Главная
Каталог
Вакуумная техника
Приборы измерения и контроля вакуума
Вакуумметры
Цифровые вакуумметры
Ионизационные вакуумметры
Ионизационный комбинированный вакуумметр Байярда-Альперта с горячим катодом INFICON BAG552 40 CF-R

Ионизационный комбинированный вакуумметр Байярда-Альперта с горячим катодом INFICON BAG552 40 CF-R

product-card

Степень защиты IP40
Серия BAG
Минимальная температура окружающей среды, °С -20
Сила тока, А 0.8
Фланцевое соединение 40 CF-R
Принцип измерения Датчики Байярда-Альперта
Дисплей по запросу OLED + Pad
Материалы, контактирующие с вакуумом стекло
Диапазон измерений 3.8х10-10 — 1.5х10-2 Торр

В корзину

Описание

Характеристики

Отзывы клиентов

Ионизационный комбинированный вакуумметр Байярда-Альперта с горячим катодом INFICON BAG552 40 CF-R — модель линейки BAG. Серия используется на участках диапазона, где теплопроводностные методы уже недостаточно чувствительны.

Принцип измерения

Нагретый катод испускает электроны. Двигаясь внутри измерительной системы, электроны сталкиваются с молекулами остаточного газа и ионизируют их. Образовавшийся ионный ток зависит от количества молекул, а следовательно, от давления. Геометрия Байярда-Альперта уменьшает влияние фонового рентгеновского тока и позволяет измерять очень низкие давления.

Назначение

Датчики применяются для подтверждения достижения глубокого вакуума, контроля стабильности высоковакуумного процесса и наблюдения за состоянием камеры. Показания могут использоваться оператором или автоматикой для разрешения технологического цикла, управления насосами и защиты оборудования.

Преимущества серии

высокая чувствительность при крайне низком давлении;
пригодность для высокого и сверхвысокого вакуума;
проверенный ионизационный принцип Байярда-Альперта;
точный контроль остаточного давления;
возможность использования в длительных технологических и исследовательских процессах;
применение в системах с повышенными требованиями к чистоте и стабильности вакуума.

Области применения

Серия предназначена для научных и аналитических установок, полупроводникового оборудования, высоковакуумных технологических систем и других процессов, где необходимо надежно контролировать минимальные давления.

Степень защиты: IP40

Серия: BAG

Минимальная температура окружающей среды, °С: -20

Сила тока, А: 0.8

Фланцевое соединение: 40 CF-R

Принцип измерения: Датчики Байярда-Альперта

Дисплей: по запросу OLED + Pad

Материалы, контактирующие с вакуумом: стекло

Диапазон измерений: 3.8х10-10 — 1.5х10-2 Торр

Точность измерения: 1 × 10^(-8) — 2 × 10^(-2) мбар % от показаний ±15

Повторяемость: 10^-8 — 10^-2 мбар % от показаний ±5%

Рабочая температура (окр. среды), °C: 0 — +50

Макс. температура прогрева, °C: 150

Зависимость напряжение – давление, В на декаду: Логарифмическая, 0.75 В/декада

Максимальное давление (абс.), бар: p < 7.2 × 10^(-6) мбар, электронная бомбардировка (не более 3 мин.) ≈ 16 мА (Pdegas ≈4 Вт)

Выходной аналоговый сигнал, В: 0 — 10 постоянного тока

Реле уставки: 2 шт

Выходные коммуникации: Интерфейс: EtherCAT + Аналоговый выход + RS232C

Встроенный чип калибровочных данных (на запасном датчике): Да/ съемный

Электронное подключение, аналоговое/RS232: D-sub, 15-контактный, папа

Мин. напряжение питания (постоянный ток), В: 20

Макс. напряжение питания (постоянный ток), В: 28

Максимальная температура окружающей среды, °C: 70

Настя Маслова

С эрствак сотрудничали по закупке вакуумметров для лабораторной установки. Заказ не крупный, но нам важно было попасть в диапазон измерений и получить документацию для внутренней проверки. Сначала прислали несколько вариантов, потом наш инженер уточнил по совместимости с действующей системой. Ответы были по делу, с техническими пояснениями. Приборы приехали в согласованной комплектации, подключение прошло штатно. Сейчас используем их в ежедневной работе, показания стабильные.

Евгения

Были закуплены вакуумметры MultiTorr. Удобный дисплей, нормальное сочетание цена/качество. Заказ был в январе, работают уже несколько месяцев, нареканий по качеству и оформлению заказа нет.

Виталий Гришин

Сравнивал большое количество поставщиков оборудования. Эрствак выиграл тем, что предлагает комплекс: это и имеющееся различное оборудование, его производство, имеют возможность что-то кастомизировать. Для нас такой формат удобен. Потому мы и заключили договор.

Иван Тихомиров

С Эрствак сотрудничаем с 2016 года. Это отличный проектировщик и поставщик оборудования. Предпочитаем покупать оборудование их собственной сборки, т.к. оно дешевле, чем импортные, а по качеству не особо им уступает. Так что не видим смысла переплачивать. Менеджерский состав компании подкован, всегда поможет подобрать нужное оборудование.

Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: