Магниторазрядный ионно-геттерный вакуумный насос SAES NEXTorr Z100

Магниторазрядный ионно-геттерный вакуумный насос SAES NEXTorr Z100 — гибридный насос серии NEXTorr Z для сверхвысокого и экстремально высокого вакуума. В одном корпусе объединены неиспаряемый геттерный элемент NEG на сплаве ZAO и магниторазрядная ионная ступень. Такое сочетание обеспечивает откачку активных газов средствами NEG и дополняет её откачкой благородных газов и метана ионным элементом.

После активации NEG-материал химически связывает активные компоненты остаточного газа. Ионная ступень работает с газовыми видами, для которых геттерная часть не обеспечивает необходимой сорбции. В насосе нет вращающихся деталей и масла, поэтому его работа не связана с механическими вибрациями от приводного ротора и масляной рабочей жидкостью в вакуумном тракте.

Особенности конструкции и контроля

Серия NEXTorr Z отличается компактной гибридной компоновкой и рассчитана на работу в UHV/XHV-системах. Для неё характерны сниженные магнитные помехи, что важно при размещении вакуумного оборудования рядом с чувствительными приборами. Насос также может использоваться для индикации давления вакуумной системы. Во время штатной работы энергопотребление остаётся низким, а отсутствие движущихся частей упрощает эксплуатацию вакуумного узла.

Геттерная и ионная части работают совместно в одном насосе: NEG обеспечивает высокую скорость откачки активных газов, включая водород, а встроенная ионная ступень расширяет набор откачиваемых компонентов. Такая архитектура позволяет использовать Z100 как компактный источник откачки в системах, где требуется чистый сверхвысокий вакуум без масляной рабочей среды.

Применение

NEXTorr Z100 применяют в системах анализа поверхности, атомных и ионных ловушках, атомных часах и интерферометрах, электронных микроскопах, ускорительной технике и переносных UHV-приборах. Серия также используется в исследовательских и промышленных установках общего назначения, работающих в диапазоне сверхвысокого вакуума.