- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Приборы измерения и контроля вакуума
- Вакуумметры
- Цифровые вакуумметры
- Ионизационные вакуумметры
- Ионизационный вакуумметр Байярда-Альперта с горячим катодом INFICON BAG402 DSUB9 CF40
Ионизационный вакуумметр Байярда-Альперта с горячим катодом INFICON BAG402 DSUB9 CF40
Ионизационный вакуумметр Байярда-Альперта с горячим катодом INFICON BAG402 DSUB9 CF40 — модель линейки BAG. Серия используется на участках диапазона, где теплопроводностные методы уже недостаточно чувствительны.
Принцип измерения
Нагретый катод испускает электроны. Двигаясь внутри измерительной системы, электроны сталкиваются с молекулами остаточного газа и ионизируют их. Образовавшийся ионный ток зависит от количества молекул, а следовательно, от давления. Геометрия Байярда-Альперта уменьшает влияние фонового рентгеновского тока и позволяет измерять очень низкие давления.
Назначение
Датчики применяются для подтверждения достижения глубокого вакуума, контроля стабильности высоковакуумного процесса и наблюдения за состоянием камеры. Показания могут использоваться оператором или автоматикой для разрешения технологического цикла, управления насосами и защиты оборудования.
Преимущества серии
- высокая чувствительность при крайне низком давлении;
- пригодность для высокого и сверхвысокого вакуума;
- проверенный ионизационный принцип Байярда-Альперта;
- точный контроль остаточного давления;
- возможность использования в длительных технологических и исследовательских процессах;
- применение в системах с повышенными требованиями к чистоте и стабильности вакуума.
Области применения
Серия предназначена для научных и аналитических установок, полупроводникового оборудования, высоковакуумных технологических систем и других процессов, где необходимо надежно контролировать минимальные давления.
- Производитель
- INFICON
- Серия
- BAG
- Страна
- Швейцария
- Степень защиты
- IP30
- Минимальная температура окружающей среды, °С
- -20
- Максимальная длина кабеля, м
- 100
- Фланцевое соединение
- CF40
- Электрическое подключение
- D-Sub, 9-pin, папа
- Нить накаливания
- Две иридиевые нити (Ir), покрытые оксидом иттрия (Yt2O2)
- Материалы, контактирующие с вакуумом
- стекло
- Точность измерения
- 10^(-8) — 10^(-2) мбар % от показания ±15
- Повторяемость
- 10^-8 — 10^-2 мбар от показаний ±5
- Дегазация
- p<7.2х10^-6 мбар (электронная бомбардировка, максимум 3 мин)
- Масса, г
- 710
- Ориентация при монтаже
- Любая
- Рабочая температура (окр. среды), °C
- 0 — +50
- Зависимость напряжение – давление, В на декаду
- 1
- Сигнал ошибки, В
- > +10
- Цифровые функции
- Дегазация и контроль эмиссии
- Максимальное давление (абс.), бар
- 2
- Цифровой интерфейс
- Порт для диагностики
- Выходной аналоговый сигнал, В
- 0 — +10
- Реле уставки
- нет (число уставок)
- Контроль эмиссии
- Вручную
- Состояние нити накаливания
- LED / реле
- Диапазон измерений (воздух, O2, CO, N2)
- 5х10^-10 — 2.7х10^-2 мбар
- Прогрев на фланце без электроники BPG402-S
- 80
- Диапазон измерений log/линейный
- 0 — +9
- Минимальное сопротивление нагрузки, кОм
- 10
- Вторичный аналоговый выход
- Нет
- Максимальная длина кабеля, фут
- 330
- Внутренний объем KF/CF, см³
- 34
- Внутренний объем KF/CF, дюйм³
- 2.1
- Мин. напряжение питания (постоянный ток), В
- 20
- Макс. напряжение питания (постоянный ток), В
- 28
- Максимальная температура окружающей среды, °C
- 70