Ионизационный комбинированный вакуумметр Байярда-Альперта с горячим катодом INFICON BAG552 40 CF-R

product-card
Ионизационный комбинированный вакуумметр Байярда-Альперта с горячим катодом INFICON BAG552 40 CF-R
Ионизационный комбинированный вакуумметр Байярда-Альперта с горячим катодом INFICON BAG552 40 CF-R
Описание
Характеристики

Ионизационный комбинированный вакуумметр Байярда-Альперта с горячим катодом INFICON BAG552 40 CF-R — модель линейки BAG. Серия используется на участках диапазона, где теплопроводностные методы уже недостаточно чувствительны.

Принцип измерения

Нагретый катод испускает электроны. Двигаясь внутри измерительной системы, электроны сталкиваются с молекулами остаточного газа и ионизируют их. Образовавшийся ионный ток зависит от количества молекул, а следовательно, от давления. Геометрия Байярда-Альперта уменьшает влияние фонового рентгеновского тока и позволяет измерять очень низкие давления.

Назначение

Датчики применяются для подтверждения достижения глубокого вакуума, контроля стабильности высоковакуумного процесса и наблюдения за состоянием камеры. Показания могут использоваться оператором или автоматикой для разрешения технологического цикла, управления насосами и защиты оборудования.

Преимущества серии

  • высокая чувствительность при крайне низком давлении;
  • пригодность для высокого и сверхвысокого вакуума;
  • проверенный ионизационный принцип Байярда-Альперта;
  • точный контроль остаточного давления;
  • возможность использования в длительных технологических и исследовательских процессах;
  • применение в системах с повышенными требованиями к чистоте и стабильности вакуума.

Области применения

Серия предназначена для научных и аналитических установок, полупроводникового оборудования, высоковакуумных технологических систем и других процессов, где необходимо надежно контролировать минимальные давления.

Производитель
INFICON
Серия
BAG
Страна
Швейцария
Степень защиты
IP40
Минимальная температура окружающей среды, °С
-20
Сила тока, А
0.8
Фланцевое соединение
40 CF-R
Принцип измерения
Датчики Байярда-Альперта
Дисплей
по запросу OLED + Pad
Материалы, контактирующие с вакуумом
стекло
Диапазон измерений
3.8х10-10 — 1.5х10-2 Торр
Точность измерения
1 × 10^(-8) — 2 × 10^(-2) мбар % от показаний ±15
Повторяемость
10^-8 — 10^-2 мбар % от показаний ±5%
Рабочая температура (окр. среды), °C
0 — +50
Макс. температура прогрева, °C
150
Зависимость напряжение – давление, В на декаду
Логарифмическая, 0.75 В/декада
Максимальное давление (абс.), бар
p < 7.2 × 10^(-6) мбар, электронная бомбардировка (не более 3 мин.) ≈ 16 мА (Pdegas ≈4 Вт)
Выходной аналоговый сигнал, В
0 — 10 постоянного тока
Реле уставки
2 шт
Выходные коммуникации
Интерфейс: EtherCAT + Аналоговый выход + RS232C
Встроенный чип калибровочных данных (на запасном датчике)
Да/ съемный
Электронное подключение, аналоговое/RS232
D-sub, 15-контактный, папа
Мин. напряжение питания (постоянный ток), В
20
Макс. напряжение питания (постоянный ток), В
28
Максимальная температура окружающей среды, °C
70

Товары из этой же серии

Широкодиапазонный вакуумный датчик с холодным катодом ERSTVAK MTM9D-KF25
Широкодиапазонный вакуумный датчик с холодным катодом ERSTVAK MTM9D-KF25
  • Масса, кг: 0.555
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: MTM9D
  • Страна: Германия
В корзину
1
Широкодиапазонный вакуумный датчик с горячим катодом ERSTVAK MTH10D-KF40
Широкодиапазонный вакуумный датчик с горячим катодом ERSTVAK MTH10D-KF40
  • Масса, кг: 0.555
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: MTH10D
  • Страна: Германия
В корзину
1
Широкодиапазонный вакуумный датчик с холодным катодом ERSTVAK MTM9D-CF40
Широкодиапазонный вакуумный датчик с холодным катодом ERSTVAK MTM9D-CF40
  • Масса, кг: 0.555
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: MTM9D
  • Страна: Германия
В корзину
1
Широкодиапазонный вакуумный датчик с холодным катодом с поверкой ERSTVAK MTM9D-KF25
Широкодиапазонный вакуумный датчик с холодным катодом с поверкой ERSTVAK MTM9D-KF25
  • Масса, кг: 0.555
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: MTM9D
  • Страна: Германия
В корзину
1
Широкодиапазонный вакуумный датчик с горячим катодом ERSTVAK MTH10D-CF40
Широкодиапазонный вакуумный датчик с горячим катодом ERSTVAK MTH10D-CF40
  • Масса, кг: 0.555
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: MTH10D
  • Страна: Германия
В корзину
1
Мембранно-емкостной вакуумметр Пирани INFICON PCG550
Мембранно-емкостной вакуумметр Пирани INFICON PCG550
  • Производитель: INFICON
  • Серия: PCG
  • Страна: Швейцария
В корзину
1
Мембранно-емкостной вакуумметр Пирани INFICON PCG554
Мембранно-емкостной вакуумметр Пирани INFICON PCG554
  • Производитель: INFICON
  • Серия: PCG
  • Страна: Швейцария
В корзину
1
Мембранно-емкостной вакуумметр Пирани INFICON PCG552
Мембранно-емкостной вакуумметр Пирани INFICON PCG552
  • Производитель: INFICON
  • Серия: PCG
  • Страна: Швейцария
В корзину
1
Мембранно-емкостный вакуумметр INFICON SKY CDG025D 0.25 Торр
Мембранно-емкостный вакуумметр INFICON SKY CDG025D 0.25 Торр
  • Производитель: INFICON
  • Серия: SKY
  • Страна: Швейцария
В корзину
1
Ионизационный вакуумметр Байярда-Альперта с горячим катодом INFICON BAG302 DN 40 ISO-KF
Ионизационный вакуумметр Байярда-Альперта с горячим катодом INFICON BAG302 DN 40 ISO-KF
  • Производитель: INFICON
  • Серия: BAG
  • Страна: Швейцария
В корзину
1

Не забудьте купить

Фланцевый переходник King Lai AD-SWG-CF275x050 на Swagelok
Фланцевый переходник King Lai AD-SWG-CF275x050 на Swagelok
  • Производитель: King Lai
  • Серия: SWG
  • Страна: Китай
В корзину
1
Шиберный затвор King Lai SGVP-UHV-CF600 с пневматическим приводом, соленоидом и датчиками положения
Шиберный затвор King Lai SGVP-UHV-CF600 с пневматическим приводом, соленоидом и датчиками положения
  • Производитель: King Lai
  • Серия: SGVP-UHV
  • Страна: Китай
В корзину
1
Патрубок угловой 90° King Lai CF-90EL-338
Патрубок угловой 90° King Lai CF-90EL-338
  • Производитель: King Lai
  • Серия: 90EL
  • Страна: Китай
В корзину
1
Фрезерный обрабатывающий центр с направляющими скольжения EMVB-1690
Фрезерный обрабатывающий центр с направляющими скольжения EMVB-1690
  • Серия: EMVB
  • Страна: Китай
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 5000 × 3350 × 3600
В корзину
1
Вихревая воздуходувка ERSTVAK EVL 569/23 3 ф.
Вихревая воздуходувка ERSTVAK EVL 569/23 3 ф.
  • Тип: Вихревые
  • Производительность, м³/ч: 2050
  • Избыточное давление, мбар: 230
  • Тип смазки: Безмасляная (сухая)
  • Мощность электродвигателя, кВт: 18.5
  • Разрежение, мбар: 250
В корзину
1
Гелиевый течеискатель Leybold Phoenix 4 Magno
Гелиевый течеискатель Leybold Phoenix 4 Magno
  • Масса, кг: 67
  • Производитель: Leybold
  • Серия: PHOENIX
  • Страна: Германия
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 521x371x679
В корзину
1
Компрессорная станция ERSTVAK AURORA M 75-10-32
Компрессорная станция ERSTVAK AURORA M 75-10-32
  • Тип: Винтовые
  • Тип смазки: Маслозаполненный
  • Мощность электродвигателя, кВт: 55
  • Уровень шума, дБ(А): 70
  • Количество ступеней: 1
  • Охлаждение: Воздушное
В корзину
1
Маслосмазываемый пластинчато-роторный вакуумный насос DVP LC.25 WR 1ф
Маслосмазываемый пластинчато-роторный вакуумный насос DVP LC.25 WR 1ф
  • Тип: Пластинчато-роторные
  • Уровень вакуума: Средний
  • Тип смазки: Маслосмазываемый
  • Скорость откачки, м³/ч: 25
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 4
  • Мощность, кВт: 0.75
В корзину
1
Циркуляционный термостат ERSTVAK TSM 225W/TSM 225
Циркуляционный термостат ERSTVAK TSM 225W/TSM 225
  • Хладагент: R-404A/R507C (По запросу – R448A)
  • Масса, кг: 115
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: TSM
  • Страна: Российская Федерация
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 400*700*1300
В корзину
1
Безмасляные винтовые вакуумные насосные станции ERSTVAK VU1120
Безмасляные винтовые вакуумные насосные станции ERSTVAK VU1120
  • Скорость откачки, м³/ч: 1200
  • Мощность, кВт: 8.5
  • Охлаждение: Водяное
  • Масса, кг: 635
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: VU
В корзину
1

Вы смотрели

Маслосмазываемый пластинчато-роторный вакуумный насос DVP LC.25 3 ф
Маслосмазываемый пластинчато-роторный вакуумный насос DVP LC.25 3 ф
  • Тип: Пластинчато-роторные
  • Уровень вакуума: Средний
  • Тип смазки: Маслосмазываемый
  • Скорость откачки, м³/ч: 25
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.5
  • Мощность, кВт: 0.75
В корзину
1
Вакуумное смотровое немагнитное окно на CF-фланцах из кварца Kurt J. Lesker VPZL-133EUTI
Вакуумное смотровое немагнитное окно на CF-фланцах из кварца Kurt J. Lesker VPZL-133EUTI
  • Производитель: Kurt J. Lesker
  • Серия: VPZL
  • Страна: США
В корзину
1
Вакуумное смотровое немагнитное окно на CF-фланцах из кварца Kurt J. Lesker VPZL-275EUTI
Вакуумное смотровое немагнитное окно на CF-фланцах из кварца Kurt J. Lesker VPZL-275EUTI
  • Производитель: Kurt J. Lesker
  • Серия: VPZL
  • Страна: США
В корзину
1
Безмасляный пластинчато-роторный вакуумный насос DVP SB.40 3 ф
Безмасляный пластинчато-роторный вакуумный насос DVP SB.40 3 ф
  • Тип: Пластинчато-роторные
  • Уровень вакуума: Низкий
  • Тип смазки: Безмасляный
  • Скорость откачки, м³/ч: 40
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 120
  • Мощность, кВт: 1.5
В корзину
1
Маслосмазываемый пластинчато-роторный вакуумный насос DVP LC.20 1 ф
Маслосмазываемый пластинчато-роторный вакуумный насос DVP LC.20 1 ф
  • Тип: Пластинчато-роторные
  • Уровень вакуума: Средний
  • Тип смазки: Маслосмазываемый
  • Скорость откачки, м³/ч: 20
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.5
  • Мощность, кВт: 0.75
В корзину
1
Вакуумное смотровое немагнитное окно на CF-фланцах из кварца Kurt J. Lesker VPZL-133DUNM
Вакуумное смотровое немагнитное окно на CF-фланцах из кварца Kurt J. Lesker VPZL-133DUNM
  • Производитель: Kurt J. Lesker
  • Серия: VPZL
  • Страна: США
В корзину
1
Вакуумное смотровое окно на KF-фланцах из фторида магния Kurt J. Lesker QF40-150-VPUM
Вакуумное смотровое окно на KF-фланцах из фторида магния Kurt J. Lesker QF40-150-VPUM
  • Производитель: Kurt J. Lesker
  • Серия: QF
  • Страна: США
В корзину
1
Автоматическая линия для нанесения клейкой ленты на биполярные пластины SUZHOU SECOND NEW ENERGY TECHNOLOGY SEC-H500-TPL
Автоматическая линия для нанесения клейкой ленты на биполярные пластины SUZHOU SECOND NEW ENERGY TECHNOLOGY SEC-H500-TPL
  • Масса, кг: 4000
  • Производитель: Suzhou Second New Energy Technology
  • Серия: SEC
  • Страна: Китай
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 9000 × 4600 × 2000
В корзину
1
Безмасляный пластинчато-роторный вакуумный насос DVP SB.25 3 ф
Безмасляный пластинчато-роторный вакуумный насос DVP SB.25 3 ф
  • Тип: Пластинчато-роторные
  • Уровень вакуума: Низкий
  • Тип смазки: Безмасляный
  • Скорость откачки, м³/ч: 25
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 120
  • Мощность, кВт: 0.75
В корзину
1
Вакуумное смотровое окно на KF-фланцах из фторида магния Kurt J. Lesker QF50-200-VPUM
Вакуумное смотровое окно на KF-фланцах из фторида магния Kurt J. Lesker QF50-200-VPUM
  • Производитель: Kurt J. Lesker
  • Серия: QF
  • Страна: США
В корзину
1

Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?

Получите бесплатную консультацию нашего инженера уже сегодня!