В феврале 2021 г. был спроектирован пост штенгельной откачки для ФГУП ВНИИА им. Духова корпорации «Росатом».
Установка предназначена для термовакуумной обработки изделий «вакуум в вакууме», для подготовки рабочей смеси газов, наполнения газом электро-вакуумных приборов.
Установка имеет независимые высоковакуумные системы откачки вакуумной камеры и гребенки изделия. Трехступенчатая система откачки изделий на основе сухого форвакуумного спирального, турбомолекулярного и магниторазрядного насосов. Рабочий вакуум в камере не хуже, чем 10-5 мбар, а в гребенке 10-8 мбар. Нагрев осуществляется нихромовыми нагревателями внутри камеры до темп. 500 С с высокой равномерностью внутри.
Сама вакуумная камера водоохлаждаемая, как и гребенка подключения приборов.
Конструкция гребенки была разработана специально под изделия заказчика и имеет уникальную конструкцию, позволяющую проводить полную герметизацию штенгелей приборов.
Для подготовки точных газовых установка оборудована газовым шкафом с прецизионным пробоотборными цилиндрами.
Для проведения диагностики приборов установка имеет в комплекте течеискатель, высоковольтный источник питания, источник питания накала, осциллограф.
Технические характеристики:
- Внутренние размеры камеры: Ø450 мм Х H290 мм (цилиндрической части)
- Высота подъёма колпака: 600 мм
- Максимальная температура в рабочей зоне: до 500 °С
- Температура прогрева газовой линии: до 250 °С
- Тип нагревателя: резистивный Н20 Х 80.
- Рабочее. давление в камере обезгаживания при 20 °С: 1х10-5 мбар.
- Предельное остаточное давление в гребенке при 20 °С: 1х10-8 мбар.
- Количество подключаемых приборов: 7.
