Главная
Каталог
Вакуумная техника
Приборы измерения и контроля вакуума
Вакуумметры
Цифровые вакуумметры
Широкодиапазонные вакуумметры
Инверсно-магнетронный вакуумметр INFICON Gemini MAG5хх

Инверсно-магнетронный вакуумметр INFICON Gemini MAG5хх

product-card

Степень защиты IP40
Серия MPG
Минимальная температура окружающей среды, °С -40
Принцип измерения Ионизационный датчик с холодным катодом (по принципу инвертированного магнетрона)
Макс. напряжение питания (пост. ток), В 30
Диапазон измерений (воздух, N2), мбар (Торр) 1х 10^-9 — 1х10^-2 мбар (7.6х10^-10 — 7.6х10^-3 Торр)
Ориентация при монтаже Любая
Допустимое давление (абс.), бар 10 (ограничение для инертных газов <55°C)
Рабочая температура (окр. среды), °C +5 — +55

В корзину

Описание

Характеристики

Отзывы клиентов

Инверсно-магнетронный вакуумметр INFICON Gemini MAG5хх — модель линейки MPG. В одном корпусе объединены теплопроводностный датчик Пирани и инверсно-магнетронный ионизационный датчик с холодным катодом.

Принцип работы

На начальной стадии откачки, когда давление еще сравнительно высокое, измерение выполняет датчик Пирани. Его сигнал основан на зависимости теплопроводности газа от давления. По мере углубления вакуума включается инверсно-магнетронный датчик, способный измерять значительно более низкое давление.

Автоматическое сочетание двух принципов обеспечивает непрерывную кривую измерения без необходимости устанавливать на камеру отдельный форвакуумный и высоковакуумный прибор.

Преимущества серии

широкий диапазон измерения одним датчиком;
контроль стадий предварительной и высоковакуумной откачки;
автоматический переход между измерительными элементами;
компактное размещение в одном корпусе;
уменьшение количества вакуумных портов и кабельных соединений;
удобство интеграции в систему управления;
возможность использовать показания для безопасного управления насосами и клапанами.

Практическое применение

Вакуумметр позволяет наблюдать весь цикл откачки: контролировать работу форвакуумного насоса, определять момент безопасного запуска высоковакуумной ступени, отслеживать достижение рабочего давления и фиксировать ухудшение вакуума.

Серия применяется в вакуумных камерах, аналитическом оборудовании, установках нанесения покрытий, исследовательских системах и другом оборудовании, где требуется измерять давление в нескольких вакуумных диапазонах одним прибором.

Степень защиты: IP40

Серия: MPG

Минимальная температура окружающей среды, °С: -40

Принцип измерения: Ионизационный датчик с холодным катодом (по принципу инвертированного магнетрона)

Макс. напряжение питания (пост. ток), В: 30

Диапазон измерений (воздух, N2), мбар (Торр): 1х 10^-9 — 1х10^-2 мбар (7.6х10^-10 — 7.6х10^-3 Торр)

Ориентация при монтаже: Любая

Допустимое давление (абс.), бар: 10 (ограничение для инертных газов <55°C)

Рабочая температура (окр. среды), °C: +5 — +55

Макс. температура прогрева, °C: 150

Макс. время отклика p>10^-6 мбар, мс: 100

Время отклика p=10^-8 мбар, мс: 1000

Идентификация датчика, кОм: 100

Точность (N2): 1 × 10^(-8) — 1 × 10^(-2) мбар % от показаний 30

Повторяемость (N2): 1х10^-8 —1х10^-2 мбар % от показаний 5

Температура катода, °C: 120

Относительная влажность 30 дней в году: 1х10^-8 — 1х10^-2 мбар % RH ≤70 (без конденсации)

Макс. напряжение питания пульсации (p-p), В: 1

Макс. напряжение питания предохранителя, АТ: 1

Выходное сопротивление, Ом: 2х4.7

Импеданс нагрузки, кОм: ≥10 (защита от короткого замыкания)

Кабель 50 м: ≤50 (8x0.14 мм2)

Кабель 75 м: ≤75 (8x0.25 мм2)

Кабель 100 м: ≤100 (8x0.34 мм2)

Кабель 300 м: ≤300 (8x1.00 мм2)

FCC соединительный кабель, м: ≤50 (0.14 мм2/проводник)

Макс. напряжение поджига (в измерительной камере), кВ: 4.5

Макс. рабочее напряжение (в измерительной камере), кВ: 3.3

Максимальный ток (в измерительной камере), мкА: ≤380

Минимальный ток (в измерительной камере), мКа: ≤130

Внутренний объем, DN 25 ISO-KF, см³: ≈19.9

Внутренний объем, DN 40 ISO-KF, см³: ≈20.9

Внутренний объем, DN 40 CF-F, см³: ≈25.2

Внутренний объем, DN 40 CF-R, см³: ≈25.6

Максимальная масса DN 25 ISO-KF, г: 280

Минимальная масса DN 40 ISO-KF, г: 320

Максимальная масса DN 40 CF-F и CF-R, г: 570

Скорость передачи (RS232C/485C), КБод: 9.6 / 19.2 / 38.4 / 57.6

Адрес (RS232C/485C): 2 коммутатора (адрес 00-255)

Цифровые функции: Счетчики контролируют состояние датчика, возможность определения поведения в случае ошибки

Разъем для RS232 и RS485: D-sub HD, 15-пин, папа

Выходной аналоговый сигнал, В: 0 — +10.5

Мин. напряжение питания датчика (пост. ток), В: 14.5

Макс. напряжение питания датчика (пост. ток), В: 30

Максимальная потребляемая мощность, Вт: 2

Максимальная температура окружающей среды, °C: 70

Настя Маслова

С эрствак сотрудничали по закупке вакуумметров для лабораторной установки. Заказ не крупный, но нам важно было попасть в диапазон измерений и получить документацию для внутренней проверки. Сначала прислали несколько вариантов, потом наш инженер уточнил по совместимости с действующей системой. Ответы были по делу, с техническими пояснениями. Приборы приехали в согласованной комплектации, подключение прошло штатно. Сейчас используем их в ежедневной работе, показания стабильные.

Евгения

Были закуплены вакуумметры MultiTorr. Удобный дисплей, нормальное сочетание цена/качество. Заказ был в январе, работают уже несколько месяцев, нареканий по качеству и оформлению заказа нет.

Виталий Гришин

Сравнивал большое количество поставщиков оборудования. Эрствак выиграл тем, что предлагает комплекс: это и имеющееся различное оборудование, его производство, имеют возможность что-то кастомизировать. Для нас такой формат удобен. Потому мы и заключили договор.

Иван Тихомиров

С Эрствак сотрудничаем с 2016 года. Это отличный проектировщик и поставщик оборудования. Предпочитаем покупать оборудование их собственной сборки, т.к. оно дешевле, чем импортные, а по качеству не особо им уступает. Так что не видим смысла переплачивать. Менеджерский состав компании подкован, всегда поможет подобрать нужное оборудование.

Еще больше отзывов о нас читайте на площадках:

К отзывам

К отзывам

К благодарственным письмам

Степень защиты IP40
Серия MPG
Минимальная температура окружающей среды, °С -40
Принцип измерения Ионизационный датчик с холодным катодом (по принципу инвертированного магнетрона)
Макс. напряжение питания (пост. ток), В 30
Диапазон измерений (воздух, N2), мбар (Торр) 1х 10^-9 — 1х10^-2 мбар (7.6х10^-10 — 7.6х10^-3 Торр)
Ориентация при монтаже Любая
Допустимое давление (абс.), бар 10 (ограничение для инертных газов <55°C)
Рабочая температура (окр. среды), °C +5 — +55