- Главная
- Каталог
- Металлообработка и поверхностная инженерия
- Вакуумные технологии поверхности
- Установки плазменной обработки поверхности
- Системы плазменной обработки в вакууме
- Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I5
Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I5
product-card
Промышленная система плазменной обработки серии EV-PLASMA-I предназначена для очистки, активации и модификации поверхности различных материалов в условиях низкотемпературной плазмы. Оборудование применяется на производственных предприятиях, в микроэлектронике, приборостроении, оптической промышленности и других отраслях, где требуется стабильная и контролируемая обработка поверхности.
Плазменная обработка позволяет эффективно удалять органические загрязнения, повышать адгезию покрытий и изменять свойства поверхности без механического воздействия на материал.Система подходит для работы с металлами, полимерами, стеклом, керамикой и другими материалами.
Промышленная система обеспечивает стабильную работу в вакуумной среде и позволяет точно контролировать параметры технологического процесса при длительной эксплуатации оборудования.Конструкция установки рассчитана на интенсивную работу в условиях промышленного производства.
Оборудование может использоваться для подготовки изделий перед нанесением покрытий, плазменной очистки, активации поверхности и выполнения различных технологических процессов поверхностной обработки.
- Электропитание
- AC 380 В, 50/60 Гц (100A)
- Скорость откачки, м³/ч
- 60
- Масса, кг
- 350
- Производитель
- ERSTVAK
- Серия
- EV-PLASMA-I
- Страна
- Российская Федерация
- Вакуумметр
- Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
- Дисплей
- 7"
- Программное обеспечение
- Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и многоязычная
- Внешние габариты (Д×Ш×В), мм
- 903 × 983 × 1753
- Частота, кГц
- 40
- Радиационно-стойкий высокочастотный согласователь
- Автоматическое согласование полных сопротивлений
- Режим разрядки
- RIE
- Производительность, л
- 66
- Электрод
- Специальный электрод из алюминиевого сплава с высокой проводимостью
- Габариты камеры, мм
- 400 × 450 × 370
- Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм
- 370 × 370
- Слои для обработки
- 6
- Расстояние между монослоями, мм
- 45
- Регулятор расхода газа
- Регулятор массового расхода (MFC
- Интенсивность потока, мл
- 0 — 300
- Газовый канал
- 2 канала (Опционально — 3 / 4 / 5 / 6) (поддерживается различный технологический газ, такой как кислород, аргон, водород, азот и др.).
- Частота газа
- 99.999%
- Выхлопное отверстие
- KF25
- Минимальное давление газа, МПа
- 0.6
- Максимальное давление газа, МПа
- 0.8
- Программируемый логический контроллер
- Panasonic
- Предельный вакуум, Па
- 1
- Материал камеры
- Нержавеющая сталь 316/8K зеркальная поверхность для обеспечения чистоты полости
- Мощность, Вт
- 2000
- Электропитание, фаза
- 3
Товары из этой же серии
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Масса, кг: 50
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-PLASMA-L
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Масса, кг: 55
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-PLASMA-L
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Масса, кг: 60
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-PLASMA-L
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Масса, кг: 60
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-PLASMA-L
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Масса, кг: 60
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-PLASMA-L
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Масса, кг: 60
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-PLASMA-L
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Масса, кг: 65
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-PLASMA-L
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Скорость откачки, м³/ч: 16
- Масса, кг: 300
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-PLASMA-L
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Скорость откачки, м³/ч: 16
- Масса, кг: 300
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-PLASMA-L
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Скорость откачки, м³/ч: 16
- Масса, кг: 80
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-PLASMA-W
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Информация о бренде
Выпускаем надежное оборудование и товары собственной торговой марки ERSTVAK.
Сегодня в компании 26 инженеров, грамотный тендерный отдел — в портфолио 3360 реализованных проектов. Выполняем гособоронзаказы.
Не забудьте купить
- Тип: Турбо
- Производительность, м³/ч: 780
- Избыточное давление, мбар: 600
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 15
- Уровень шума, дБ(А): 80
В корзину
1
- Производитель: Thyracont
- Серия: VSH
- Страна: Германия
В корзину
1
- Тип: Винтовые
- Производительность, м³/ч: 36
- Тип смазки: Маслозаполненный
- Мощность электродвигателя, кВт: 5.5
- Уровень шума, дБ(А): 62
- Количество ступеней: 1
В корзину
1
- Тип: Турбо
- Производительность, м³/ч: 3318
- Избыточное давление, мбар: 100
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 22
- Уровень шума, дБ(А): 80
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Серия: BW70
- Длина, мм: 70
- Страна: Китай
В корзину
1
- Производитель: INFICON
- Серия: SKY
- Страна: Швейцария
В корзину
1
- Масса, кг: 140
- Производитель: INFICON
- Серия: UL
- Страна: Швейцария
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1068x530x1083
В корзину
1
- Тип: Адсорбционные
- Охлаждение: Воздушное
- Масса, кг: 4000
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: SAHARA HBM
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Серия: EMVF
- Страна: Китай
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 4700 × 4100 × 3300
В корзину
1
- Тип: Турбо
- Производительность, м³/ч: 2520
- Избыточное давление, мбар: 600
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 45
- Уровень шума, дБ(А): 80
В корзину
1
Вы смотрели
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: MT
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: MT
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 9.612
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Спиральные
- Производительность, м³/ч: 252
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Мощность электродвигателя, кВт: 38.5
- Уровень шума, дБ(А): 67
- Количество ступеней: 1
В корзину
1
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 43200
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Охлаждение: Водяное
В корзину
1
- Масса, кг: 0.19
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: MTP4D
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Тип: Адсорбционные
- Масса, кг: 6700
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: SAHARA H
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 2909 × 2233 × 3228
В корзину
1
- Тип: Спиральные
- Производительность, м³/ч: 72
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Мощность электродвигателя, кВт: 11
- Уровень шума, дБ(А): 63
- Количество ступеней: 1
В корзину
1
- Тип: Мембранные
- Уровень вакуума: Низкий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 2.3
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 8
- Мощность, кВт: 0.2
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 15.012
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻¹⁰
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
