Пассивный ионизационный вакуумметр с горячим катодом INFICON BAG053

Пассивный ионизационный вакуумметр с горячим катодом INFICON BAG053 — модель линейки BAG. Серия используется на участках диапазона, где теплопроводностные методы уже недостаточно чувствительны.

Принцип измерения

Нагретый катод испускает электроны. Двигаясь внутри измерительной системы, электроны сталкиваются с молекулами остаточного газа и ионизируют их. Образовавшийся ионный ток зависит от количества молекул, а следовательно, от давления. Геометрия Байярда-Альперта уменьшает влияние фонового рентгеновского тока и позволяет измерять очень низкие давления.

Назначение

Датчики применяются для подтверждения достижения глубокого вакуума, контроля стабильности высоковакуумного процесса и наблюдения за состоянием камеры. Показания могут использоваться оператором или автоматикой для разрешения технологического цикла, управления насосами и защиты оборудования.

Преимущества серии

• высокая чувствительность при крайне низком давлении;
• пригодность для высокого и сверхвысокого вакуума;
• проверенный ионизационный принцип Байярда-Альперта;
• точный контроль остаточного давления;
• возможность использования в длительных технологических и исследовательских процессах;
• применение в системах с повышенными требованиями к чистоте и стабильности вакуума.

Области применения

Серия предназначена для научных и аналитических установок, полупроводникового оборудования, высоковакуумных технологических систем и других процессов, где необходимо надежно контролировать минимальные давления.