- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Приборы измерения и контроля вакуума
- Вакуумметры
- Цифровые вакуумметры
- Ионизационные вакуумметры
- Ионизационные датчики с горячим катодом
- Пассивный ионизационный вакуумметр с горячим катодом INFICON BAG050
Пассивный ионизационный вакуумметр с горячим катодом INFICON BAG050
product-card
Пассивный ионизационный вакуумметр с горячим катодом INFICON BAG050 — модель линейки BAG. Серия используется на участках диапазона, где теплопроводностные методы уже недостаточно чувствительны.
Принцип измерения
Нагретый катод испускает электроны. Двигаясь внутри измерительной системы, электроны сталкиваются с молекулами остаточного газа и ионизируют их. Образовавшийся ионный ток зависит от количества молекул, а следовательно, от давления. Геометрия Байярда-Альперта уменьшает влияние фонового рентгеновского тока и позволяет измерять очень низкие давления.
Назначение
Датчики применяются для подтверждения достижения глубокого вакуума, контроля стабильности высоковакуумного процесса и наблюдения за состоянием камеры. Показания могут использоваться оператором или автоматикой для разрешения технологического цикла, управления насосами и защиты оборудования.
Преимущества серии
- высокая чувствительность при крайне низком давлении;
- пригодность для высокого и сверхвысокого вакуума;
- проверенный ионизационный принцип Байярда-Альперта;
- точный контроль остаточного давления;
- возможность использования в длительных технологических и исследовательских процессах;
- применение в системах с повышенными требованиями к чистоте и стабильности вакуума.
Области применения
Серия предназначена для научных и аналитических установок, полупроводникового оборудования, высоковакуумных технологических систем и других процессов, где необходимо надежно контролировать минимальные давления.
- Производитель
- INFICON
- Серия
- BAG
- Страна
- Швейцария
- Принцип измерения
- Ионизация с горячим катодом
- Диапазон измерений
- 2.7х10^-9 — 1.3х10^-1 Па
- Ориентация при монтаже
- Любая
- Макс. температура прогрева, °C
- 450
- Конфигурация системы электродов
- Датчики Байярда-Альперта
- Рентгеновский предел, Торр
- 2х10^-11
- Чувствительность (N2, типовая)
- 25 Торр^-1
- Точность измерения (N2, типовая), ±%
- 20
- Повторяемость (N2, типовая)
- ±5%
- Электронная бомбардировка (EB) при дегазации
- ≤40 Вт
- Ток нагрева на катоде, А
- 2.5 — 3.5
- Напряжение нагрева катода (постоянный ток), В
- 3 — 5
- Потенциал на катоде, В
- +30 постоянного тока
- Потенциал сетки, В
- +180 постоянного тока
- Материал анода
- Вольфрам (W), Ø0.005''
- Материал катода (нить накаливания)
- Двойной иридий (Ir), или двойной вольфрам (W)
- Изолятор
- Керамика
- Общая длина, дюйм
- 4⅛
- Длина вставки, дюйм
- 3
- Материал фланцев
- SS AISI 304
Товары из этой же серии
- Производитель: INFICON
- Серия: BAG
- Страна: Швейцария
В корзину
1
- Производитель: INFICON
- Серия: BAG
- Страна: Швейцария
В корзину
1
- Производитель: INFICON
- Серия: BAG
- Страна: Швейцария
В корзину
1
- Производитель: INFICON
- Серия: BAG
- Страна: Швейцария
В корзину
1
- Производитель: INFICON
- Серия: BAG
- Страна: Швейцария
В корзину
1
- Производитель: INFICON
- Серия: BAG
- Страна: Швейцария
В корзину
1
- Производитель: INFICON
- Серия: BAG
- Страна: Швейцария
В корзину
1
- Производитель: INFICON
- Серия: BAG
- Страна: Швейцария
В корзину
1
- Производитель: INFICON
- Серия: BAG
- Страна: Швейцария
В корзину
1
- Производитель: INFICON
- Серия: BAG
- Страна: Швейцария
В корзину
1
Не забудьте купить
- Тип: Спиральные
- Производительность, м³/ч: 11.4
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Мощность электродвигателя, кВт: 2.2
- Уровень шума, дБ(А): 63
- Количество ступеней: 1
В корзину
1
- Масса, кг: 123
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: ARCTICA LH
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 730 × 800 × 820
В корзину
1
- Мощность, кВт: 0.3
- Масса, кг: 41
- Производитель: LINXON
- Серия: LX
- Страна: Швейцария
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 555х305х425
В корзину
1
- Тип: Винтовые
- Производительность, м³/ч: 2748
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Мощность электродвигателя, кВт: 315
- Уровень шума, дБ(А): 85
- Количество ступеней: 2
В корзину
1
- Тип: Гелиевые
- Мощность, кВт: 6.5
- Потребляемая мощность, кВт: 6.5
- Охлаждение: Водяное
- Масса, кг: 125
- Производитель: ERSTVAK
В корзину
1
- Производитель: Kurt J. Lesker
- Серия: QF
- Страна: США
В корзину
1
- Тип: Пластинчато-роторные
- Уровень вакуума: Высокий
- Тип смазки: Маслозаполненный
- Скорость откачки, м³/ч: 22
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 6 × 10⁻⁴
- Мощность, кВт: 0.75
В корзину
1
- Производитель: RigorPower
- Серия: RG
- Страна: Индия
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 4.788
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
Вы смотрели
- Мощность, кВт: 0.12
- Охлаждение: Нет
- Масса, кг: 25
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: TRM
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Масса, кг: 4200
- Производитель: CME
- Серия: KRD10
- Страна: Китай
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1700 × 1500 × 2300
В корзину
1
- Тип: Адсорбционные
- Масса, кг: 550
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EAD
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1300 × 850 × 2200
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное
- Производитель: PIV
- Серия: TS
- Страна: Китай
В корзину
1
- Масса, кг: 8000
- Производитель: CME
- Серия: KRD31
- Страна: Китай
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Серия: PC
- Страна: Китай
В корзину
1
