Главная
Каталог
Вакуумная техника
Приборы измерения и контроля вакуума
Вакуумметры
Цифровые вакуумметры
Ионизационные вакуумметры
Ионизационные датчики с горячим катодом
Пассивный ионизационный вакуумметр с горячим катодом INFICON BAG052

Пассивный ионизационный вакуумметр с горячим катодом INFICON BAG052

product-card

Серия BAG
Принцип измерения Ионизация с горячим катодом
Диапазон измерений 5.3х10^-8 — 1.3х10^-1 Па
Ориентация при монтаже Любая
Макс. температура прогрева, °C 450
Конфигурация системы электродов Датчики Байярда-Альперта
Рентгеновский предел, Торр 4х10^-10
Чувствительность (N2, типовая) 10 Торр^-1
Точность измерения (N2, типовая), ±% 20

В корзину

Описание

Характеристики

Отзывы клиентов

Пассивный ионизационный вакуумметр с горячим катодом INFICON BAG052 — модель линейки BAG. Серия используется на участках диапазона, где теплопроводностные методы уже недостаточно чувствительны.

Принцип измерения

Нагретый катод испускает электроны. Двигаясь внутри измерительной системы, электроны сталкиваются с молекулами остаточного газа и ионизируют их. Образовавшийся ионный ток зависит от количества молекул, а следовательно, от давления. Геометрия Байярда-Альперта уменьшает влияние фонового рентгеновского тока и позволяет измерять очень низкие давления.

Назначение

Датчики применяются для подтверждения достижения глубокого вакуума, контроля стабильности высоковакуумного процесса и наблюдения за состоянием камеры. Показания могут использоваться оператором или автоматикой для разрешения технологического цикла, управления насосами и защиты оборудования.

Преимущества серии

высокая чувствительность при крайне низком давлении;
пригодность для высокого и сверхвысокого вакуума;
проверенный ионизационный принцип Байярда-Альперта;
точный контроль остаточного давления;
возможность использования в длительных технологических и исследовательских процессах;
применение в системах с повышенными требованиями к чистоте и стабильности вакуума.

Области применения

Серия предназначена для научных и аналитических установок, полупроводникового оборудования, высоковакуумных технологических систем и других процессов, где необходимо надежно контролировать минимальные давления.

Серия: BAG

Принцип измерения: Ионизация с горячим катодом

Диапазон измерений: 5.3х10^-8 — 1.3х10^-1 Па

Ориентация при монтаже: Любая

Макс. температура прогрева, °C: 450

Конфигурация системы электродов: Датчики Байярда-Альперта

Рентгеновский предел, Торр: 4х10^-10

Чувствительность (N2, типовая): 10 Торр^-1

Точность измерения (N2, типовая), ±%: 20

Повторяемость (N2, типовая): ±5%

Электронная бомбардировка (EB) при дегазации: ≤100 Вт

Резистивный нагрев при дегазации: 6.3 — 7.5 В (переменный ток) при 10 А

Ток нагрева на катоде, А: 4 — 6

Напряжение нагрева катода (постоянный ток), В: 3 — 5

Потенциал на катоде, В: 30 постоянного тока

Потенциал сетки, В: +180 постоянного тока

Материал анода: Вольфрам (W), Ø0.010''

Материал катода (нить накаливания): Однослойное покрытие из иридия (Ir)

Изолятор: Керамика

Общая длина, дюйм: 6

Стеклянная колба: 2 ¼'' диаметр х 5'' в длинну

Материал фланцев: Стекло Nonex 7720

Настя Маслова

С эрствак сотрудничали по закупке вакуумметров для лабораторной установки. Заказ не крупный, но нам важно было попасть в диапазон измерений и получить документацию для внутренней проверки. Сначала прислали несколько вариантов, потом наш инженер уточнил по совместимости с действующей системой. Ответы были по делу, с техническими пояснениями. Приборы приехали в согласованной комплектации, подключение прошло штатно. Сейчас используем их в ежедневной работе, показания стабильные.

Евгения

Были закуплены вакуумметры MultiTorr. Удобный дисплей, нормальное сочетание цена/качество. Заказ был в январе, работают уже несколько месяцев, нареканий по качеству и оформлению заказа нет.

Виталий Гришин

Сравнивал большое количество поставщиков оборудования. Эрствак выиграл тем, что предлагает комплекс: это и имеющееся различное оборудование, его производство, имеют возможность что-то кастомизировать. Для нас такой формат удобен. Потому мы и заключили договор.

Иван Тихомиров

С Эрствак сотрудничаем с 2016 года. Это отличный проектировщик и поставщик оборудования. Предпочитаем покупать оборудование их собственной сборки, т.к. оно дешевле, чем импортные, а по качеству не особо им уступает. Так что не видим смысла переплачивать. Менеджерский состав компании подкован, всегда поможет подобрать нужное оборудование.

Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: