- Главная
- Каталог
- Металлообработка и поверхностная инженерия
- Вакуумные технологии поверхности
- Установки плазменной обработки поверхности
- Системы плазменной обработки в вакууме
- Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I6
Промышленная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-I6
product-card
Промышленная система плазменной обработки серии EV-PLASMA-I предназначена для очистки, активации и модификации поверхности различных материалов в условиях низкотемпературной плазмы. Оборудование применяется на производственных предприятиях, в микроэлектронике, приборостроении, оптической промышленности и других отраслях, где требуется стабильная и контролируемая обработка поверхности.
Плазменная обработка позволяет эффективно удалять органические загрязнения, повышать адгезию покрытий и изменять свойства поверхности без механического воздействия на материал.Система подходит для работы с металлами, полимерами, стеклом, керамикой и другими материалами.
Промышленная система обеспечивает стабильную работу в вакуумной среде и позволяет точно контролировать параметры технологического процесса при длительной эксплуатации оборудования.Конструкция установки рассчитана на интенсивную работу в условиях промышленного производства.
Оборудование может использоваться для подготовки изделий перед нанесением покрытий, плазменной очистки, активации поверхности и выполнения различных технологических процессов поверхностной обработки.
- Электропитание
- AC 380 В, 50/60 Гц (100A)
- Скорость откачки, м³/ч
- 60
- Масса, кг
- 350
- Производитель
- ERSTVAK
- Серия
- EV-PLASMA-I
- Страна
- Российская Федерация
- Вакуумметр
- Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
- Дисплей
- 7"
- Программное обеспечение
- Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и многоязычная
- Внешние габариты (Д×Ш×В), мм
- 903 × 983 × 1753
- Частота, МГц
- 13.56, твердотельный радиочастотный источник питания
- Радиационно-стойкий высокочастотный согласователь
- Автоматическое согласование полных сопротивлений
- Режим разрядки
- RIE
- Производительность, л
- 66
- Электрод
- Специальный электрод из алюминиевого сплава с высокой проводимостью
- Габариты камеры, мм
- 400 × 450 × 370
- Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм
- 370 × 370
- Слои для обработки
- 6
- Расстояние между монослоями, мм
- 45
- Регулятор расхода газа
- Регулятор массового расхода (MFC
- Интенсивность потока, мл
- 0 — 300
- Газовый канал
- 2 канала (Опционально — 3 / 4 / 5 / 6) (поддерживается различный технологический газ, такой как кислород, аргон, водород, азот и др.).
- Частота газа
- 99.999%
- Выхлопное отверстие
- KF25
- Минимальное давление газа, МПа
- 0.6
- Максимальное давление газа, МПа
- 0.8
- Программируемый логический контроллер
- Panasonic
- Предельный вакуум, Па
- 2
- Материал камеры
- Нержавеющая сталь 316/8K зеркальная поверхность для обеспечения чистоты полости
- Мощность, Вт
- 600
- Электропитание, фаза
- 3
Товары из этой же серии
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Масса, кг: 50
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-PLASMA-L
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Масса, кг: 55
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-PLASMA-L
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Масса, кг: 60
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-PLASMA-L
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Масса, кг: 60
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-PLASMA-L
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Масса, кг: 60
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-PLASMA-L
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Масса, кг: 60
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-PLASMA-L
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Масса, кг: 65
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-PLASMA-L
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Скорость откачки, м³/ч: 16
- Масса, кг: 300
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-PLASMA-L
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Скорость откачки, м³/ч: 16
- Масса, кг: 300
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-PLASMA-L
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Скорость откачки, м³/ч: 16
- Масса, кг: 80
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-PLASMA-W
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Информация о бренде
Выпускаем надежное оборудование и товары собственной торговой марки ERSTVAK.
Сегодня в компании 26 инженеров, грамотный тендерный отдел — в портфолио 3360 реализованных проектов. Выполняем гособоронзаказы.
Не забудьте купить
- Тип: Адсорбционный
- Масса, кг: 5400
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: ALMA
- Длина, мм: 3100
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Тип: Пластинчато-роторные
- Уровень вакуума: Высокий
- Тип смазки: Маслозаполненный
- Скорость откачки, м³/ч: 14
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 6 × 10⁻⁴
- Мощность, кВт: 0.55
В корзину
1
- Производитель: KYKY
- Серия: CCQ
- Страна: Китай
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: VAH
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: PBT
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Тип: Адсорбционный
- Масса, кг: 377
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: ALMA M
- Длина, мм: 400
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Производитель: Kurt J. Lesker
- Серия: QF
- Страна: США
В корзину
1
- Мощность, кВт: 6.6
- Производитель: Kewell
- Серия: E5000
- Страна: Китай
В корзину
1
- Тип: Винтовые
- Производительность, м³/ч: 1590
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Мощность электродвигателя, кВт: 160
- Уровень шума, дБ(А): 85
- Количество ступеней: 2
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 9.612
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
