- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Приборы измерения и контроля вакуума
- Вакуумметры
- Цифровые вакуумметры
- Широкодиапазонные вакуумметры
- Инверсно-магнетронный вакуумметр INFICON Gemini MAG5хх
Инверсно-магнетронный вакуумметр INFICON Gemini MAG5хх
Инверсно-магнетронный вакуумметр INFICON Gemini MAG5хх — модель линейки MPG. В одном корпусе объединены теплопроводностный датчик Пирани и инверсно-магнетронный ионизационный датчик с холодным катодом.
Принцип работы
На начальной стадии откачки, когда давление еще сравнительно высокое, измерение выполняет датчик Пирани. Его сигнал основан на зависимости теплопроводности газа от давления. По мере углубления вакуума включается инверсно-магнетронный датчик, способный измерять значительно более низкое давление.
Автоматическое сочетание двух принципов обеспечивает непрерывную кривую измерения без необходимости устанавливать на камеру отдельный форвакуумный и высоковакуумный прибор.
Преимущества серии
- широкий диапазон измерения одним датчиком;
- контроль стадий предварительной и высоковакуумной откачки;
- автоматический переход между измерительными элементами;
- компактное размещение в одном корпусе;
- уменьшение количества вакуумных портов и кабельных соединений;
- удобство интеграции в систему управления;
- возможность использовать показания для безопасного управления насосами и клапанами.
Практическое применение
Вакуумметр позволяет наблюдать весь цикл откачки: контролировать работу форвакуумного насоса, определять момент безопасного запуска высоковакуумной ступени, отслеживать достижение рабочего давления и фиксировать ухудшение вакуума.
Серия применяется в вакуумных камерах, аналитическом оборудовании, установках нанесения покрытий, исследовательских системах и другом оборудовании, где требуется измерять давление в нескольких вакуумных диапазонах одним прибором.
- Производитель
- INFICON
- Серия
- MPG
- Страна
- Швейцария
- Степень защиты
- IP40
- Минимальная температура окружающей среды, °С
- -40
- Принцип измерения
- Ионизационный датчик с холодным катодом (по принципу инвертированного магнетрона)
- Макс. напряжение питания (пост. ток), В
- 30
- Диапазон измерений (воздух, N2), мбар (Торр)
- 1х 10^-9 — 1х10^-2 мбар (7.6х10^-10 — 7.6х10^-3 Торр)
- Ориентация при монтаже
- Любая
- Допустимое давление (абс.), бар
- 10 (ограничение для инертных газов <55°C)
- Рабочая температура (окр. среды), °C
- +5 — +55
- Макс. температура прогрева, °C
- 150
- Макс. время отклика p>10^-6 мбар, мс
- 100
- Время отклика p=10^-8 мбар, мс
- 1000
- Идентификация датчика, кОм
- 100
- Точность (N2)
- 1 × 10^(-8) — 1 × 10^(-2) мбар % от показаний 30
- Повторяемость (N2)
- 1х10^-8 —1х10^-2 мбар % от показаний 5
- Температура катода, °C
- 120
- Относительная влажность 30 дней в году
- 1х10^-8 — 1х10^-2 мбар % RH ≤70 (без конденсации)
- Макс. напряжение питания пульсации (p-p), В
- 1
- Макс. напряжение питания предохранителя, АТ
- 1
- Выходное сопротивление, Ом
- 2х4.7
- Импеданс нагрузки, кОм
- ≥10 (защита от короткого замыкания)
- Кабель 50 м
- ≤50 (8x0.14 мм2)
- Кабель 75 м
- ≤75 (8x0.25 мм2)
- Кабель 100 м
- ≤100 (8x0.34 мм2)
- Кабель 300 м
- ≤300 (8x1.00 мм2)
- FCC соединительный кабель, м
- ≤50 (0.14 мм2/проводник)
- Макс. напряжение поджига (в измерительной камере), кВ
- 4.5
- Макс. рабочее напряжение (в измерительной камере), кВ
- 3.3
- Максимальный ток (в измерительной камере), мкА
- ≤380
- Минимальный ток (в измерительной камере), мКа
- ≤130
- Внутренний объем, DN 25 ISO-KF, см³
- ≈19.9
- Внутренний объем, DN 40 ISO-KF, см³
- ≈20.9
- Внутренний объем, DN 40 CF-F, см³
- ≈25.2
- Внутренний объем, DN 40 CF-R, см³
- ≈25.6
- Максимальная масса DN 25 ISO-KF, г
- 280
- Минимальная масса DN 40 ISO-KF, г
- 320
- Максимальная масса DN 40 CF-F и CF-R, г
- 570
- Скорость передачи (RS232C/485C), КБод
- 9.6 / 19.2 / 38.4 / 57.6
- Адрес (RS232C/485C)
- 2 коммутатора (адрес 00-255)
- Цифровые функции
- Счетчики контролируют состояние датчика, возможность определения поведения в случае ошибки
- Разъем для RS232 и RS485
- D-sub HD, 15-пин, папа
- Выходной аналоговый сигнал, В
- 0 — +10.5
- Мин. напряжение питания датчика (пост. ток), В
- 14.5
- Макс. напряжение питания датчика (пост. ток), В
- 30
- Максимальная потребляемая мощность, Вт
- 2
- Максимальная температура окружающей среды, °C
- 70