product-card
Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I10
Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I10
Описание
Характеристики

Промышленная система плазменной обработки серии EV-PLASMA-I предназначена для очистки, активации и модификации поверхности различных материалов в условиях низкотемпературной плазмы. Оборудование применяется на производственных предприятиях, в микроэлектронике, приборостроении, оптической промышленности и других отраслях, где требуется стабильная и контролируемая обработка поверхности.

Плазменная обработка позволяет эффективно удалять органические загрязнения, повышать адгезию покрытий и изменять свойства поверхности без механического воздействия на материал.Система подходит для работы с металлами, полимерами, стеклом, керамикой и другими материалами.

Промышленная система обеспечивает стабильную работу в вакуумной среде и позволяет точно контролировать параметры технологического процесса при длительной эксплуатации оборудования.Конструкция установки рассчитана на интенсивную работу в условиях промышленного производства.

Оборудование может использоваться для подготовки изделий перед нанесением покрытий, плазменной очистки, активации поверхности и выполнения различных технологических процессов поверхностной обработки.

Электропитание
AC 380 В, 50/60 Гц (100A)
Масса, кг
500
Производитель
ERSTVAK
Серия
EV-PLASMA-I
Страна
Российская Федерация
Вакуумметр
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Дисплей
7"
Программное обеспечение
Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и многоязычная
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм
1300 × 1190 × 1790
Частота, МГц
13.56, твердотельный радиочастотный источник питания
Радиационно-стойкий высокочастотный согласователь
Автоматическое согласование полных сопротивлений
Режим разрядки
RIE
Производительность, л
165
Электрод
Специальный электрод из алюминиевого сплава с высокой проводимостью
Габариты камеры, мм
500 × 600 × 500
Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм
508 × 520
Слои для обработки
8
Расстояние между монослоями, мм
51
Регулятор расхода газа
Регулятор массового расхода (MFC
Интенсивность потока, мл
0 — 500
Газовый канал
2 канала (Опционально — 3 / 4 / 5 / 6) (поддерживается различный технологический газ, такой как кислород, аргон, водород, азот и др.).
Частота газа
99.999%
Выхлопное отверстие
KF40
Минимальное давление газа, МПа
0.6
Максимальное давление газа, МПа
0.8
Программируемый логический контроллер
Panasonic
Предельный вакуум, Па
2
Материал камеры
Нержавеющая сталь 316/8K зеркальная поверхность для обеспечения чистоты полости
Мощность, Вт
1200
Электропитание, фаза
3

Товары из этой же серии

Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L1
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Масса, кг: 50
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: EV-PLASMA-L
  • Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L2
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L2
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Масса, кг: 55
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: EV-PLASMA-L
  • Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L3
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L3
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Масса, кг: 60
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: EV-PLASMA-L
  • Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L8
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L8
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Масса, кг: 60
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: EV-PLASMA-L
  • Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L9
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L9
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Масса, кг: 60
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: EV-PLASMA-L
  • Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L4
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L4
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Масса, кг: 60
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: EV-PLASMA-L
  • Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L5
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L5
  • Скорость откачки, м³/ч: 8
  • Масса, кг: 65
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: EV-PLASMA-L
  • Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L6
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L6
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Масса, кг: 300
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: EV-PLASMA-L
  • Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L7
Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L7
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Масса, кг: 300
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: EV-PLASMA-L
  • Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Масса, кг: 80
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: EV-PLASMA-W
  • Страна: Российская Федерация
В корзину
1

Информация о бренде

ERSTVAK

Выпускаем надежное оборудование и товары собственной торговой марки ERSTVAK.

Сегодня в компании 26 инженеров, грамотный тендерный отдел — в портфолио 3360 реализованных проектов. Выполняем гособоронзаказы.

Не забудьте купить

Патрубок с фланцем (ниппель) King Lai ISOK-FN-100
Патрубок с фланцем (ниппель) King Lai ISOK-FN-100
  • Производитель: King Lai
  • Серия: FN
  • Длина, мм: 209.8
  • Страна: Китай
В корзину
1
Вакуумный насос EBARA ESR30N
Вакуумный насос EBARA ESR30N
  • Тип: Винтовые
  • Уровень вакуума: Высокий
  • Тип смазки: Безмасляный
  • Скорость откачки, м³/ч: 180
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 6,7 × 10⁻³
  • Мощность, кВт: 1.7
В корзину
1
Пластинчато-роторный маслозаполненный вакуумный насос ERSTVAK VB-240
Пластинчато-роторный маслозаполненный вакуумный насос ERSTVAK VB-240
  • Тип: Пластинчато-роторные
  • Уровень вакуума: Средний
  • Тип смазки: Маслозаполненный
  • Скорость откачки, м³/ч: 6.78
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 2 × 10⁻³
  • Мощность, кВт: 0.37
В корзину
1
Винтовой безмасляный компрессор ERSTVAK DELIA 150-10
Винтовой безмасляный компрессор ERSTVAK DELIA 150-10
  • Тип: Винтовые
  • Производительность, м³/ч: 1128
  • Тип смазки: Безмасляный (с водяным впрыском)
  • Мощность электродвигателя, кВт: 110
  • Уровень шума, дБ(А): 82
  • Количество ступеней: 1
В корзину
1
Шиберный затвор King Lai AGP-HV-CF600T с пневматическим приводом, соленоидом и датчиками положения
Шиберный затвор King Lai AGP-HV-CF600T с пневматическим приводом, соленоидом и датчиками положения
  • Производитель: King Lai
  • Серия: AGP-HV
  • Длина, мм: 589
  • Страна: Китай
В корзину
1
Моноблочный водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRPX 80
Моноблочный водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRPX 80
  • Тип: Водокольцевые
  • Уровень вакуума: Низкий
  • Скорость откачки, м³/ч: 80
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 33
  • Мощность, кВт: 2.35
  • Частота вращения, об/мин: 2860
В корзину
1
Патрубок угловой 90° King Lai KF-90EL-16
Патрубок угловой 90° King Lai KF-90EL-16
  • Производитель: King Lai
  • Серия: 90EL
  • Страна: Китай
В корзину
1
Двунаправленный программируемый источник питания постоянного тока KEWELL TECHNOLOGY D2000PG-200K-2000-300-IV
Двунаправленный программируемый источник питания постоянного тока KEWELL TECHNOLOGY D2000PG-200K-2000-300-IV
  • Мощность, кВт: 200
  • Масса, кг: 700
  • Производитель: Kewell
  • Серия: D2000-IV
  • Страна: Китай
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 850 × 1000 × 1500
В корзину
1
Квадрупольный масс-спектрометр INFICON Transpector MPH 100M
Квадрупольный масс-спектрометр INFICON Transpector MPH 100M
  • Производитель: INFICON
  • Серия: Transpector MPH
  • Страна: Швейцария
В корзину
1
Вихревая воздуходувка ERSTVAK EVL 89/57 3 ф.
Вихревая воздуходувка ERSTVAK EVL 89/57 3 ф.
  • Тип: Вихревые
  • Производительность, м³/ч: 320
  • Избыточное давление, мбар: 610
  • Тип смазки: Безмасляная (сухая)
  • Мощность электродвигателя, кВт: 7.5
  • Разрежение, мбар: 420
В корзину
1

Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?

Получите бесплатную консультацию нашего инженера уже сегодня!