- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Приборы измерения и контроля вакуума
- Вакуумметры
- Цифровые вакуумметры
- Ионизационные вакуумметры
- Ионизационные датчики с горячим катодом
- Пассивный ионизационный вакуумметр с горячим катодом INFICON BAG052
Пассивный ионизационный вакуумметр с горячим катодом INFICON BAG052
product-card
Пассивный ионизационный вакуумметр с горячим катодом INFICON BAG052 — модель линейки BAG. Серия используется на участках диапазона, где теплопроводностные методы уже недостаточно чувствительны.
Принцип измерения
Нагретый катод испускает электроны. Двигаясь внутри измерительной системы, электроны сталкиваются с молекулами остаточного газа и ионизируют их. Образовавшийся ионный ток зависит от количества молекул, а следовательно, от давления. Геометрия Байярда-Альперта уменьшает влияние фонового рентгеновского тока и позволяет измерять очень низкие давления.
Назначение
Датчики применяются для подтверждения достижения глубокого вакуума, контроля стабильности высоковакуумного процесса и наблюдения за состоянием камеры. Показания могут использоваться оператором или автоматикой для разрешения технологического цикла, управления насосами и защиты оборудования.
Преимущества серии
- высокая чувствительность при крайне низком давлении;
- пригодность для высокого и сверхвысокого вакуума;
- проверенный ионизационный принцип Байярда-Альперта;
- точный контроль остаточного давления;
- возможность использования в длительных технологических и исследовательских процессах;
- применение в системах с повышенными требованиями к чистоте и стабильности вакуума.
Области применения
Серия предназначена для научных и аналитических установок, полупроводникового оборудования, высоковакуумных технологических систем и других процессов, где необходимо надежно контролировать минимальные давления.
- Производитель
- INFICON
- Серия
- BAG
- Страна
- Швейцария
- Принцип измерения
- Ионизация с горячим катодом
- Диапазон измерений
- 5.3х10^-8 — 1.3х10^-1 Па
- Ориентация при монтаже
- Любая
- Макс. температура прогрева, °C
- 450
- Конфигурация системы электродов
- Датчики Байярда-Альперта
- Рентгеновский предел, Торр
- 4х10^-10
- Чувствительность (N2, типовая)
- 10 Торр^-1
- Точность измерения (N2, типовая), ±%
- 20
- Повторяемость (N2, типовая)
- ±5%
- Электронная бомбардировка (EB) при дегазации
- ≤100 Вт
- Резистивный нагрев при дегазации
- 6.3 — 7.5 В (переменный ток) при 10 А
- Ток нагрева на катоде, А
- 4 — 6
- Напряжение нагрева катода (постоянный ток), В
- 3 — 5
- Потенциал на катоде, В
- 30 постоянного тока
- Потенциал сетки, В
- +180 постоянного тока
- Материал анода
- Вольфрам (W), Ø0.010''
- Материал катода (нить накаливания)
- Однослойное покрытие из иридия (Ir)
- Изолятор
- Керамика
- Общая длина, дюйм
- 6
- Стеклянная колба
- 2 ¼'' диаметр х 5'' в длинну
- Материал фланцев
- Стекло Nonex 7720
Товары из этой же серии
- Производитель: INFICON
- Серия: BAG
- Страна: Швейцария
В корзину
1
- Производитель: INFICON
- Серия: BAG
- Страна: Швейцария
В корзину
1
- Производитель: INFICON
- Серия: BAG
- Страна: Швейцария
В корзину
1
- Производитель: INFICON
- Серия: BAG
- Страна: Швейцария
В корзину
1
- Производитель: INFICON
- Серия: BAG
- Страна: Швейцария
В корзину
1
- Производитель: INFICON
- Серия: BAG
- Страна: Швейцария
В корзину
1
- Производитель: INFICON
- Серия: BAG
- Страна: Швейцария
В корзину
1
- Производитель: INFICON
- Серия: BAG
- Страна: Швейцария
В корзину
1
- Производитель: INFICON
- Серия: BAG
- Страна: Швейцария
В корзину
1
- Производитель: INFICON
- Серия: BAG
- Страна: Швейцария
В корзину
1
Не забудьте купить
- Тип: Адсорбционный
- Масса, кг: 2710
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: ALMA
- Длина, мм: 2250
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: СОУ
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 550 × 450 × 400
В корзину
1
- Холодопроизводительность, кВт: 216
- Потребляемая мощность, кВт: 41
- Охлаждение: Водяное
- Хладагент: R407C
- Температура хладоносителя на входе в испаритель, °С: 7
- Температура хладоносителя на выходе из испарителя, °С: 12
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Серия: MH
- Длина, мм: 1500
- Страна: Китай
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: VN
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Мощность, кВт: 0.25
- Масса, кг: 9
- Серия: АИР
- Страна: Китай
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 250x140x160
- Высота оси ротора, мм: 63
В корзину
1
- Производитель: Kurt J. Lesker
- Серия: CFT-V
- Страна: США
В корзину
1
- Производитель: EXTORR
- Серия: RGA
- Страна: США
В корзину
1
- Производитель: CME
- Серия: KRD61
- Страна: Китай
В корзину
1
- Тип: Спиральные
- Производительность, м³/ч: 61.2
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Мощность электродвигателя, кВт: 11
- Уровень шума, дБ(А): 63
- Количество ступеней: 1
В корзину
1
Вы смотрели
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EVCLIM-КОС
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Производитель: KYKY
- Серия: CDQ
- Страна: Китай
В корзину
1
- Мощность электродвигателя, кВт: 1.5
- Масса, кг: 191
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: PBM
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Производитель: KYKY
- Серия: CDQ
- Страна: Китай
В корзину
1
- Мощность, кВт: 0.125
- Масса, кг: 30
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: SSM
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Масса, кг: 5000
- Производитель: CME
- Серия: KRD31
- Страна: Китай
В корзину
1
- Масса, кг: 5300
- Производитель: CME
- Серия: KRD15
- Длина, мм: 4050
- Страна: Китай
- Высота, мм: 1000
В корзину
1
- Масса, кг: 40
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: TG
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Тип: Пластинчато-роторные
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Маслосмазываемый
- Скорость откачки, м³/ч: 448
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.1
- Мощность, кВт: 11
В корзину
1
- Производитель: KYKY
- Серия: CC
- Страна: Китай
В корзину
1
