вакуумметры с инверсно-магнетронным датчиком и датчиком Пирани. Позволяют одним прибором контролировать давление от среднего до высокого вакуума, объединяя два принципа измерения в одном корпусе.
MTH10D – широкодиапазонный вакуумный датчик с горячим катодом. Сочетает датчик Пирани и датчик Байярда–Альперта с защитой от перегрева, применяется в напылительных установках, вакуумных печах и установках имитации космического пространства.
MTM9D – широкодиапазонный вакуумный датчик с холодным катодом. Объединяет датчик Пирани и инверсно-магнетронный датчик, подходит для масс-спектрометрии, аналитического оборудования и напылительных установок.
PCG – комбинированные вакуумметры, объединяющие мембранно-емкостный датчик и датчик Пирани. Обеспечивают устойчивое измерение в широком диапазоне давлений, сочетая газонезависимый емкостный принцип с удобством Пирани для промышленного контроля вакуума.
SKY – высокоточные мембранно-емкостные вакуумметры с керамическим коррозионностойким сенсором и температурной компенсацией. Предназначены для точного измерения полного давления в полупроводниковых, плазменных, химических и тонкопленочных процессах.
Фильтры
Часто ищут
ЭРСТВАК предлагает ионизационные вакуумметры для точного измерения давления в диапазоне от атмосферного до сверхвысокого вакуума. Краткое описание серий поможет вам сориентироваться в нашем каталоге.
BAG – вакуумметры Байярда–Альперта с горячим катодом для высокого и сверхвысокого вакуума. Обеспечивают высокую чувствительность и точность измерений в научных, аналитических, полупроводниковых и других высоковакуумных системах.
MPG – комбинированные вакуумметры с инверсно-магнетронным датчиком и датчиком Пирани. Позволяют одним прибором контролировать давление от среднего до высокого вакуума, объединяя два принципа измерения в одном корпусе.
MTH10D – широкодиапазонный вакуумный датчик с горячим катодом. Сочетает датчик Пирани и датчик Байярда–Альперта с защитой от перегрева, применяется в напылительных установках, вакуумных печах и установках имитации космического пространства.
MTM9D – широкодиапазонный вакуумный датчик с холодным катодом. Объединяет датчик Пирани и инверсно-магнетронный датчик, подходит для масс-спектрометрии, аналитического оборудования и напылительных установок.
PCG – комбинированные вакуумметры, объединяющие мембранно-емкостный датчик и датчик Пирани. Обеспечивают устойчивое измерение в широком диапазоне давлений, сочетая газонезависимый емкостный принцип с удобством Пирани для промышленного контроля вакуума.
SKY – высокоточные мембранно-емкостные вакуумметры с керамическим коррозионностойким сенсором и температурной компенсацией. Предназначены для точного измерения полного давления в полупроводниковых, плазменных, химических и тонкопленочных процессах.
- Точность измерений, %: 30
- Диапазон измерений, мбар: 1000 - 5*10^-9
- Время отклика, с: 0.2
- Максимальная температура прогрева, °С: 60
- Принцип измерения: Датчик Пирани и инверсно-магнетронный датчик
- Точность измерений, %: 30
- Диапазон измерений, мбар: 1000 - 5*10^-10
- Время отклика, с: 0.02
- Максимальная температура прогрева, °С: 180
- Принцип измерения: Датчик Пирани и датчик Байярда-Альперта (с горячим катодом)
- Точность измерений, %: 30
- Диапазон измерений, мбар: 1000 - 5*10^-9
- Время отклика, с: 0.2
- Максимальная температура прогрева, °С: 60
- Принцип измерения: Датчик Пирани и инверсно-магнетронный датчик
- Принцип измерения: Ионизация с горячим катодом
- Цифровой интерфейс: RS485
- Фланцевое соединение: DN16 ISO-KF
- Цифровой интерфейс: RS485
- Фланцевое соединение: DN25 ISO-KF
- Максимальное давление (абс.), бар: 2
- Цифровой интерфейс: Порт для диагностики
- Фланцевое соединение: KF25
- Принцип измерения: Ионизация с горячим катодом
- Точность измерений, %: 30
- Диапазон измерений, мбар: 1000 - 5*10^-9
- Время отклика, с: 0.2
- Максимальная температура прогрева, °С: 60
- Принцип измерения: Датчик Пирани и инверсно-магнетронный датчик
- Точность измерений, %: 30
- Диапазон измерений, мбар: 1000 - 5*10^-10
- Время отклика, с: 0.02
- Максимальная температура прогрева, °С: 180
- Принцип измерения: Датчик Пирани и датчик Байярда-Альперта (с горячим катодом)
- Максимальное давление (абс.), бар: 10
- Диапазон (N2), мбар: 5x10^-5 — 1500
- Максимальное давление (абс.), бар: 10
- Диапазон (N2), мбар: 5x10^-5 — 1500
- Максимальное давление (абс.), бар: 10
- Диапазон (N2), мбар: 5x10^-5 — 1500
- Принцип измерения: Пирани и Ионизационный датчик с холодным катодом (по принципу инвертированного магнетрона)
- Принцип измерения: Ионизационный датчик с холодным катодом (по принципу инвертированного магнетрона)
- Точность измерений, %: 0.25
- Количество уставок: 2 (SP1, SP2)
- Время отклика, мс: 130
- Цифровой интерфейс: RS485
- Фланцевое соединение: DN40 ISO-KF
- Цифровой интерфейс: RS485
- Фланцевое соединение: DN16 CF-R
- Цифровой интерфейс: RS485
- Фланцевое соединение: DN40 CF-R
- Цифровой интерфейс: RS485
- Фланцевое соединение: 3/4" патрубок
- Цифровой интерфейс: RS485
- Фланцевое соединение: 8 VCR с внутренней резьбой
- Максимальное давление (абс.), бар: 2
- Цифровой интерфейс: Порт для диагностики
- Фланцевое соединение: CF40
- Принцип измерения: Ионизация с горячим катодом
- Принцип измерения: Ионизация с горячим катодом
