Инверсно-магнетронный вакуумметр INFICON Gemini MAG5хх

product-card
Инверсно-магнетронный вакуумметр INFICON Gemini MAG5хх
Инверсно-магнетронный вакуумметр INFICON Gemini MAG5хх
Описание
Характеристики

Инверсно-магнетронный вакуумметр INFICON Gemini MAG5хх — модель линейки MPG. В одном корпусе объединены теплопроводностный датчик Пирани и инверсно-магнетронный ионизационный датчик с холодным катодом.

Принцип работы

На начальной стадии откачки, когда давление еще сравнительно высокое, измерение выполняет датчик Пирани. Его сигнал основан на зависимости теплопроводности газа от давления. По мере углубления вакуума включается инверсно-магнетронный датчик, способный измерять значительно более низкое давление.

Автоматическое сочетание двух принципов обеспечивает непрерывную кривую измерения без необходимости устанавливать на камеру отдельный форвакуумный и высоковакуумный прибор.

Преимущества серии

  • широкий диапазон измерения одним датчиком;
  • контроль стадий предварительной и высоковакуумной откачки;
  • автоматический переход между измерительными элементами;
  • компактное размещение в одном корпусе;
  • уменьшение количества вакуумных портов и кабельных соединений;
  • удобство интеграции в систему управления;
  • возможность использовать показания для безопасного управления насосами и клапанами.

Практическое применение

Вакуумметр позволяет наблюдать весь цикл откачки: контролировать работу форвакуумного насоса, определять момент безопасного запуска высоковакуумной ступени, отслеживать достижение рабочего давления и фиксировать ухудшение вакуума.

Серия применяется в вакуумных камерах, аналитическом оборудовании, установках нанесения покрытий, исследовательских системах и другом оборудовании, где требуется измерять давление в нескольких вакуумных диапазонах одним прибором.

Производитель
INFICON
Серия
MPG
Страна
Швейцария
Степень защиты
IP40
Минимальная температура окружающей среды, °С
-40
Принцип измерения
Ионизационный датчик с холодным катодом (по принципу инвертированного магнетрона)
Макс. напряжение питания (пост. ток), В
30
Диапазон измерений (воздух, N2), мбар (Торр)
1х 10^-9 — 1х10^-2 мбар (7.6х10^-10 — 7.6х10^-3 Торр)
Ориентация при монтаже
Любая
Допустимое давление (абс.), бар
10 (ограничение для инертных газов <55°C)
Рабочая температура (окр. среды), °C
+5 — +55
Макс. температура прогрева, °C
150
Макс. время отклика p>10^-6 мбар, мс
100
Время отклика p=10^-8 мбар, мс
1000
Идентификация датчика, кОм
100
Точность (N2)
1 × 10^(-8) — 1 × 10^(-2) мбар % от показаний 30
Повторяемость (N2)
1х10^-8 —1х10^-2 мбар % от показаний 5
Температура катода, °C
120
Относительная влажность 30 дней в году
1х10^-8 — 1х10^-2 мбар % RH ≤70 (без конденсации)
Макс. напряжение питания пульсации (p-p), В
1
Макс. напряжение питания предохранителя, АТ
1
Выходное сопротивление, Ом
2х4.7
Импеданс нагрузки, кОм
≥10 (защита от короткого замыкания)
Кабель 50 м
≤50 (8x0.14 мм2)
Кабель 75 м
≤75 (8x0.25 мм2)
Кабель 100 м
≤100 (8x0.34 мм2)
Кабель 300 м
≤300 (8x1.00 мм2)
FCC соединительный кабель, м
≤50 (0.14 мм2/проводник)
Макс. напряжение поджига (в измерительной камере), кВ
4.5
Макс. рабочее напряжение (в измерительной камере), кВ
3.3
Максимальный ток (в измерительной камере), мкА
≤380
Минимальный ток (в измерительной камере), мКа
≤130
Внутренний объем, DN 25 ISO-KF, см³
≈19.9
Внутренний объем, DN 40 ISO-KF, см³
≈20.9
Внутренний объем, DN 40 CF-F, см³
≈25.2
Внутренний объем, DN 40 CF-R, см³
≈25.6
Максимальная масса DN 25 ISO-KF, г
280
Минимальная масса DN 40 ISO-KF, г
320
Максимальная масса DN 40 CF-F и CF-R, г
570
Скорость передачи (RS232C/485C), КБод
9.6 / 19.2 / 38.4 / 57.6
Адрес (RS232C/485C)
2 коммутатора (адрес 00-255)
Цифровые функции
Счетчики контролируют состояние датчика, возможность определения поведения в случае ошибки
Разъем для RS232 и RS485
D-sub HD, 15-пин, папа
Выходной аналоговый сигнал, В
0 — +10.5
Мин. напряжение питания датчика (пост. ток), В
14.5
Макс. напряжение питания датчика (пост. ток), В
30
Максимальная потребляемая мощность, Вт
2
Максимальная температура окружающей среды, °C
70

Товары из этой же серии

Широкодиапазонный вакуумный датчик с холодным катодом ERSTVAK MTM9D-KF25
Широкодиапазонный вакуумный датчик с холодным катодом ERSTVAK MTM9D-KF25
  • Масса, кг: 0.555
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: MTM9D
  • Страна: Германия
В корзину
1
Широкодиапазонный вакуумный датчик с горячим катодом ERSTVAK MTH10D-KF40
Широкодиапазонный вакуумный датчик с горячим катодом ERSTVAK MTH10D-KF40
  • Масса, кг: 0.555
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: MTH10D
  • Страна: Германия
В корзину
1
Широкодиапазонный вакуумный датчик с холодным катодом ERSTVAK MTM9D-CF40
Широкодиапазонный вакуумный датчик с холодным катодом ERSTVAK MTM9D-CF40
  • Масса, кг: 0.555
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: MTM9D
  • Страна: Германия
В корзину
1
Широкодиапазонный вакуумный датчик с холодным катодом с поверкой ERSTVAK MTM9D-KF25
Широкодиапазонный вакуумный датчик с холодным катодом с поверкой ERSTVAK MTM9D-KF25
  • Масса, кг: 0.555
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: MTM9D
  • Страна: Германия
В корзину
1
Широкодиапазонный вакуумный датчик с горячим катодом ERSTVAK MTH10D-CF40
Широкодиапазонный вакуумный датчик с горячим катодом ERSTVAK MTH10D-CF40
  • Масса, кг: 0.555
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: MTH10D
  • Страна: Германия
В корзину
1
Инверсно-магнетронный вакуумметр Пирани INFICON MPG400 DN 25 ISO-KF
Инверсно-магнетронный вакуумметр Пирани INFICON MPG400 DN 25 ISO-KF
  • Производитель: INFICON
  • Серия: MPG
  • Страна: Швейцария
В корзину
1
Инверсно-магнетронный вакуумметр Пирани INFICON MPG400 DN 40 ISO-KF
Инверсно-магнетронный вакуумметр Пирани INFICON MPG400 DN 40 ISO-KF
  • Производитель: INFICON
  • Серия: MPG
  • Страна: Швейцария
В корзину
1
Инверсно-магнетронный вакуумметр Пирани INFICON MPG400 DN 40 CF-F
Инверсно-магнетронный вакуумметр Пирани INFICON MPG400 DN 40 CF-F
  • Производитель: INFICON
  • Серия: MPG
  • Страна: Швейцария
В корзину
1
Инверсно-магнетронный вакуумметр Пирани INFICON MPG401 DN 25 ISO-KF
Инверсно-магнетронный вакуумметр Пирани INFICON MPG401 DN 25 ISO-KF
  • Производитель: INFICON
  • Серия: MPG
  • Страна: Швейцария
В корзину
1
Инверсно-магнетронный вакуумметр Пирани INFICON MPG401 DN 40 CF-F
Инверсно-магнетронный вакуумметр Пирани INFICON MPG401 DN 40 CF-F
  • Производитель: INFICON
  • Серия: MPG
  • Страна: Швейцария
В корзину
1

Не забудьте купить

Циркуляционный термостат ERSTVAK TSM 9A38W
Циркуляционный термостат ERSTVAK TSM 9A38W
  • Хладагент: R-404A/R508B (По запросу – смесь R125/R23/14)
  • Масса, кг: 1750
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: TSM
  • Страна: Российская Федерация
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 2000*1450*2050
В корзину
1
Электродвигатель MS801-2 B14 0,75-3000
Электродвигатель MS801-2 B14 0,75-3000
  • Мощность, кВт: 0.75
  • Масса, кг: 9.3
  • Серия: MS
  • Страна: Китай
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 285х158x215
  • Высота оси ротора, мм: 80
В корзину
1
Адсорбционный осушитель с горячей регенерацией ERSTVAK SAHARA H 1800
Адсорбционный осушитель с горячей регенерацией ERSTVAK SAHARA H 1800
  • Тип: Адсорбционные
  • Масса, кг: 5427
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: SAHARA H
  • Страна: Российская Федерация
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 2704 × 2168 × 3190
В корзину
1
Карусельный токарный станок без функции фрезерования ETC 2000 W
Карусельный токарный станок без функции фрезерования ETC 2000 W
  • Серия: ETC
  • Страна: Китай
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 5650 × 8600 × 6770
В корзину
1
Промышленный фильтр Solberg CSL-848-NW40EN с покрытием из нержавеющей стали
Промышленный фильтр Solberg CSL-848-NW40EN с покрытием из нержавеющей стали
  • Масса, кг: 2.25
  • Производитель: SOLBERG
  • Серия: CSL
  • Страна: США
В корзину
1
Грузовой воздушный душ ERSTVAK ER-HLS-02
Грузовой воздушный душ ERSTVAK ER-HLS-02
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: ER-HLS
  • Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Климатическая камера статической пыли ERSTVAK EVCLIM-КП 3000
Климатическая камера статической пыли ERSTVAK EVCLIM-КП 3000
  • Мощность, кВт: 20
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: EVCLIM-КП
  • Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Вакуумное смотровое окно на CF-фланцах из кристаллического кварца Kurt J. Lesker VPZL-275UCQ
Вакуумное смотровое окно на CF-фланцах из кристаллического кварца Kurt J. Lesker VPZL-275UCQ
  • Производитель: Kurt J. Lesker
  • Серия: VPZL
  • Страна: США
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT1400F-BWB
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT1400F-BWB
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный
  • Скорость откачки, м³/ч: 15.012
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁸
  • Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
Компрессорная станция ERSTVAK ESC-7B-250D 8 атм
Компрессорная станция ERSTVAK ESC-7B-250D 8 атм
  • Тип: Винтовые
  • Производительность, м³/ч: 45
  • Тип смазки: Маслозаполненный
  • Мощность электродвигателя, кВт: 5.5
  • Уровень шума, дБ(А): 62
  • Количество ступеней: 1
В корзину
1

Вы смотрели

Установка вакуумной инфузии ERSTVAK EVI 2x20/23
Установка вакуумной инфузии ERSTVAK EVI 2x20/23
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.5
  • Масса, кг: 164
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: EVI
  • Страна: Российская Федерация
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1165 × 640 × 1320
В корзину
1

Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?

Получите бесплатную консультацию нашего инженера уже сегодня!